集尘处理装置制造方法及图纸

提供集尘处理装置，在更换过滤器时不使灰尘向周围扩散。一种集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，将该灰尘和该空气分离，其中，该集尘处理装置包含：圆筒状主体，其与该干式研磨装置连结；吸引箱，其配设在该圆筒状主体的上板上；吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并具有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水。

【技术实现步骤摘要】
集尘处理装置
本专利技术涉及集尘处理装置。
技术介绍
在使用磨削磨具对被加工物进行了磨削加工之后，为了将磨削面的凹凸去除而使用研磨垫对磨削面进行研磨加工。研磨加工具有使用研磨液进行研磨的CMP研磨和干式研磨。在干式研磨中，由于使研磨垫与被加工物接触而进行研磨，因此产生研磨垫的粉尘和被加工物的粉尘等灰尘。为了将这些灰尘从加工室去除，在研磨装置中附设有专利文献1所公开的那样的集尘处理装置。该集尘处理装置在内部具有筒状的过滤器，使过滤器捕集灰尘来进行集尘。如果灰尘附着于过滤器，则集尘处理能力降低，因此定期地更换过滤器。专利文献1：日本特开2004-001118号公报在上述过滤器的更换中，在从集尘处理装置拔出过滤器时，存在灰尘向周围扩散而使设置有研磨装置和集尘处理装置的空间的内部污染的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供能够在更换过滤器单元时防止设置有研磨装置和集尘处理装置的空间的内部被污染的集尘处理装置。根据本专利技术，提供集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，将该灰尘和该空气分离，其中，该集尘处理装置具有：圆筒状主体，其包含圆筒状侧板、上板以及排水接收部，该圆筒状侧板具有从该干式研磨装置吸引的该空气的入口，该上板与该圆筒状侧板的上部连结，该排水接收部与该圆筒状侧板的下部连结并具有排水用开口；吸引箱，其配设在该圆筒状主体的该上板上；吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；排水箱，其贮存经由该排水接收部的排水用开口而滴下的排水；过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并形成有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水，在更换该过滤器单元时，能够从该水喷射喷嘴向该过滤器单元的内部喷射水，通过水来溶解该过滤器而将仅成为该凸缘部和该管的该过滤器单元从该圆筒状主体拔出。根据本专利技术的集尘处理装置，由于通过流水将过滤器溶解，因此能够使附着于过滤器的侧面的灰尘与过滤器一起从排出口排出。由此，能够防止在更换过滤器单元时设置有研磨装置和集尘处理装置的空间被污染。附图说明图1是示出具有集尘处理装置的研磨装置整体的立体图。图2是过滤器单元的分解立体图。图3是集尘处理装置的纵剖视图。标号说明1：研磨装置；10：基座；11：柱；2：过滤器单元；20：凸缘部；20a：上表面；200：开口；21：管；21a：上表面；21c：侧面；210：细孔；22：过滤器；22c：侧面；220：过滤器的中空；30：保持工作台；30a：保持面；31：波纹件；35：旋转轴线；5：加工室；50：底板；500：开口；51a～51d：侧壁；510：挡板；511：导轨；512：挡板可动构件；52：顶板；520：第2开口；520a：密封部件；56：通气口；6：研磨单元；60：主轴；61：壳体；62：电动机；63：安装座；64：研磨垫；64a：研磨面；65：旋转轴线；7：研磨进给机构；70：滚珠丝杠；71：导轨；72：电动机；73：升降板；74：保持架；75：旋转轴线；8：集尘处理装置；81：装置壳体；810：上表面；810a：开口；82：脚轮；83：主体；831：外筒；831a：入口；832：内筒；832a：内筒的上端；832b：内筒的下端；833：上板；833a：上开口；834：排水接收部；834a：排水用开口；835：中心轴；84：吸引源；840：吸气配管；841：排气管；851：排水管；851b：排水管的下端；852：排水箱；852a：侧面开口；852c：侧面；853：溢流管；854：排水口；86：吸引箱；861a：出口；871：通气管；872：连结管；875：通气管道；877：排气管道；9：水提供源；90：阀；900：阀控制构件；91：喷淋喷嘴；92：水喷射喷嘴；L：水；La：水面；W：被加工物；Wa：被研磨面。具体实施方式1研磨装置图1所示的研磨装置1是对被加工物W进行研磨的干式的研磨装置。