【技术实现步骤摘要】
图像感测装置
本专利文档中公开的技术和实现总体上涉及图像感测装置。
技术介绍
图像传感器是用于将光学图像转换成电信号的装置。随着计算机行业和通信行业的不断发展，在例如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏机、监控摄像头、医疗微型相机、机器人等的各种领域中，对高质量和高性能的传感器的需求快速增长。
技术实现思路
所公开的技术的各种实施方式涉及一种包括栅格结构的图像感测装置，该栅格结构包括空气并且能够维持其形状并使由于空气的热膨胀而塌陷的风险最小化。根据所公开的技术的实施方式，图像感测装置可以包括：基板，其包括光电转换元件，光电转换元件响应于入射到光电转换元件的光而产生电信号；以及栅格结构，其设置于基板上方。栅格结构可以包括：支撑壁；空气层，其设置于支撑壁的两侧；支撑盖，其设置在支撑壁和空气层上方；以及覆盖层，其形成在支撑壁、支撑盖和空气层上方。应当理解，所公开的技术的前述概括描述和以下详细描述都是示例性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步解释。附...
【技术保护点】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：/n基板，所述基板包括光电转换元件，所述光电转换元件响应于入射到所述光电转换元件的光而产生电信号；以及/n栅格结构，所述栅格结构设置在所述基板上方，/n其中，所述栅格结构包括：/n支撑壁；/n空气层，所述空气层设置在所述支撑壁的两侧；/n支撑盖，所述支撑盖设置在所述支撑壁和所述空气层上方；以及/n覆盖层，所述覆盖层形成在所述支撑壁、所述支撑盖和所述空气层上方。/n
【技术特征摘要】
20191004 KR 10-2019-01231721.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
基板，所述基板包括光电转换元件，所述光电转换元件响应于入射到所述光电转换元件的光而产生电信号；以及
栅格结构，所述栅格结构设置在所述基板上方，
其中，所述栅格结构包括：
支撑壁；
空气层，所述空气层设置在所述支撑壁的两侧；
支撑盖，所述支撑盖设置在所述支撑壁和所述空气层上方；以及
覆盖层，所述覆盖层形成在所述支撑壁、所述支撑盖和所述空气层上方。
2.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括：
金属栅格，所述金属栅格设置在所述支撑壁和所述空气层下方并且在所述基板上方。
3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述金属栅格包括：
阻挡金属层；
金属层，所述金属层形成在所述阻挡金属层上方；以及
绝缘膜，所述绝缘膜形成在所述阻挡金属层和所述金属层上方。
4.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中：
所述支撑壁设置在所述金属栅格的顶表面和所述支撑盖的底表面之间。
5.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁设置在所述基板的顶表面与所述支撑盖的底表面之间。
6.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁包括含碳材料。
7.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁包括旋涂碳SOC材料。
8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑盖包括硅氮氧化物膜、硅氧化物膜和硅氮化物膜中的至少一个。
9.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层包括：
第一覆盖层，所述第一覆盖层形成在所述空气层的侧表面以及所述支撑盖的顶表面和侧表面处；以及
第二覆盖层，所述第二覆盖层形成在所述第一覆盖层上方。
10.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：李柱相，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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