一种利用有效面积来建立记忆体电路的成品率模型的方法技术

本发明专利技术一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法，包括：（１）建立记忆体原始成品率模型；（２）建立记忆体特征失效成品率的模型；（３）记忆体特征失效的修复计算；（４）记忆体最终成品率的计算；（５）记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算，建立记忆体电路成品率模型。本发明专利技术方法利用记忆体的设计版图，记忆体可利用的修复资源以及生产线各个工艺模块的缺陷率曲线，就可以精确地预估记忆体的初始成品率，修复之后的成品率，主要的失效特征的成品率，并且能够优化修复资源的设计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及属于集成电路设计和制造领域，尤其是涉及一种利用有效 面积的概念来建立记忆体电路的成品率模型的方法。
技术介绍
传统上记忆体成品率的估算是用和逻辑电路做比较的方法来得到的。 这样的方法不是很准确因为没有考虑到记忆体电路的特殊性。建立精确的 成品率'模型对记忆体电路的设计和制造具有很好的指导意义。举例来说， 当设计新的记忆体电路时，其最终的成品率是非常重要的。为了保证合适 的成品率，就需要预先设计修复资源。如果修复资源过多，就会浪费芯片 的面积，如果过少，就不能保证最终的成品率。如果可以建立精确的成品 率模型，修复资源的设计就可以根据最终的成品率要求来设定，就可以达 到优化设计的目标。记忆体电路也常常用于成品率的提高，通常用物理解构(PFA)的方法 来对特征失效作出分析，从而建立起缺陷的分布。如果可以建立起精确的 成品率模型，就可以从特征失效的成品率反推出各个工艺模块的缺陷率， 从而精确地知道各个模块的工艺情况。综上所述，建立有效的记忆体成品率模型，可以对记忆体电路的设 计以及生产线工艺的研发有很重要的指导作用。
技术实现思路
本专利技术提出了一种利用有效面积来建立记忆体电路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法，包括：（１）建立记忆体原始成品率模型；（２）建立记忆体特征失效成品率的模型；（３）记忆体特征失效的修复计算；（４）记忆体最终成品率的计算；（５）记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算，建立记忆体电路成品率模型。

【技术特征摘要】
1.一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法，包括(1)建立记忆体原始成品率模型；(2)建立记忆体特征失效成品率的模型；(3)记忆体特征失效的修复计算；(4)记忆体最终成品率的计算；(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算，建立记忆体电路成品率模型。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述的建立记忆体原始 成品率模型的方法包括通过对每层的断电和漏电缺陷曲线和该层的断电和漏电的有效面积的乘积来积分来获得该层的断电和漏电的成品率；通过 玻松模型来获得每种接触孔的成品率；最后产品的成品率是所有以上单个 成品率的乘积。3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述的建立记忆体特征 失效成品率的模型的方法包括首先对记忆体中的所有版图的元素进行标 识，用蒙特卡洛的^f莫拟方法来模拟缺陷发生的各种可能情况，并且计算该 种情况发生的有效面积。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：任杰，郑勇军，马铁中，史峥，严晓浪，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]