【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有改良的成像对比度的多束带电粒子显微镜，以及一种用于检查具有改良的图像对比度的半导体特征的方法。
技术介绍
1、wo 2005/024881 a2揭示一种电子显微镜系统，其利用多个电子小束操作，以利用电子小束集束并行扫描待检查物体。通过将一次带电粒子束引导到多束成形单元上来产生一次带电粒子小束的集束，该多束成形单元包括至少一个多孔板，该多孔板具有多个开口。电子束的一部分电子入射在该多孔板上并在那里被吸收，并且电子束的其他部分透射过该多孔板的开口，如此在每一开口的下游束路径形成电子小束，该小束的截面由该开口的截面界定。一次带电粒子小束由物镜聚焦在样品的表面上，并触发二次电子或反向散射电子作为二次电子小束从样品中发射，其经收集并成像到检测器上。每个二次电子小束入射到分离的检测器元件或检测器元件组上，使得由此检测到的二次电子强度提供与在对应的一次小束入射到样品上的位置处的样品表面有关的信息。在样品表面上有系统地扫描一次小束的集束，并以扫描电子显微镜的常用方式产生样品的电子显微图像。
2、一般来说，扫描电子显微镜...
【技术保护点】
1.一种操作多束带电粒子束系统（1）的检测单元（200），包括：
2.如权利要求1所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构（229）由包括多极偏转器（220、220a、220b、220c、220d）、透镜元件（205、211）的倾斜致动器（291b）、以及透镜元件（211、205）或该孔径光阑（271）的位置致动器（291a、291c）的群组中至少一个构件形成。
3.如权利要求2所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括至少一个偏转器（220、220a、220b、220c、220d），其设置成调整所述多个二次电子小束（9）的光瞳分布（...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种操作多束带电粒子束系统（1）的检测单元（200），包括：
2.如权利要求1所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构（229）由包括多极偏转器（220、220a、220b、220c、220d）、透镜元件（205、211）的倾斜致动器（291b）、以及透镜元件（211、205）或该孔径光阑（271）的位置致动器（291a、291c）的群组中至少一个构件形成。
3.如权利要求2所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括至少一个偏转器（220、220a、220b、220c、220d），其设置成调整所述多个二次电子小束（9）的光瞳分布（17）的横向位置，同时将该二次电子像平面（225）处的所述多个二次电子小束（9）的每一者的焦点（15）保持在预定且恒定的位置。
4.如权利要求3所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括布置在该检测单元（200）的中间像平面（265）中的偏转器（220a）。
5.如权利要求3所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括至少第一偏转器和第二偏转器（220、220a、220b、220c、220d），其设置成调整所述多个二次电子小束（9）的光瞳分布（17）的横向位置，同时将该二次电子像平面（225）处的所述多个二次电子小束（9）的每一者的焦点（15）保持在预定且恒定的位置。
6.如权利要求1或2所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括位置或倾斜致动器（291a、291b、291c），其设置成改变该检测单元（200）的至少一个可移动元件的轴向位置或倾斜角，同时将该二次电子像平面（225）处的所述多个二次电子小束（9）的每一者的焦点（15）保持在预定且恒定的位置。
7.如权利要求6所述的检测单元（200），其中该至少一个可移动元件为安装在位置致动器（291c）上的该孔径光阑（271）。
8.如权利要求6或7所述的检测单元（200），其中该交叉致动机构包括第一透镜元件和第二透镜元件（205.3、211.2）的至少第一和第二位置或倾斜致动器（291a、291b）。
9.一种多束带电粒子束系统（1）...
【专利技术属性】
技术研发人员：F·蒙克，T·迪特勒，T·施密德，B·米克施，M·科赫，D·蔡德勒，S·舒伯特，H·班茨哈夫，A·哈斯，
申请(专利权)人：卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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