【技术实现步骤摘要】
基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法
本专利技术涉及基板保持构件、基板保持装置、基板处理装置、基板保持方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。
技术介绍
在基板上进行成膜时等对基板进行各种处理的情况下，在将基板保持于基板保持构件(基板载体)的状态下进行各种处理。作为使基板保持于基板保持构件的方法，研究了通过夹具机构等夹持基板的周边部分的方法、使用静电吸盘的方法、使用粘附垫这样的粘附构件的方法等。在专利文献1中记载了如下结构：通过设置在保持板上的粘附构件(粘附垫)来保持玻璃基板，将被粘附保持的玻璃基板连同保持板一起输送和翻转，在粘附保持于保持板的状态下对玻璃基板进行处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-55093号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术的专利技术人经过深入研究，结果得知在使用粘附垫保持基板的情况下，为了有效地进行粘附垫相对于基板的粘贴、剥离，优选采用使粘附垫相对于基板移动的结构。作为能够移动粘附垫的机构，可考虑机械地移...
【技术保护点】
1.一种基板保持构件，其特征在于，所述基板保持构件具有：/n基体，其具有保持基板的保持面；以及/n粘附单元，其具有利用粘附力粘贴于基板的粘附垫，设置为能够相对于所述基体移动，/n所述粘附单元具有：/n轴部，其在一端侧连结有所述粘附垫；以及/n磁性构件，其连结于所述轴部的另一端侧。/n
【技术特征摘要】
20191029 JP 2019-1967961.一种基板保持构件，其特征在于，所述基板保持构件具有：
基体，其具有保持基板的保持面；以及
粘附单元，其具有利用粘附力粘贴于基板的粘附垫，设置为能够相对于所述基体移动，
所述粘附单元具有：
轴部，其在一端侧连结有所述粘附垫；以及
磁性构件，其连结于所述轴部的另一端侧。
2.根据权利要求1所述的基板保持构件，其特征在于，
所述基板保持构件具有多个所述粘附单元，
多个所述粘附单元分别具有：所述粘附垫；所述轴部，其在一端侧连结有所述粘附垫；以及磁性构件，其连结于所述轴部的另一端侧。
3.根据权利要求1或2所述的基板保持构件，其特征在于，
所述粘附单元还具有弹性体，所述弹性体配置于所述粘附垫与所述磁性构件之间的位置，且一端固定于所述粘附垫侧，另一端相对于所述基体固定。
4.根据权利要求1或2所述的基板保持构件，其特征在于，
所述磁性构件是永磁体。
5.一种基板保持构件，所述基板保持构件通过基板保持装置来保持基板，所述基板保持装置具有产生电磁力的电磁线圈和控制所述电磁线圈的电磁力的控制部，
其特征在于，
所述基板保持构件是权利要求1或2所述的基板保持构件，
由所述电磁线圈产生的电磁力作用于所述磁性构件，从而所述粘附垫能够相对于所述保持面进退。
6.一种基板保持装置，所述基板保持装置使基板保持于基板保持构件，所述基板保持构件具备具有保持基板的保持面的基体和分别具有利用粘附力粘贴于基板的粘附垫的多个粘附单元，
其特征在于，
在所述粘附单元设置有磁性构件，
所述基板保持装置具备：
电磁线圈，其产生作用于所述磁性构件的电磁力；以及
控制部，其用于控制所述电磁线圈的电磁力。
7.根据权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，
所述磁性构件是永磁体。
8.根据权利要求6或7所述的基板保持装置，其特征在于，
所述粘附单元具有：轴部；所述粘附垫，其设置于所述轴部的一端侧；所述磁性构件，其设置于所述轴部的另一端侧；以及弹性体，其配置于所述粘附垫与所述磁性构件之间的位置，且一端固定于所述粘附垫侧，另一端相对于所述基体固定，
在驱动所述粘附垫的情况下，所述电磁线圈配置于靠近所述磁性构件的位置。
9.根据权利要求6或7所述的基板保持装置，其特征在于，
在分别与所述基板保持构件所具有的所述多个粘附单元分别具有的所述磁性构件对应的位置具有多个所述电磁线圈。
10.根据权利要求6或7所述的基板保持装置，其特征在于，
所述基板保持装置还具有使基板在包含与所述保持面垂直的第1方向的方向上移动的基板移动机构。
11.根据权利要求10所述的基板保持装置，其特征在于，
所述控制部通过所述基板移动机构使所述基板移动，在所述基...
【专利技术属性】
技术研发人员：户江由也，下窄义行，小川滋之，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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