以下，对研磨装置1进行说明。如图1所示，研磨装置1具有：基座10，其沿Y轴方向延伸设置；以及柱11，其竖立设置于基座10的+Y方向侧。研磨装置1具有保持工作台30。保持工作台30具有圆板形状，其上表面成为对被加工物W进行保持的保持面30a。保持工作台30与未图示的吸引构件连接。通过在保持面30a上载置有被加工物W的状态下使用吸引构件等产生吸引力，将所产生的吸引力传递到保持面30a，从而能够将被加工物W吸引保持于保持面30a。在保持工作台30的下方配设有未图示的水平移动机构。保持工作台30能够通过该水平移动机构而沿Y轴方向移动。另外，在基座10上配设有波纹件31。通过保持工作台30沿Y轴方向移动，波纹件31进行伸缩。保持工作台30与未图示的旋转构件连接，能够以通过保持工作台30的中心的Z轴方向的旋转轴线35为轴进行旋转。在柱11的-Y方向侧的侧面配设有使研磨单元6沿Z轴方向进行研磨进给的研磨进给机构7。研磨进给机构7具有：滚珠丝杠70，其具有Z轴方向的旋转轴线75；一对导轨71，它们与滚珠丝杠70平行地配设；电动机72，其使滚珠丝杠70以旋转轴线75为轴进行旋转；升降板73，其内部的螺母与滚珠丝杠70螺合，侧部与导轨71滑动接触；以及保持架74，其与升降板73连结并对研磨单元6进行保持。当使用电动机72使滚珠丝杠70绕旋转轴线75进行旋转时，升降板73一边被导轨71引导一边沿Z轴方向升降移动，并且被保持架74支承的研磨单元6沿Z轴方向升降移动。研磨单元6具有：主轴60，其具有Z轴方向的旋转轴线65；壳体61，其将主轴60支承为能够旋转；电动机62，其使主轴60以旋转轴线65为轴进行旋转；圆板状的安装座63，其与主轴60的下端连接；以及圆板状的研磨垫64，其以能够装卸的方式安装于安装座63的下表面。研磨垫64例如具有毛毡等无纺布或聚氨酯等材质，并且含有适当大小的磨粒。例如，研磨垫64的直径比被加工物W的直径大，在研磨加工时，研磨垫64的研磨面64a与被加工物W的整个被研磨面Wa接触。在基座10上的研磨单元6的下方配设有长方体状的加工室5。加工室5具有：底板50；侧壁51a～51d，它们与底板50的外周连结并沿Z轴方向竖立设置；以及顶板52，其与底板50相对并与侧壁51a～侧壁51d的上端连接。在底板50的大致中央部形成有具有比保持工作台30稍大的直径的圆形状的开口500，保持工作台30从开口500突出。-Y方向侧的侧壁51a例如具有被切成大致长方形状而形成的未图示的搬入搬出口。另外，在侧壁51a上配设有沿Z轴方向升降移动而使搬入搬出口开闭的挡板510和引导挡板510的升降移动的导轨511，挡板510能够通过气缸等挡板可动构件512而上下移动。例如，在挡板510上升而使搬入搬出口开放的状态本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，并将该灰尘和该空气分离，其中，/n该集尘处理装置具有：/n圆筒状主体，其包含圆筒状侧板、上板以及排水接收部，该圆筒状侧板具有从该干式研磨装置吸引的该空气的入口，该上板与该圆筒状侧板的上部连结，该排水接收部与该圆筒状侧板的下部连结并具有排水用开口；/n吸引箱，其配设在该圆筒状主体的该上板上；/n吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；/n排水箱，其贮存经由该排水接收部的排水用开口而滴下的排水；/n过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并形成有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及/n水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水，/n在更换该过滤器单元时，能够从该水喷射喷嘴向该过滤器单元的内部喷射水，通过水来溶解该过滤器而将仅成为该凸缘部和该管的该过滤器单元从该圆筒状主体拔出。/n

【技术特征摘要】
20191004 JP 2019-1836041.一种集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，并将该灰尘和该空气分离，其中，
该集尘处理装置具有：
圆筒状主体，其包含圆筒状侧板、上板以及排水接收部，该圆筒状侧板具有从该干式研磨装置吸引的该空气的入口，该上板与该圆筒状侧板的上部连结，该排水接收部与该圆筒状侧板的下部连结并具有排水用开口；
吸引箱，其配设在该圆筒状主体的该上板上；
吸引源，其经由通气管道而与...

【专利技术属性】
技术研发人员：V·T·党，吉田干，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP