【技术实现步骤摘要】
气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置
本公开涉及一种气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置。
技术介绍
已知一种从多个气体导入部向腔室内供给处理气体来对被载置于腔室内的载置台的基板实施期望的处理的等离子体处理装置。在专利文献1中公开了一种在气体管路中将被导入的气体的气流分割为气体的两个独立的出口流的流动控制部。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第8,772,171号
技术实现思路
专利技术要解决的问题在一个方面，本公开提供一种响应性良好地分配气体的气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置。用于解决问题的方案为了解决上述课题，根据一个方式，提供一种气体供给系统，其被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与至少一个气体源之间，所述气体供给系统具有：流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，所述第一线路将所述至少一个气体源与所述第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，所...
【技术保护点】
1.一种气体供给系统，被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与至少一个气体源之间，所述气体供给系统具有：/n流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，所述第一线路将所述至少一个气体源与所述第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，所述第二线路将所述至少一个气体源与所述第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中所述第一节流孔和所述第二节流孔具有相同的尺寸；以及/n至少一个控制部，其构成为控制各流量调整线路中的所述第一阀和所述第二阀的开闭。/n
【技术特征摘要】
20191121 JP 2019-2105371.一种气体供给系统，被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与至少一个气体源之间，所述气体供给系统具有：
流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，所述第一线路将所述至少一个气体源与所述第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，所述第二线路将所述至少一个气体源与所述第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中所述第一节流孔和所述第二节流孔具有相同的尺寸；以及
至少一个控制部，其构成为控制各流量调整线路中的所述第一阀和所述第二阀的开闭。
2.根据权利要求1所述的气体供给系统，其特征在于，
所述多个流量调整线路中的一个流量调整线路的节流孔的尺寸与所述多个流量调整线路中的其它流量调整线路的节流孔的尺寸不同。
3.根据权利要求2所述的气体供给系统，其特征在于，
所述多个流量调整线路具有第一流量调整线路、第二流量调整线路、第三流量调整线路、第四流量调整线路、第五流量调整线路以及第六流量调整线路，
所述第二流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径为所述第一流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径的5/8，
所述第三流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径为所述第一流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径的4/9，
所述第四流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径为所述第一流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径的1/3，
所述第五流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径为所述第一流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径的2/9，
所述第六流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径为所述第一流量调整线路中的第一节流孔和第二节流孔的孔径的1/6。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的气体供给系统，其特征在于，
所述至少一个控制部具有表，在所述表中将从所述至少一个气体源供给的气体分流供给至所述第一气体入口的流量与供给至所述第二气体入口的流量的流量比同各流量调整线路中的所述第一阀及所述第二阀的开闭进行了对应，
所述至少一个控制部构成为：基于接收到的与流量比有关的数据以及所述表，来控制各流量调整线路中的所述第一阀和所述第二阀的开闭。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的气体供给系统，其特征在于，
所述至少一个控制部构成为：控制所述流量调整单元，以将所述多个流量调整线路的各流量调整线路的第一阀中的多个第一阀设为开，以及/或者将所述多个流量调整线路的各流量调整线路的第二阀中的多个第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑和俊，北邨友志，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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