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本发明涉及基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法。在将使用粘合部件保持于基板保持部件的基板从基板保持部件剥离时，良好地剥离基板。基板剥离装置使保持于基板保持部件(100)的基板(10)从基板保持部件(100)剥离，所述基板保持部件(10...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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