【技术实现步骤摘要】
供液装置
[0001]本技术涉及晶圆的生产加工领域，具体涉及一种供液装置。
技术介绍
[0002]在半导体工业中，经常需要使用到液体化学品，也经常需要将液体化学品从供液机台运送到需要液体化学品的目标机台。
[0003]在进行液体化学品的运输时，很容易出现液体化学品的流量测量不准确的问题，并且往往在液体化学品的传输过程中，容易出现传输不稳定、使用效果不佳的问题，这还有可能会影响到目标机台的晶圆处理速度以及效果，影响晶圆加工的良率。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种供液装置，能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度，提升传输的稳定性，提升使用效果。
[0005]为解决上述技术问题，以下提供了一种供液装置，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。
[0006]可选的，所述目标机台包...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种供液装置，其特征在于，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。2.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述目标机台包括排液管路，一端连通至所述目标机台，一端连通至外界，所述排泡管路连通至所述排液管路，从而连通至外界。3.根据权利要求1所述的供液装置，其特征在于，还包括供液泵，设置于所述供液管路上，用于将所述供液箱内的液体化学品输送至所述目标机台。4.根据权利要求3所述的供液装置，其特征在于，还包括第一阀门，所述第一阀门设置于所述排泡管路，用于控制所述排泡管路的导通情况。5.根据权利要求4所述的供液装置，其特征在于，所述供液箱还包括控制器，所述控制器分别连接至所述供液泵与所述第一阀门，用于控制所述供液泵和所述第一阀门的工作状态。6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊佳瑜，陈浩，杨玉辉，李绪，熊泰贻，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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