【技术实现步骤摘要】
基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置
本专利技术涉及基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置、基板处理装置、基板处理方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
在产业用或民用等各种领域中，广泛地使用在显示面板显示图像的显示装置。作为显示装置，例如有有机EL装置、液晶显示装置等，所述有机EL装置具备使用有机材料的电致发光的有机EL元件。在制造该显示装置时，在成膜装置，使成膜材料(金属电极材料或有机材料等)附着在基板上并进行成膜。在基板向成膜室内搬入搬出时或成膜工序时，有时利用搬送机构使由保持机构保持的基板移动或翻转。因此，需要稳定地保持基板以不产生位置偏移等。作为在搬送时或成膜时保持基板的机构，除了利用夹持件的夹持、向承受爪的载置、利用静电吸盘的吸附等方法以外，还有使用粘接材料粘接保持基板的方法。使用粘接材料的物理粘接也称为PSC(PhysicalStickyChuck)，也能够优选地利用于大型的玻璃基板等。在专利文献1中记载了如下结构：利用设置在保持板上的粘接构件(粘接垫)保持玻璃基板，将粘接保持...
【技术保护点】
1.一种基板保持单元，所述基板保持单元用于在保持面保持基板，其特征在于，/n所述基板保持单元具有：/n粘接构件，所述粘接构件具有粘接面，所述粘接面设置有与所述基板粘接的粘接材料；/n倾动机构，所述倾动机构使所述粘接构件的所述粘接面能够相对于所述保持面倾动；以及/n进退机构，所述进退机构使所述粘接构件的所述粘接面能够相对于所述保持面进退。/n
【技术特征摘要】
20191029 JP 2019-1967911.一种基板保持单元，所述基板保持单元用于在保持面保持基板，其特征在于，
所述基板保持单元具有：
粘接构件，所述粘接构件具有粘接面，所述粘接面设置有与所述基板粘接的粘接材料；
倾动机构，所述倾动机构使所述粘接构件的所述粘接面能够相对于所述保持面倾动；以及
进退机构，所述进退机构使所述粘接构件的所述粘接面能够相对于所述保持面进退。
2.根据权利要求1所述的基板保持单元，其特征在于，
所述进退机构包含对所述粘接构件的所述粘接面向所述基板侧施力的弹性体。
3.根据权利要求1所述的基板保持单元，其特征在于，
所述进退机构包含磁性构件，所述磁性构件通过受到外部磁力，从而使所述粘接构件的所述粘接面能够相对于所述保持面进退。
4.一种基板保持构件，所述基板保持构件具有基体和多个基板保持单元，所述基体具有所述保持面，其特征在于，
所述多个基板保持单元分别是权利要求1至3中任一项所述的基板保持单元，
通过所述多个基板保持单元各自的所述粘接面与所述基板粘接，从而保持所述基板。
5.一种基板保持装置，所述基板保持装置使权利要求4所述的基板保持构件保持基板，其特征在于，
所述基板保持装置具有基板移动机构，所述基板移动机构使所述基板在不与所述保持面抵接的第一位置、和所述基板与所述保持面抵接的第二位置之间移动，
所述基板保持单元在所述基板位于所述第一位置时，使所述粘接面后退到与所述保持面相比从所述基板离开的位置，在所述基板移动机构使所述基板移动到所述第一位置后，所述基板保持单元使所述粘接面前进到所述保持面，使所述粘接面与所述基板抵接。
6.根据权利要求5所述的基板保持装置，其特征在于，
所述基板保持装置具有粘接构件驱动机构，所述粘接构件驱动机构通过对所述基板保持构件具备的所述多个基板保持单元分别具有的所述进退机构非接触地发挥作用，从而使所述粘接构件的所述粘接面相对于所述保持面进退。
7.一种基板保持装置，所述基板保持装置使权利要求4所述的基板保持构件保持基板，其特征在于，
所述基板保持装置具有粘接构件驱动机构，所述粘接构件驱动机构通过对所述基板保持构件具备的所述多个基板保持单元分别具有的所述进退机构非接触地发挥作用，从而使所述粘接构件的所述粘接面相对于所述保持面进退。
8.根据权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，
所述进退机构具备磁性构件，
所述粘接构件驱动机构具备电磁线圈，并通过使电磁力作用于所述磁性构件，从而使所述粘接面进退。
9.根据权利要求8所述的基板保持装置，其特征在于，
所述磁性构件是永磁铁。
10.根据权利要求8所述的基板保持装置，其特征在于，
所述进退机构具备轴部，所述轴部在一端侧设置有所述粘接构件，在另一端侧设置有所述磁性构件。
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【专利技术属性】
技术研发人员：大川显，锅岛健，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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