一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，包括支架以及若干可叠层内嵌在支架内部的硅片装载台，所述支架包括一个底座以及设置在底座四个边角的立杆，所述硅片装载台中部设置有内凹的抛光池，所述抛光池四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块，所述硅片装载台上表面四条边处均设置有一个定位槽，所述硅片装载台下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽相适配的定位柱。实用新型专利技术克服了现有技术中的硅片化学抛光效率较低的缺陷，通过本实用新型专利技术能够在抛光过程中在纵向提升硅片的抛光数量，从而有效提升硅片的抛光效率。

【技术实现步骤摘要】
一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置
本技术涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置。
技术介绍
在太阳能硅片的加工过程中，会经过多次的线切割工艺，从而在硅表面形成具有一定粗糙度的损伤层。由于粗糙表面的影响，硅片背面与钝化膜及金属之间会产生接触不良的现象，因此高效太阳能电池（Topcon，IBC等电池）生产的第一步即对原硅片表面进行抛光处理，使硅片背表面更加光滑甚至达到镜面效果，抛光后硅片的背面平整，一方面可以加强对透射光的反射，减小透光率；另一方面可以有效提高背钝化镀膜的均匀性，提高钝化效果，从而有效提升成品电池的电性能及EL良率等。目前现有技术中的硅片抛光工艺包括机械抛光、化学抛光以及机械化学抛光三种，其中的化学抛光通常是将硅片浸入到含有化学抛光液的反应槽中，使得抛光液中的成分于硅发生反应，从而使得硅片表面变得平整。虽然硅片每次的化学抛光时间较短，但是现有的反应槽由于尺寸较小，因此通常单次抛光只能抛光一张硅片，使得硅片的抛光效率较低。
技术实现思路
本技术是为了克服现有技术中的硅片化学抛光效率较低的缺陷，提供了一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，其能够有效提升硅片在化学抛光时的效率。为实现上述技术目的，本技术通过以下技术方案实现：一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，包括支架以及若干可叠层内嵌在支架内部的硅片装载台，所述支架包括一个底座以及设置在底座四个边角的立杆，所述硅片装载台中部设置有内凹的抛光池，所述抛光池四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块，所述硅片装载台上表面四条边处均设置有一个定位槽，所述硅片装载台下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽相适配的定位柱。本技术中的硅片固定装置通过支架以及若干可叠层设置在支架内部的硅片装载台组成，从而使得传统的反应槽虽然无法在横向尺度上提升放置硅片的数量，但是可以在纵向方向延伸，使得在一个反应池内部硅片能够沿纵向叠加，从而能够同时对多张硅片进行抛光，从而大大提升了硅片抛光效率。作为优选，所述立杆呈L形，使得其能够包围硅片装载台的四个边角。设置L形的立杆能够对硅片装载台起到限位作用，从而能够在装载以及搬运硅片装载台的过程中能够有效防止硅片装载台发生位移，从而从支架上掉落。作为优选，所述立杆上设置有一个向外突出的限位凸柱，所述硅片装载台的四个边角上设置有用于与限位凸柱相配合的限位凹槽。设置限位凸柱以及限位凹槽能够进一步提升硅片装载台在嵌入到支架后的稳定性。作为优选，所述硅片装载台四周设置有用于与抛光池联通的流通槽。设置流通槽能够使得在抛光过程中能够是的抛光液能够通过流通槽流入至抛光池内部，从而能够保持抛光池内部抛光液的浓度，从而保证抛光效果。作为优选，所述立杆顶部设置有用于提拉支架的把手。设置把手能够方便整个固定装置的放置以及转移。作为优选，所述把手数量为2，其与相邻的两根立杆的顶部固定连接。因此，本技术具有以下有益效果：（1）能够在抛光过程中在纵向提升硅片的抛光数量，从而有效提升硅片的抛光效率；（2）硅片装载台安装稳固，能够防止从支架上掉落；（3）能够保持抛光池内部抛光液的浓度，从而保证抛光效果。附图说明图1为本技术的一种结构示意图。图2为本技术硅片装载台的一种结构示意图。图3为本技术的立杆的俯视图。其中：支架1、硅片装载台2、底座3、立杆4、抛光池5、支撑块6、定位柱8、限位凸柱9、限位凹槽10、流通槽11、把手12。具体实施方式下面结合说明书附图以及具体实施例对本技术做进一步描述。本领域普通技术人员在基于这些说明的情况下将能够实现本技术。此外，下述说明中涉及到的本技术的实施例通常仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。因此，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。实施例1如图1~3所示，一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，包括支架1以及若干可叠层内嵌在支架1内部的硅片装载台2。支架1包括一个底座3以及设置在底座3四个边角的立杆4，相邻的两根立杆4的顶部之间，横跨设置有用于提拉支架1的把手12。此外，每一根立杆4的很截面呈L形，使得其能够包围硅片装载台2的四个边角并将其固定，为提升对硅片装载台2的固定效果，立杆4位于L形的弯折处设置有一个向外突出的限位凸柱9，而硅片装载台2的四个边角上设置有用于与限位凸柱9相配合的限位凹槽10，当限位凸柱9嵌入到限位凹槽10中后，即可有效固定硅片装载台2的位置，从而防止硅片装载台2发生位移，从而从支架上掉落。本实施例中的硅片装载台2中部设置有内凹的抛光池5，装载台2的四周设置有用于与抛光池5联通的流通槽11，从而在硅片抛光过程中抛光液能够沿着流通槽11流入至抛光池5内部，从而保证了抛光池内部的抛光液浓度，进而保证了硅片的抛光效果。此外，抛光池的四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块6，当硅片放置在支撑块6后，其硅片能够与抛光池5的上下表面均留有一定的空隙，从而使得硅片上下表面均能够与抛光液接触，进而上下表面均能够被抛光液所抛光。本实施例中，硅片装载台2的叠层是通过有设置在硅片装载台2上表面四条边处设置的定位槽7以及硅片装载台2下表面四个边角处均设置有的定位柱8完成。当硅片装载台2相互堆叠时，定位柱8能够插入到定位槽7内部，从而保证了相邻的硅片装载台2的位置能够保持相对稳定。本技术中的硅片固定装置通过支架1以及若干可叠层设置在支架1内部的硅片装载台2组，从而使得传统的反应槽虽然无法在横向尺度上提升放置硅片的数量，但是可以在纵向方向延伸，使得在一个反应池内部硅片能够沿纵向叠加，从而能够同时对多张硅片进行抛光，从而大大提升了硅片抛光效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，其特征在于，包括支架（1）以及若干可叠层内嵌在支架（1）内部的硅片装载台（2），所述支架（1）包括一个底座（3）以及设置在底座（3）四个边角的立杆（4），所述硅片装载台（2）中部设置有内凹的抛光池（5），所述抛光池（5）四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块（6），所述硅片装载台（2）上表面四条边处均设置有一个定位槽（7），所述硅片装载台（2）下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽（7）相适配的定位柱（8）。/n

【技术特征摘要】
1.一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，其特征在于，包括支架（1）以及若干可叠层内嵌在支架（1）内部的硅片装载台（2），所述支架（1）包括一个底座（3）以及设置在底座（3）四个边角的立杆（4），所述硅片装载台（2）中部设置有内凹的抛光池（5），所述抛光池（5）四周设置有用于支撑硅片边缘的支撑块（6），所述硅片装载台（2）上表面四条边处均设置有一个定位槽（7），所述硅片装载台（2）下表面四个边角处均设置有一个用于与定位槽（7）相适配的定位柱（8）。


2.根据权利要求1所述的一种在硅片抛光过程中的纵向叠层固定装置，其特征在于，所述立杆（4）呈L形，使得其能够包围硅片装载台（2）的四个边角。


3.根据权利要求1或2所述的一种在硅片...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏庆华，黄成斌，姚伟明，
申请(专利权)人：湖州飞鹿新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33