谐振器以及谐振装置制造方法及图纸

谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振器以及谐振装置
本专利技术涉及谐振器以及谐振装置。
技术介绍
作为用于在电子设备中实现计时功能的器件，使用压电振子等谐振器。伴随着电子设备的小型化，谐振器也被要求小型化，使用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)技术制造的谐振器(以下，也称为“MEMS振子”。)被关注。在MEMS振子中，有时由于制造偏差而在谐振频率中产生偏差。因此，在MEMS振子的制造中或制造后，通过追加蚀刻等来调整频率。例如，在专利文献1中公开了如下的结构：在具有多个振动臂的振子中，分别减少设置在振动臂的前端侧的粗调用的质量部和设置在振动臂的基端侧的微调用的质量部，由此来调整谐振频率。专利文献1：日本特开2012-065293号公报专利文献1所记载的质量部具有绝缘体层和形成在该绝缘体层上的导电层。在MEMS振子中，在形成这样的质量部并使用离子束等来调整谐振频率的情况下，有时会导致绝缘体层带电。在MEMS振子上的绝缘体层带电的状态下，若MEMS振子振动，则由于绝缘体层中的电荷而导致产生库仑力，导致谐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种谐振装置，其中，/n所述谐振装置具备谐振器、上盖和下盖，/n所述谐振器具有：/n振动部，具备基部和多个振动臂，所述多个振动臂具有与所述基部连接的固定端和与所述基部分离地设置的开放端，所述多个振动臂从所述固定端延伸到所述开放端，所述基部和所述多个振动臂具有压电膜、下部电极、上部电极以及绝缘膜，所述下部电极和所述上部电极被设置成将所述压电膜夹于之间而对置，所述绝缘膜被设置成覆盖所述上部电极；/n保持部，向所述多个振动臂的所述开放端侧延伸地设置；以及/n保持臂，将所述振动部和所述保持部连接，/n所述上盖与所述谐振器的所述上部电极对置地设置，/n所述下盖与所述谐振器的所述下部电极对置地设置，/...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180427 JP 2018-0866101.一种谐振装置，其中，
所述谐振装置具备谐振器、上盖和下盖，
所述谐振器具有：
振动部，具备基部和多个振动臂，所述多个振动臂具有与所述基部连接的固定端和与所述基部分离地设置的开放端，所述多个振动臂从所述固定端延伸到所述开放端，所述基部和所述多个振动臂具有压电膜、下部电极、上部电极以及绝缘膜，所述下部电极和所述上部电极被设置成将所述压电膜夹于之间而对置，所述绝缘膜被设置成覆盖所述上部电极；
保持部，向所述多个振动臂的所述开放端侧延伸地设置；以及
保持臂，将所述振动部和所述保持部连接，
所述上盖与所述谐振器的所述上部电极对置地设置，
所述下盖与所述谐振器的所述下部电极对置地设置，
所述下盖具有在所述多个振动臂中的相邻的2个振动臂之间突起的突起部，所述突起部具有绝缘膜，
所述振动臂具有锤部，所述锤部设置在所述开放端侧，所述锤部的宽度比所述振动臂中的其他部位的宽度宽，所述锤部具有形成在所述绝缘膜上的导电膜，
在俯视所述下盖中的与所述下部电极对置的面时，在所述多个振动臂延伸的方向上，与所述相邻的2个振动臂中的任意一个振动臂的所述锤部与所述保持部之间的第一距离相比，所述任意一个振动臂的所述锤部与所述突起部之间的第二距离较大。


2.根据权利要求1所述的谐振装置，其中，
所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：河合良太，竹山佳介，后藤雄一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP