谐振子和具备谐振子的谐振装置制造方法及图纸

谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振子和具备谐振子的谐振装置
本专利技术涉及谐振子和具备谐振子的谐振装置。
技术介绍
在智能手机等电子设备，例如作为定时设备，装入有作为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)之一种的谐振装置。这样的谐振装置例如具备：下盖；在自身与下盖之间形成腔体的上盖；以及配置于下盖和上盖之间的腔体内的谐振子。谐振子例如具备：压电膜；隔着压电膜设置的上部电极和下部电极；以及设置于层间或者表面的绝缘膜。作为这样的谐振子的具体结构，例如，专利文献1公开一种谐振子，具备：第1电极和第2电极；设置于第1电极与第2电极之间的压电膜；由设置在第1电极上的绝缘体构成的保护膜；以及由设置在保护膜上的导电体构成的导电膜，导电膜与第1电极和第2电极中任一者电连接。另外，专利文献2公开一种谐振子，为具有从基部延出且以面内屈曲振动模式振动的一对振动臂的音叉型谐振子，振动臂由与基部结合的规定宽度的臂部和设置于臂部的末端部的宽度大的质量附加部构成，质量附加部具有仅在与另一个振动臂相反侧的宽度方向上从臂部的侧面突出的部分。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种谐振子，其特征在于，具备：/n基部；和/n至少三个振动臂，其具有压电膜和之间隔着所述压电膜对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与所述基部的前端部连接的固定端，另一端是离开所述前端部设置的自由端，/n所述至少三个振动臂中各振动臂具有：臂部，其具有沿着从所述固定端朝向所述自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部，其与所述臂部的末端连接，且比所述臂部宽度大，/n在所述至少三个振动臂中的相邻且相互反相振动的任两个振动臂中，所述质量附加部彼此的间隔大于所述臂部彼此的间隔。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180913 JP 2018-1718201.一种谐振子，其特征在于，具备：
基部；和
至少三个振动臂，其具有压电膜和之间隔着所述压电膜对置设置的上部电极和下部电极，且一端是与所述基部的前端部连接的固定端，另一端是离开所述前端部设置的自由端，
所述至少三个振动臂中各振动臂具有：臂部，其具有沿着从所述固定端朝向所述自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部，其与所述臂部的末端连接，且比所述臂部宽度大，
在所述至少三个振动臂中的相邻且相互反相振动的任两个振动臂中，所述质量附加部彼此的间隔大于所述臂部彼此的间隔。


2.根据权利要求1所述的谐振子，其特征在于，
所述至少三个振动臂由配置于外侧的两个外侧振动臂和配置于内侧的一个或者两个内侧振...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上义久，河合良太，后藤雄一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP