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本发明涉及基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置，提供用于使用粘接构件而更良好地保持基板的技术。一种基板保持装置，其具有用于在保持面保持基板的多个基板保持单元，多个基板保持单元中的每一个使用基板保持装置，所述基板保持装置具有...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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