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本发明涉及基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法。提供一种用于抑制异物(磨损粉末等)附着于基板的技术。具有：基体，其具有保持基板(10)的保持面(110X)；以及粘附单元(120)，其具有利用粘附力粘贴于基板(10)的粘附垫(123)，...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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