一种光刻机基片定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光刻机基片定位装置，属于光刻机技术领域。该一种光刻机基片定位装置，包括光刻机本体和基片固定组件。所述基片固定组件包括承片台和定位件以及除尘件，所述除尘件包括抽风机、抽风主管道、抽风分管道和安装板，所述安装板连接至所述承片台，所述抽风机连接至所述安装板，所述抽风主管道固定至所述抽风机的抽风端，所述抽风分管道设有两个，两个所述抽风分管道分别连通至所述抽风主管道，且两个所述抽风分管道外端均连接有吸尘罩，所述吸尘罩内壁还均设有过滤网。在本实用新型专利技术中，基片固定组件具有除尘功能，能够在基片光刻前或者光刻过程中对承片台上部的灰尘飞絮进行快速清理。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机基片定位装置
本技术涉及光刻机领域，具体而言，涉及一种光刻机基片定位装置。
技术介绍
光刻机(MaskAligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机在运作过程中通常采用基片定位装置对基片进行定位处理，但是，现有的基片定位装置通常不能够配合除尘机构进行使用，从而不便于在光刻前或者光刻过程中对基片承载台面上的灰尘毛絮进行快速清理，进而容易影响基片光刻效果。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种光刻机基片定位装置，旨在改善现有的基片定位装置通常不能够配合除尘机构进行使用的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种光刻机基片定位装置，包括光刻机本体和基片固定组件。所述基片固定组件包括承片台和定位件以及除尘件，所述承片台安装在所述光刻机本体自带的工件台上，所述定位件包括伺服电机和正反牙丝杠以及滚珠丝杠螺母副，所述伺服电机固定安装至所述承片台，所述正反牙丝杠连接至所述伺服电机输出端，所述滚珠丝杠螺母副设有两个，两个所述滚珠丝杠螺母副分别转动连接至所述正反牙丝杠的相反方向，两个所述滚珠丝杠螺母副上均连接有滑杆，所述承片台上贯穿开设有与所述滑杆相适配的滑轨，两个所述滑杆上端均连接有夹板，所述除尘件包括抽风机、抽风主管道、抽风分管道和安装板，所述安装板连接至所述承片台，所述抽风机连接至所述安装板，所述抽风主管道固定至所述抽风机的抽风端，所述抽风分管道设有两个，两个所述抽风分管道分别连通至所述抽风主管道，且两个所述抽风分管道外端均连接有吸尘罩，所述吸尘罩内壁还均设有过滤网。在本技术的一种实施例中，所述承片台呈倒U形状设置，且所述正反牙丝杠末端与所述承片台转动连接。在本技术的一种实施例中，两个所述夹板均为V形状设置，两个所述夹板开口相对设置，且两个所述夹板之间共同夹紧有基片本体。在本技术的一种实施例中，所述抽风分管道上安装有卡箍，所述抽风分管道能够利用卡箍与所述承片台外壁固定。在本技术的一种实施例中，所述吸尘罩内壁设有内螺纹，所述过滤网自带的框体外壁设有与内螺纹相适配的外螺纹。在本技术的一种实施例中，两个所述吸尘罩均朝向所述承片台的上表面。该一种光刻机基片定位装置还包括取片组件，所述取片组件包括气缸和推板以及容纳盒。在本技术的一种实施例中，所述气缸固定安装至所述承片台的上表面一侧。在本技术的一种实施例中，所述容纳盒固定连接至所述承片台另一侧，所述容纳盒内壁粘固有缓冲橡胶垫。在本技术的一种实施例中，所述推板连接至所述气缸的活塞端，所述推板与所述容纳盒外沿活动接触。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种光刻机基片定位装置，使用时，首先开启抽风机，利用抽风主管道和抽风分管道以及两个吸尘罩能将承片台台面上的灰尘进行快速吸入，同时在两个吸尘罩内壁均设有方便拆卸的过滤网，利用两个过滤网能够将吸入吸尘罩内的灰尘进行拦截过滤，方便基片光刻前以及光刻过程中对基片的承片台进行快速清理，从而有利于增加基片光刻的效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施方式提供的一种光刻机基片定位装置结构示意图；图2为本技术实施方式提供的图1中承片台俯视结构示意图；图3为本技术实施方式提供的承片台和滑杆之间的连接关系结构示意图；图4为本技术实施方式提供的除尘件结构示意图；图5为本技术实施方式提供的吸尘罩和过滤网之间的连接关系结构示意图。