影像感测装置及其形成方法制造方法及图纸

提供一种影像感测装置及其形成方法，影像感测装置包含基底、感光元件、介电层、反射层、彩色滤光层以及微透镜结构。前述基底具有第一像素及邻近第一像素的第二像素，且基底具有前侧及相对于前侧的背侧。前述感光元件设置于基底中。前述介电层设置于基底的背侧上。前述反射层设置于基底的前侧上且具有抛物面。前述彩色滤光层设置于介电层上。前述微透镜结构设置于彩色滤光层上。

【技术实现步骤摘要】
影像感测装置及其形成方法
本专利技术实施例是有关于一种影像感测装置(imagesensingdevice)，且特别地是有关于背照式(backsideillumination，BSI)影像感测装置。
技术介绍
影像感测装置已在各式影像捕捉装置中被广泛使用，例如摄影机、数字相机及类似装置。影像感测装置，例如电荷耦合装置(charge-coupleddevice，CCD)影像感测装置或互补式金氧半导体(complementarymetal-oxidesemiconductor，CMOS)影像感测装置，具有感光元件用于将入射光转换成电信号。影像感测装置具有像素阵列，且每一个像素具有一个感光元件。影像感测装置也具有逻辑电路，用于传送和处理电信号。虽然现存的影像感测装置可大致满足它们原先预定的用途，但其仍未在各个方面皆彻底地符合需求。例如，当入射光穿过含有感光元件的基底时，入射光并不会反射回去至基底，且当光的波长太长或基底的厚度不够时，其通常会发生前述现象。因此，会在导线层损失大部分的能量。因此，需要一种新颖的影像感测装置，来减少能量在导线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种影像感测装置，其特征在于，包括：/n一基底，具有一第一像素及邻近该第一像素的一第二像素，且该基底具有一前侧及相对于该前侧的一背侧；/n多个感光元件，设置于该基底中；/n一介电层，设置于该基底的该背侧上；/n一反射层，设置于该基底的该前侧上且具有一抛物面；/n一彩色滤光层，设置于该介电层上；以及/n一微透镜结构，设置于该彩色滤光层上。/n

【技术特征摘要】
20191009 TW 1081365591.一种影像感测装置，其特征在于，包括：
一基底，具有一第一像素及邻近该第一像素的一第二像素，且该基底具有一前侧及相对于该前侧的一背侧；
多个感光元件，设置于该基底中；
一介电层，设置于该基底的该背侧上；
一反射层，设置于该基底的该前侧上且具有一抛物面；
一彩色滤光层，设置于该介电层上；以及
一微透镜结构，设置于该彩色滤光层上。


2.根据权利要求1所述的影像感测装置，其特征在于，该反射层的该抛物面的曲率半径介于0.3μm至10μm之间。


3.根据权利要求1所述的影像感测装置，其特征在于，还包括一深沟槽隔离区，设置于该基底中且于该多个感光元件之间。


4.根据权利要求3所述的影像感测装置，其特征在于，该基底包括一次波长光栅于该基底的该背侧。


5.根据权利要求1所述的影像感测装置，其特征在于，还包括一深沟槽隔离区，设置于该第一像素及该第二像素之间。


6.根据权利要求1所述的影像感测装置，其特征在于，还包括一导线层，设置于该基底的该前侧上。


7.根据权利要求6所述的影像感测装置，其特征在于，该反射层设置于该基底与该导线层之间。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李柏叡，李明祥，
申请(专利权)人：晶相光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71