图像感测装置制造方法及图纸

图像感测装置的设计包括：基板层，其包括多个光电转换元件；设置在基板层上方的多个栅格结构；多个滤色器层，每一滤色器层设置在相邻栅格结构之间；在滤色器层上方形成的多个外覆层；以及在外覆层上方形成的多个微透镜。每个栅格结构可以包括空气层和形成为覆盖空气层的封盖膜，并且空气层的上部形成为从外覆层向上突出。

【技术实现步骤摘要】
图像感测装置
本专利文档中公开的技术和实现总体涉及图像感测装置。
技术介绍
图像传感器是用于将光学图像转换为电信号的装置。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的发展，在诸如数码相机、摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏控制台、监视相机、医用微型相机、机器人等的各种装置中对高性能图像传感器的需求不断增加。
技术实现思路
除其它特征和益处外，所公开的技术的实施方式涉及具有增加的光接收效率的图像感测装置，其能够避免由于空气栅格的膨胀导致的结构损坏。根据所公开的技术的实施方式，图像感测装置可以包括基板层，其包括多个光电转换元件；设置在基板层上方并且被构造为提供相邻光电转换元件之间的光学隔离的多个栅格结构；多个滤色器层，其设置在基板层上方，每一滤色器层设置在相邻栅格结构之间；分别在多个滤色器层上方形成的多个外覆层；以及分别在多个外覆层上方形成的多个微透镜。多个栅格结构中的每一个可以包括空气层和形成为覆盖空气层的封盖膜。空气层的上部可以形成为从外覆层向上突出。附图说明图1是例示基于所公开的技术的一些实现的图像本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：/n基板层，所述基板层包括多个光电转换元件；/n多个栅格结构，所述多个栅格结构被设置在所述基板层上方并且被构造为提供相邻的光电转换元件之间的光学隔离；/n多个滤色器层，所述多个滤色器层被设置在所述基板层上方，每个滤色器层被设置在相邻的栅格结构之间；/n多个外覆层，所述多个外覆层分别形成在所述多个滤色器层上方；以及/n多个微透镜，所述多个微透镜分别形成在所述多个外覆层上方，/n其中，所述多个栅格结构中的每一个包括：/n空气层；以及/n形成为覆盖所述空气层的封盖膜，/n其中，所述空气层的上部被形成为从所述外覆层向上突出。/n

【技术特征摘要】
20190924 KR 10-2019-01177321.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
基板层，所述基板层包括多个光电转换元件；
多个栅格结构，所述多个栅格结构被设置在所述基板层上方并且被构造为提供相邻的光电转换元件之间的光学隔离；
多个滤色器层，所述多个滤色器层被设置在所述基板层上方，每个滤色器层被设置在相邻的栅格结构之间；
多个外覆层，所述多个外覆层分别形成在所述多个滤色器层上方；以及
多个微透镜，所述多个微透镜分别形成在所述多个外覆层上方，
其中，所述多个栅格结构中的每一个包括：
空气层；以及
形成为覆盖所述空气层的封盖膜，
其中，所述空气层的上部被形成为从所述外覆层向上突出。


2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述封盖膜包括超低温氧化物ULTO膜。


3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述封盖膜包括氧化硅SiO2。


4.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述封盖膜被形成为延伸至所述滤色器层下方。


5.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述栅格结构的顶表面被形成在比所述微透镜的顶表面低的位置。


6.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述多个栅格结构中的每一个还包括：
设置在所述空气层下方的金属层；以及
形成为覆盖所述金属层的绝缘膜。


7.根据权利要求6所述的图像感测装置，其中，所述绝缘膜被形成为延伸至所述滤色器层下方。


8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述多个栅格结构中的每一个还包括：
在所述空气层上形成的支撑膜。


9.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，根据对应的像素的颜色，所述多个微透镜在形成高度、曲率半径RoC和折射率中的至少一项上彼此不同。


10.根据权利要求9所述的图像感测装置，其中，所述外覆层根据所述对应的像素的颜色而具有不同的厚度。


11.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
基板层，所述基板层包括多个光电转换元件；
多个栅格结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵民洙，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR