一种用于晶元清洗的托架制造技术

本发明专利技术公开了一种用于晶元清洗的托架，包括固定底脚，所述固定底脚的上端外表面设置有一号热胀冷缩拼接柱，所述一号热胀冷缩拼接柱的前端外表面设置有peek焊接板，所述peek焊接板的下端设置有便捷固定插板，所述peek焊接板的后端外表面设置有二号热胀冷缩拼接柱，所述一号热胀冷缩拼接柱的一侧设置有固定柱体，所述固定柱体的上端设置有联动柱，所述一号热胀冷缩拼接柱包括柱芯、一号插入块、防水外层、一号固定金属块、二号插入块与二号固定金属块，所述一号插入块位于柱芯的一端外表面。本发明专利技术所述的一种用于晶元清洗的托架，结构简单，使用方便，并且采用新式的安装方式，带来更好的使用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶元清洗的托架
本专利技术涉及晶元清洁用具
，具体为一种用于晶元清洗的托架。
技术介绍
晶元是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶元片，也就是晶元，目前国内晶元生产线以8英寸和12英寸为主，晶元的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶元，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶元加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶元加工时，化学机械研磨是既有机械研磨又有酸碱溶液式的化学研磨两种相结合的技术，可以使晶圆表面较为平坦，方便后面工序，在进行研磨时，研磨浆在晶圆和研磨垫之间，影响CMP的因素有：研磨头的压力和晶圆平坦度，旋转速度，研磨浆的化学成分等等，空气中的颗粒数对晶元加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点在半导体芯片工业生产中，晶元清洗工序较多，晶元清洗的质量好坏对器件性能有严重的影响，由于晶元清洗是半导体器件制造中最重要最频繁的步骤，而且其清洗质量将直接影响到器件的成品率、性能和可靠性，所以国内外对清洗工艺的研究改进一直在不断地进行，现在有的晶元清洗托架结构复杂，安装不便，并且安装的方式都为螺丝去固定安装的，使用长久后螺纹会生锈，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种用于晶元清洗的托架。
技术实现思路
解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于晶元清洗的托架，结构简单，使用方便，并且采用新式的安装方式，让人们的安装便捷轻松，固定牢固，不易脱落，给人们带来便捷，可以有效解决
技术介绍
中的问题。技术方案为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种用于晶元清洗的托架，包括固定底脚，所述固定底脚的上端外表面设置有一号热胀冷缩拼接柱，所述一号热胀冷缩拼接柱的前端外表面设置有peek焊接板，所述peek焊接板的下端设置有便捷固定插板，所述peek焊接板的后端外表面设置有二号热胀冷缩拼接柱，所述一号热胀冷缩拼接柱的一侧设置有固定柱体，所述固定柱体的上端设置有联动柱。优选的，所述一号热胀冷缩拼接柱包括柱芯、一号插入块、防水外层、一号固定金属块、二号插入块与二号固定金属块，所述一号插入块位于柱芯的一端外表面，所述防水外层位于柱芯的外壁，所述一号固定金属块位于二号插入块的上端外表面，所述二号插入块位于柱芯的另一端外表面，所述二号固定金属块位于二号插入块的下端外表面。优选的，所述柱芯的一端外表面与一号插入块的另一侧外表面固定连接，所述防水外层的内壁与柱芯的外壁固定连接，所述一号固定金属块的下端外表面与二号插入块的上端外表面固定连接，所述二号插入块的一侧外表面与柱芯的另一端外表面固定连接，所述二号固定金属块的上端外表面与二号插入块的下端外表面固定连接，所述一号固定金属块的数量为两组，所述二号固定金属块的数量为两组。优选的，所述peek焊接板包括一号插入固定柱、一号peek固定板、三角连接板块、二号插入固定柱、二号peek固定板与三号peek固定板，所述一号插入固定柱位于一号peek固定板的后端外表面，所述一号peek固定板位于三角连接板块的上端外表面，所述三角连接板块位于三号peek固定板的上端外表面，所述二号插入固定柱位于三角连接板块的后端外表面，所述二号peek固定板位于三角连接板块的一侧外表面，所述三号peek固定板位于二号peek固定板的一侧。优选的，所述一号插入固定柱的前端外表面与一号peek固定板的后端外表面固定连接，所述一号peek固定板的下端外表面与三角连接板块的上端外表面固定连接，所述三角连接板块的一侧外表面与二号peek固定板的上端外表面固定连接。优选的，所述二号插入固定柱的前端外表面与三角连接板块的后端外表面固定连接，所述三号peek固定板的上端外表面与三角连接板块的另一侧外表面固定连接，所述一号插入固定柱的数量为两组，所述二号插入固定柱的数量为三组。优选的，所述便捷固定插板包括齿状板、加强板芯、连接板层、固定板块与固定插入柱块，所述齿状板位于加强板芯的一侧外表面，所述加强板芯位于连接板层的一侧外表面，所述连接板层位于齿状板的一侧，所述固定板块位于连接板层的下端外表面，所述固定插入柱块位于固定板块的前端外表面上。优选的，所述齿状板的一侧外表面与加强板芯的另一侧外表面固定连接，所述加强板芯的一侧外表面与连接板层的另一侧外表面固定连接，所述连接板层的下端外表面与固定板块的上端外表面固定连接，所述固定板块的前端外表面与固定插入柱块的后端外表面固定连接。优选的，所述固定柱体的前端外表面与peek焊接板的后端外表面固定连接，所述一号热胀冷缩拼接柱的前端外表面与peek焊接板的后端外表面固定连接，所述固定底脚的上端外表面与peek焊接板的下端外表面固定连接，所述联动柱的前端外表面与peek焊接板的后端外表面固定连接，所述二号热胀冷缩拼接柱的前端外表面与peek焊接板的后端外表面固定连接。