一种带有热处理腔的石墨坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有热处理腔的石墨坩埚，包括坩埚体以及子坩埚体，所述坩埚体上表面上成型有盲槽，并在盲槽的底面上成型有若干用于放置子坩埚体的子坩埚体放置孔，所述子坩埚体放置孔为圆柱孔，该圆柱孔的侧壁上成型有外部连通的第一泄压孔；而所述子坩埚体的外径与子坩埚体放置孔相匹配，所述子坩埚体的侧壁上设置有与第一泄压孔相匹配的第二泄压孔，并在底部设置有与子坩埚体放置孔相匹配的转动结构，通过该转动结构可使子坩埚体在子坩埚体放置孔内转动来切换第一泄压孔与第二泄压孔的连通状态。本实用新型专利技术的石墨坩埚结构紧凑、操作方便，可进行单次批量作业，生产效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种带有热处理腔的石墨坩埚
本技术涉及石墨制品中的石墨坩埚
，尤其涉及一种带有热处理腔的石墨坩埚。
技术介绍
石墨作为一类耐高温、耐腐蚀的材料，高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能，同时电阻温度系数小，热惯性低，可以快速加热和冷却。通常被用来制备坩埚容器，来对紫铜、黄铜、金、银、锌和铅等有色金属、合金以及多晶硅材料进行熔炼或者烧结处理。石墨坩埚在工作时，通常是将合格的压坯装入石墨坩埚内，然后将装好产品的石墨坩埚按上下堆叠的方式装入烧结炉炉膛内，抽真空烧结。烧结时，单个石墨坩埚单次只能进行单个产品的处理，特别是在进行多晶硅材料处理时，而实际上，在进行石墨坩埚中进行单品类产品的批量处理时，其反应条件通常不会发生改变，若能在一个石墨坩埚内同时进行多个产品的处理，将会极大提高产品的处理效率。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种带有热处理腔的石墨坩埚，以解决现有技术的。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种带有热处理腔的石墨坩埚，包括坩埚体以及子坩埚体，所述坩埚体为一整块石墨块修坯成型，其上表面上成型有盲槽，并在盲槽的底面上成型有若干用于放置子坩埚体的子坩埚体放置孔，所述子坩埚体放置孔为圆柱孔，该圆柱孔的侧壁上成型有外部连通的第一泄压孔；而所述子坩埚体的外径与子坩埚体放置孔相匹配，所述子坩埚体的侧壁上设置有与第一泄压孔相匹配的第二泄压孔，并在底部设置有与子坩埚体放置孔相匹配的转动结构，通过该转动结构可使子坩埚体在子坩埚体放置孔内转动来切换第一泄压孔与第二泄压孔的连通状态。作为进一步限定，所述坩埚体优选为圆柱形坩埚体。作为进一步限定，所述子坩埚体为石墨坩埚。作为进一步限定，所述坩埚体上表面上成型的盲槽深度为8～20cm。作为进一步限定，每个子坩埚体上都自带有独立的子坩埚盖。作为进一步限定，还包括坩埚盖，所述坩埚盖外缘设置有环形定位槽，而所述盲槽外侧侧壁的顶面上成型有环形定位阶，所述环形定位槽与所述环形定位阶相匹配，以通过坩埚盖来对坩埚体表面盲槽区域进行面封闭。作为进一步限定，所述转动结构包括成型于子坩埚体放置孔底面上的圆形凸台，以及成型于子坩埚体底面上的环形座，所述圆形凸台具有光滑上表面或者带石墨滚珠的上表面，所述环形座的内径大于圆形凸台外径，且座高小于圆形凸台台高。作为进一步限定，所述子坩埚体在伸出所述子坩埚体放置孔的部分上设置有对其标记来方便确定第二泄压孔是否与第一泄压孔连通。作为进一步限定，所述子坩埚体在伸出所述子坩埚体放置孔的部分上设置有对子坩埚体进行取放的带孔耳板。有益效果：本技术的带有热处理腔的石墨坩埚具有结构紧凑、设计合理的优点，其通过在坩埚体表面设置子坩埚体放置孔，配合独立子坩埚体来在子坩埚体放置孔进行放置，在坩埚体内进行若干独立的加工单元腔，其每个加工单元腔装配简单快捷，且具有独立泄压单元，能进行单次批量作业，有效提高坩埚的作业效率；尤其适合于处理氟化物晶体材料以及多晶硅材料。附图说明图1为本技术的较佳实施例的剖面结构示意图。图2为图1的实施例去除子坩埚盖以及坩埚盖后的俯视图其中：1、坩埚体；2、坩埚盖；3、盲槽；4、取料孔；5、子坩埚盖；6、子坩埚体；7、带孔耳板；8、第二泄压孔；9、第一泄压孔；10、环形座；11、圆形凸台；12、标记物。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。