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本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。...
该专利属于卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司授权不得商用。

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