有益效果与现有技术相比，本专利技术提供了一种用于晶元清洗的托架，具备以下有益效果：1、该一种用于晶元清洗的托架，通过设置的一号热胀冷缩拼接柱，人们在对一号热胀冷缩拼接柱进行固定安装时，采用降温的方法，将一号固定金属块与二号固定金属块进行降温处理，因为是金属的缘故，温度下降时，内部的粒子的振动幅度便会减少，使物体收缩，然后将二号插入块插入到孔槽内，将两个部件放置在一起，等温度恢复到常温后，两个部件就很好的挤合在一起，完成固定连接，并且通过设置的防水外层，能够有效的防止液体的锈蚀，采用新型的固定方式，给人们带来便捷。2、该一种用于晶元清洗的托架，通过设置的peek焊接板，主体为三角连接板块，在三个边上固定连接着一号peek固定板、二号peek固定板与三号peek固定板，peek材料为是一种具有耐高温、自润滑、易加工和高机械强度等优异性能的特种工程塑料，可制造加工成各种机械零部件，如汽车齿轮、油筛、换档启动盘；飞机发动机零部件、自动洗衣机转轮、医疗器械零部件等，peek材料的特性有耐腐蚀、抗老化、抗溶解性、高温高频高压电性能条件、韧性和刚性兼备、尺寸要求精密条件、耐辐照耐磨、耐腐蚀条件、耐水解，高温高压下仍可保持优异特性、轻量取代金属作光纤元件、耐磨损、抗静电电绝缘性能好、机械强度要求高部件与低烟尘和毒气排放性，能够去很好的在晶元托架上得到使用，并且一号插入固定柱与二号插入固定柱，能够与托架的元件进行焊接固定，便于人们的安装与使用。3、该一种用于晶元清洗的托架，通过设置的便捷固定插板，通过设置的加强芯板，材料是碳钢，碳钢是含碳量在0.0218％～2.11％的铁碳合金，也叫碳素钢，一般还含有少量的硅、锰、硫、磷，一般碳钢中含碳量越高则硬度越大，能够有效的提高托架的使用寿命，与连接板层固定连接，连接板层的下端外表面固定连接有固定板块，人们将固定板块上的固定插入柱块插入到安装的孔槽内，通过焊接的方式进行固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶元清洗的托架，包括固定底脚(3)，其特征在于：所述固定底脚(3)的上端外表面设置有一号热胀冷缩拼接柱(2)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的前端外表面设置有peek焊接板(6)，所述peek焊接板(6)的下端设置有便捷固定插板(7)，所述peek焊接板(6)的后端外表面设置有二号热胀冷缩拼接柱(5)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的一侧设置有固定柱体(1)，所述固定柱体(1)的上端设置有联动柱(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶元清洗的托架，包括固定底脚(3)，其特征在于：所述固定底脚(3)的上端外表面设置有一号热胀冷缩拼接柱(2)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的前端外表面设置有peek焊接板(6)，所述peek焊接板(6)的下端设置有便捷固定插板(7)，所述peek焊接板(6)的后端外表面设置有二号热胀冷缩拼接柱(5)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的一侧设置有固定柱体(1)，所述固定柱体(1)的上端设置有联动柱(4)。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述一号热胀冷缩拼接柱(2)包括柱芯(201)、一号插入块(202)、防水外层(203)、一号固定金属块(204)、二号插入块(205)与二号固定金属块(206)，所述一号插入块(202)位于柱芯(201)的一端外表面，所述防水外层(203)位于柱芯(201)的外壁，所述一号固定金属块(204)位于二号插入块(205)的上端外表面，所述二号插入块(205)位于柱芯(201)的另一端外表面，所述二号固定金属块(206)位于二号插入块(205)的下端外表面。


3.根据权利要求2所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述柱芯(201)的一端外表面与一号插入块(202)的另一侧外表面固定连接，所述防水外层(203)的内壁与柱芯(201)的外壁固定连接，所述一号固定金属块(204)的下端外表面与二号插入块(205)的上端外表面固定连接，所述二号插入块(205)的一侧外表面与柱芯(201)的另一端外表面固定连接，所述二号固定金属块(206)的上端外表面与二号插入块(205)的下端外表面固定连接，所述一号固定金属块(204)的数量为两组，所述二号固定金属块(206)的数量为两组。


4.根据权利要求1所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述peek焊接板(6)包括一号插入固定柱(601)、一号peek固定板(602)、三角连接板块(603)、二号插入固定柱(604)、二号peek固定板(605)与三号peek固定板(606)，所述一号插入固定柱(601)位于一号peek固定板(602)的后端外表面，所述一号peek固定板(602)位于三角连接板块(603)的上端外表面，所述三角连接板块(603)位于三号peek固定板(606)的上端外表面，所述二号插入固定柱(604)位于三角连接板块(603)的后端外表面，所述二号peek固定板(605)位于三角连接板块(603)的一侧外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐亚松，叶沐勇，叶晓玲，
申请(专利权)人：苏州普斯恩精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32