参见图1、图2的一种带有热处理腔的石墨坩埚的较佳实施例，在本实施例中，多个热处理腔的石墨坩埚包括坩埚体1、子坩埚体6以及与坩埚体1配套的坩埚盖2，其中，坩埚体1为一整块柱形的石墨块修坯成型的圆柱形坩埚体，坩埚体1上表面上成型有盲槽3，盲槽3的外侧侧壁顶面上成型有定位阶，而在坩埚盖2的下表面外侧设置有与该定位阶相对应的定位槽，通过定位阶与定位槽的配合，来利用坩埚盖2在坩埚体1的顶面对盲槽3进行面封闭。在本实施例中，盲槽3的深度为15cm，并在盲槽3的底面上成型有六个子坩埚放置孔，这些子坩埚放置孔中包括外侧的五个浅孔以及中间的一个深孔，子坩埚放置孔均为圆柱孔，并在子坩埚放置孔的侧壁上开有与外部连通的第一泄压孔9；另外，在子坩埚放置孔的地面上成型有一个圆形凸台11，该圆形凸台11上形成有滚珠槽，并在槽内装有高密度石墨珠。子坩埚放置孔中放置有与子坩埚放置孔的截面尺寸相匹配的子坩埚体6，在本实施例中，子坩埚体6上部开口，并在开口位置通过独立的子坩埚盖5进行开口位置的面封闭，子坩埚体6的高度大于子坩埚体放置孔的深度并小于子坩埚体放置孔与盲槽3的深度之和，并在侧壁对应第一泄压孔9的平面位置设置有一个与第一泄压孔9孔径一致的第二泄压孔8。在本实施例中，在子坩埚体6在伸出子坩埚体放置孔的部分上设置有一个带孔耳板7，该带孔耳板7上开有取料孔4，使用时，利用钩结构穿过取料孔4，即可对子坩埚体6在子坩埚放置孔中进行取放操作。另外，在子坩埚体6的底部设置有一个环形座10，该环形座10的内径大于圆形凸台外径，且该环形座10的座高小于圆形凸台11的台高，在这种结构特征下，子坩埚体6在放入子坩埚体放置孔中时后环形座10能套装在圆形凸台11外侧并实现转动，转动过程中，可选择第二泄压孔8是否与第一泄压孔9进行对位，来调整子坩埚体6中的内压或者环境气氛。而为了方便观测第二泄压孔8与第一泄压孔9是否对位，在带孔耳板7对侧的子坩埚体上设置有一个指示箭头来作为标记物12，当子坩埚体上的指示箭头与盲槽3上对应的箭头相对时，则表示第二泄压孔8与第一泄压孔9处于对位的泄压状态；反之则第二泄压孔8与第一泄压孔9处于非连通状态，相应的子坩埚体6则处于一个相对密封的压力环境中。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本技术而非意欲限制本技术的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本技术的
技术实现思路
之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有热处理腔的石墨坩埚，包括坩埚体以及子坩埚体，其特征在于，所述坩埚体上表面上成型有盲槽，并在盲槽的底面上成型有若干用于放置子坩埚体的子坩埚体放置孔，所述子坩埚体放置孔为圆柱孔，该圆柱孔的侧壁上成型有外部连通的第一泄压孔；而所述子坩埚体的外径与子坩埚体放置孔相匹配，所述子坩埚体的侧壁上设置有与第一泄压孔相匹配的第二泄压孔，并在底部设置有与子坩埚体放置孔相匹配的转动结构，通过该转动结构可使子坩埚体在子坩埚体放置孔内转动来切换第一泄压孔与第二泄压孔的连通状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有热处理腔的石墨坩埚，包括坩埚体以及子坩埚体，其特征在于，所述坩埚体上表面上成型有盲槽，并在盲槽的底面上成型有若干用于放置子坩埚体的子坩埚体放置孔，所述子坩埚体放置孔为圆柱孔，该圆柱孔的侧壁上成型有外部连通的第一泄压孔；而所述子坩埚体的外径与子坩埚体放置孔相匹配，所述子坩埚体的侧壁上设置有与第一泄压孔相匹配的第二泄压孔，并在底部设置有与子坩埚体放置孔相匹配的转动结构，通过该转动结构可使子坩埚体在子坩埚体放置孔内转动来切换第一泄压孔与第二泄压孔的连通状态。


2.根据权利要求1所述的带有热处理腔的石墨坩埚，其特征在于，所述坩埚体为圆柱形坩埚体。


3.根据权利要求1所述的带有热处理腔的石墨坩埚，其特征在于，所述子坩埚体为石墨坩埚。


4.根据权利要求1所述的带有热处理腔的石墨坩埚，其特征在于，所述坩埚体上表面上成型的盲槽深度为8～20cm。


5.根据权利要求1所述的带有热处理腔的石...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨九福，
申请(专利权)人：汨罗市福缘新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43