感测器装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种感测器装置及其制造方法。感测器装置包括至少一感测器单元。感测器单元包括至少一感测器元件、中间层、钝化层、微透镜结构、开口与第一反射层。中间层设置于感测器元件上。钝化层设置于中间层上。微透镜结构设置于钝化层上。开口设置于微透镜结构中。第一反射层设置于微透镜结构上。此外，第一反射层从开口延伸至钝化层。

【技术实现步骤摘要】
感测器装置及其制造方法
本专利技术实施例涉及一种感测器装置及其制造方法，特别涉及可改善生物感测的集光效率的一种光学感测器装置。
技术介绍
互补式金属氧化物半导体(CMOS)影像感测器广泛用于电子装置中，包括数码相机、医学成像设备、分光计(spectrometer)或雷达装置等。互补式金属氧化物半导体影像感测器通常包括集成电路与光电二极管(photodiode)，因此可捕获光线并将其转换成电信号。近来，互补式金属氧化物半导体影像感测器也用于生物或化学分析。在这些分析中，生物或生化样品可置于光电二极管上，并利用光学结构引导生物或生化样品所散发的光线收集至光电二极管中。利用光电二极管检测样品的荧光(fluorescence)或化学冷光(chemiluminescence)，而判断荧光与化学冷光的光谱分布与强度。光谱与强度可用以识别生物或生化样品的交互作用或特性。虽然现有的互补式金属氧化物半导体影像感测器普遍符合它们的需求，但并不是在所有方面皆令人满意。例如，光电二极管对生物反应的散发光的集光效率较低(例如，低于50％)，因为往光电二极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感测器装置，包括：/n至少一感测器单元，其包括：/n至少一感测器元件；/n一中间层，设置于该至少一感测器元件上；/n一钝化层，设置于该中间层上；/n一微透镜结构，设置于该钝化层上；/n一开口，设置于该微透镜结构中；以及/n一第一反射层，设置于该微透镜结构上，其中该第一反射层从该开口延伸至该钝化层。/n

【技术特征摘要】
20191004 US 16/593,4171.一种感测器装置，包括：
至少一感测器单元，其包括：
至少一感测器元件；
一中间层，设置于该至少一感测器元件上；
一钝化层，设置于该中间层上；
一微透镜结构，设置于该钝化层上；
一开口，设置于该微透镜结构中；以及
一第一反射层，设置于该微透镜结构上，其中该第一反射层从该开口延伸至该钝化层。


2.如权利要求1所述的感测器装置，其中该第一反射层从该开口的一侧壁延伸至该钝化层的一顶表面，且该第一反射层的材料对散发光具有高反射的特性。


3.如权利要求1所述的感测器装置，其中该微透镜结构于剖面中具有一半圆、半椭圆、三角形、长方形或使该微透镜结构反射光线朝向该至少一感测器元件的其他形状。


4.如权利要求1所述的感测器装置，其中该微透镜结构产生一平行光线或具有对应至一个感测器元件的一单一焦点、对应至两个感测器元件的两个焦点，或对应至三或四个感测器元件的多个焦点。


5.如权利要求1所述的感测器装置，其中该至少一感测器单元还包括一第二反射层，其设置于该中间层与该微透镜结构之间，其中该开口与该第二反射层重叠，且其中该第二反射层的材料对激发光具有高反射的特性。


6.如权利要求5所述的感测器装置，其中该至少一感测器单元还包括一波导结构，其设置于该第二反...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢馨仪，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71