【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法
本专利技术涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法。此外，本专利技术涉及一种适于执行该方法的系统以及一种对应的计算机程序产品。
技术介绍
多射束粒子显微镜与单射束粒子显微镜一样可以被用于在微观尺度上分析物体。使用这种粒子显微镜例如可以记录物体的图像，这些图像表示物体的表面。通过这种方式例如可以分析表面结构。在单射束粒子显微镜中使用由带电粒子(例如电子、正电子、μ介子或离子)形成的单一粒子射束来分析物体，而在多射束粒子显微镜中使用多个粒子射束来分析物体。该多个粒子射束(还被称为束)同时指向物体的表面，由此与单射束粒子显微镜相比，在相同时间段内可以扫描并分析物体表面的明显更大的面积。WO2005/024881A2公开了一种呈电子显微镜系统形式的多粒子射束系统，该多粒子射束系统通过多个电子射束工作，以便用这些电子射束的束并行地扫描待检查的物体。产生这些电子射束的束的方式是将由电子源产生的电子射束指向多孔板，该多孔板具有多个开口。这些电子射束的电子中的...
【技术保护点】
1.一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法，该方法包括以下步骤：/n用多个初级粒子射束照射、尤其同时照射该物体，其中每个初级粒子射束以扫描的方式照射该物体的分开的单独场区域；/n收集相互作用产物，所述相互作用产物由于所述初级粒子射束而从该物体中发出；/n将所述相互作用产物投射到包含一个检测器或包含多个检测器的检测单元的检测区域上，使得从两个不同的单独场区域发出的相互作用产物被投射到不同的检测区域上，/n基于数据生成所述单独场区域中的每个单独场区域的单独图像，所述数据分别借助来自所述检测区域中的信号而被获得或者已被获得；/n确定每个单独图像的对比度值；以及/...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180921 DE 102018007455.31.一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法，该方法包括以下步骤：
用多个初级粒子射束照射、尤其同时照射该物体，其中每个初级粒子射束以扫描的方式照射该物体的分开的单独场区域；
收集相互作用产物，所述相互作用产物由于所述初级粒子射束而从该物体中发出；
将所述相互作用产物投射到包含一个检测器或包含多个检测器的检测单元的检测区域上，使得从两个不同的单独场区域发出的相互作用产物被投射到不同的检测区域上，
基于数据生成所述单独场区域中的每个单独场区域的单独图像，所述数据分别借助来自所述检测区域中的信号而被获得或者已被获得；
确定每个单独图像的对比度值；以及
调节所述检测单元，使得在定义的第一极限内，预先确定的多个单独图像、尤其所有单独图像具有相同的对比度值。
2.根据权利要求1所述的方法，其中该方法被全部地或部分地重复和/或迭代地执行。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，该方法另外具有以下步骤：
确定每个单独图像的亮度值；以及
调节所述检测单元，使得在定义的第二极限内，预先确定的多个的单独图像、尤其所有单独图像具有相同的亮度值。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，该方法还包括以下方法步骤：
通过重新执行几个或所有方法步骤来测试该检测单元的改变的设定。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，该方法还包括以下方法步骤：
使用品质指标作为成功均衡检测器的指标。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
其中所有单独图像的对比度值的定义的第一极限与所选择的对比度参考值的偏差≤10％，尤其≤5％或≤1％；和/或
其中所有单独图像的亮度值的定义的第二极限与所选择的亮度参考值的偏差≤10％，尤其≤5％或≤1％。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
其中调节所述检测单元包括调节增益和/或调节偏移。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
其中所述相互作用产物被投射到粒子检测器的检测区域上，
其中该粒子检测器的每个检测区域在相互作用产物击中该检测区域时发射出光信号，
其中从每个检测区域发射出的光信号被馈送到分配给相应的检测区域的光检测器；以及
其中调节该检测单元包括调节所述光检测器。
9.根据权利要求8所述的方法，
其中所述光检测器包含雪崩光电二极管，并且
其中调节所述雪崩光电二极管包括调节增益和/或调节偏移。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中使用测试样品作为物体以均衡检测器，该测试样品具有多个结构上相同的测试区域。
11.根据权利要求10所述的方法，该方法还包括以下步骤：
基于真实样品测试该检测单元的改变的设定。
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
其中生成所述单独图像在图像生成计算机上并行地进行，所述图像生成计算机被相应地分配给该检测单元的所述检测区域。
13.根据权利要求12所述的方法，
其中用于确定所述对比度值和/或所述亮度值的计算同样在所述图像生成计算机上并行地进行。
14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，<...
【专利技术属性】
技术研发人员：D蔡德勒，M贝恩克，S舒伯特，C里德塞尔，
申请(专利权)人：卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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