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一种利用有效面积来建立记忆体电路的成品率模型的方法技术
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文档序号:2830570
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本发明一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法,包括:(1)建立记忆体原始成品率模型;(2)建立记忆体特征失效成品率的模型;(3)记忆体特征失效的修复计算;(4)记忆体最终成品率的计算;(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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