图中：10-光刻机本体；20-基片固定组件；210-承片台；220-定位件；221-伺服电机；222-正反牙丝杠；223-滚珠丝杠螺母副；224-滑杆；230-除尘件；231-抽风机；232-抽风主管道；233-抽风分管道；234-安装板；235-过滤网；236-吸尘罩；240-滑轨；250-夹板；30-取片组件；310-气缸；320-推板；330-容纳盒。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机基片定位装置，其特征在于，包括/n光刻机本体(10)；/n基片固定组件(20)，所述基片固定组件(20)包括承片台(210)和定位件(220)以及除尘件(230)，所述承片台(210)安装在所述光刻机本体(10)自带的工件台上，所述定位件(220)包括伺服电机(221)和正反牙丝杠(222)以及滚珠丝杠螺母副(223)，所述伺服电机(221)固定安装至所述承片台(210)，所述正反牙丝杠(222)连接至所述伺服电机(221)输出端，所述滚珠丝杠螺母副(223)设有两个，两个所述滚珠丝杠螺母副(223)分别转动连接至所述正反牙丝杠(222)的相反方向，两个所述滚珠丝杠螺母副(223)上均连接有滑杆(224)，所述承片台(210)上贯穿开设有与所述滑杆(224)相适配的滑轨(240)，两个所述滑杆(224)上端均连接有夹板(250)；/n所述除尘件(230)包括抽风机(231)、抽风主管道(232)、抽风分管道(233)和安装板(234)，所述安装板(234)连接至所述承片台(210)，所述抽风机(231)连接至所述安装板(234)，所述抽风主管道(232)固定至所述抽风机(231)的抽风端，所述抽风分管道(233)设有两个，两个所述抽风分管道(233)分别连通至所述抽风主管道(232)，且两个所述抽风分管道(233)外端均连接有吸尘罩(236)，所述吸尘罩(236)内壁还均设有过滤网(235)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种光刻机基片定位装置，其特征在于，包括
光刻机本体(10)；
基片固定组件(20)，所述基片固定组件(20)包括承片台(210)和定位件(220)以及除尘件(230)，所述承片台(210)安装在所述光刻机本体(10)自带的工件台上，所述定位件(220)包括伺服电机(221)和正反牙丝杠(222)以及滚珠丝杠螺母副(223)，所述伺服电机(221)固定安装至所述承片台(210)，所述正反牙丝杠(222)连接至所述伺服电机(221)输出端，所述滚珠丝杠螺母副(223)设有两个，两个所述滚珠丝杠螺母副(223)分别转动连接至所述正反牙丝杠(222)的相反方向，两个所述滚珠丝杠螺母副(223)上均连接有滑杆(224)，所述承片台(210)上贯穿开设有与所述滑杆(224)相适配的滑轨(240)，两个所述滑杆(224)上端均连接有夹板(250)；
所述除尘件(230)包括抽风机(231)、抽风主管道(232)、抽风分管道(233)和安装板(234)，所述安装板(234)连接至所述承片台(210)，所述抽风机(231)连接至所述安装板(234)，所述抽风主管道(232)固定至所述抽风机(231)的抽风端，所述抽风分管道(233)设有两个，两个所述抽风分管道(233)分别连通至所述抽风主管道(232)，且两个所述抽风分管道(233)外端均连接有吸尘罩(236)，所述吸尘罩(236)内壁还均设有过滤网(235)。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机基片定位装置，其特征在于，所述承片台(210)呈倒U形状设置，且所述正反牙丝杠(222)末端与所述承片台(210)转动连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光宇，
申请(专利权)人：锐捷芯盛天津电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12