【技术实现步骤摘要】
基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法
本专利技术涉及基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法。
技术介绍
在基板上进行成膜时等对基板进行各种处理的情况下，在将基板保持于基板保持部件(基板载体)的状态下进行各种处理。作为使基板保持于基板保持部件的方法，正在研究利用夹持机构等夹持基板的周边部分的方法、使用静电吸盘的方法、使用粘合垫那样的粘合部件的方法等。在专利文献1中记载了如下结构：利用设置在保持板上的粘合部件(粘合垫)保持玻璃基板，将被粘合保持的玻璃基板连同保持板一起输送以及翻转，在粘合保持于保持板的状态下对玻璃基板进行处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-55093号公报专利技术要解决的课题在各种处理结束后，需要从基板保持部件剥离基板。但是，若欲从基板保持部件强行剥离基板，则应力有可能局部集中于基板，基板也有可能破损。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该课题而作出的，其目的在于提供一种在将使用粘合部件保持于基板保持部件的基板从基板保持...
【技术保护点】
1.一种基板剥离装置，使保持于基板保持部件的基板从所述基板保持部件剥离，所述基板保持部件具备基体和粘合单元，所述基体具有保持基板的保持面，所述粘合单元具有利用粘合力粘贴于基板的粘合垫和对该粘合垫进行支承的支承部，其特征在于，/n所述基板剥离装置具有剥离机构，所述剥离机构通过对所述支承部向包含与所述保持面平行的第二方向的方向施加力，从而使所述粘合垫与该支承部一起倾斜，将该粘合垫从基板剥离。/n
【技术特征摘要】
20191029 JP 2019-1967971.一种基板剥离装置，使保持于基板保持部件的基板从所述基板保持部件剥离，所述基板保持部件具备基体和粘合单元，所述基体具有保持基板的保持面，所述粘合单元具有利用粘合力粘贴于基板的粘合垫和对该粘合垫进行支承的支承部，其特征在于，
所述基板剥离装置具有剥离机构，所述剥离机构通过对所述支承部向包含与所述保持面平行的第二方向的方向施加力，从而使所述粘合垫与该支承部一起倾斜，将该粘合垫从基板剥离。
2.如权利要求1所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述剥离机构对所述支承部向包含所述第二方向的方向施加力，并且对所述支承部向包含与所述保持面垂直的第一方向的方向施加力。
3.如权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述基板保持部件具备多个所述粘合单元，
所述剥离机构对于多个所述粘合单元，对多个所述粘合单元各自具有的所述支承部向包含所述第二方向的方向施加力。
4.如权利要求3所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述剥离机构对于多个所述粘合单元，对多个所述粘合单元各自具有的所述支承部同时向包含所述第二方向的方向施加力。
5.如权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述支承部是在一端侧连结有所述粘合垫的轴部，
所述剥离机构通过对所述轴部的另一端侧向包含与所述保持面平行的第二方向的方向施加力，从而使所述粘合垫与该轴部一起倾斜，将该粘合垫从基板剥离。
6.如权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述粘合单元具有设置在所述支承部的从所述粘合垫离开的位置的磁性部件，
在使设置在基板剥离装置内的电磁线圈产生向该电磁线圈的内部吸入所述磁性部件的电磁力的状态下，使该电磁线圈在与所述保持面平行的方向上移动。
7.如权利要求6所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述磁性部件是永磁铁。
8.如权利要求6所述的基板剥离装置，其特征在于，
所述基板剥离装置具备：
具有所述电磁线圈的电磁线圈单元；
对所述电磁线圈单元进行支承的支承台；以及
使所述支承台在包含所述第二方向的方向上移动的驱动装置。
9.一种基板剥离装置，使保持于基板保持部件的基板从所述基板保持部件剥离，所述基板保持部件具备基体和粘合单元，所述基体具有保持基板的保持面，所述粘合单元具有粘合垫和轴部，所述粘合垫利用粘合力粘贴于基板，所述轴部在一端侧连结有该粘合垫，在另一端侧连结有磁性部件，其特征在于，
所述基板剥离装置具备：
电磁线圈单元，所述电磁线圈单元具有产生作用于所述磁性部件的电磁力的电磁线圈；
支承台，所述支承台对所述电磁线圈单元进行支承；以及
驱动装置，所述驱动装置使所述支承台在包含与所述保持面平行的第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：户江由也，下窄义行，小川滋之，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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