利用机器学习从原始图像自动选择高品质平均扫描电镜图像制造技术

一种用于评估印制图案的图像的方法由至少一个可编程处理器实施。所述方法包括获得(2310,2320)所述印制图案的第一平均图像，其中所述第一平均图像是通过对所述印制图案的原始图像进行平均化而生成的。所述方法也包括识别(2330)第一平均图像的一个或更多个特征。所述方法还包括由所述可编程处理器执行图像品质分级模型并且至少基于所述一个或更多个特征来评估(2340)所述第一平均图像。所述评估包括由所述图像品质分级模型来确定(2350)所述第一平均图像是否满足指标。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用机器学习从原始图像自动选择高品质平均扫描电镜图像相关申请的交叉引用本申请要求2018年8月15日递交的美国申请62/764,664的优先权，并且所述申请的全部内容通过引用而被合并入本文中。
本文中的描述总体涉及如与用于光刻过程的过程模型一起使用的量测，并且更具体地涉及用于使用机器学习算法来自动选择供执行高品质量测所获取的图像的设备、方法和计算机程序产品。
技术介绍
光刻投影设备可以用于例如集成电路(IC)的制造中。在这种情况下，图案形成装置(例如，掩模)可以包括或提供与IC的单层对应的图案(“设计布局”)，并且这一图案可以通过诸如穿过图案形成装置上的图案辐射已经涂覆有辐射敏感材料(“抗蚀剂”)层的衬底(例如硅晶片)上的目标部分(例如包括一个或更多个的管芯)的方法，被转印到所述目标部分上。通常，单个衬底包括被光刻投影设备连续地、一次一个目标部分地将图案转印到其上的多个相邻目标部分。在一种类型的光刻投影设备中，整个图案形成装置上的图案被一次转印到一个目标部分上；这样的设备通常称作为步进器。在一种替代的设备(通常称为步进扫描设备)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于评估印制图案的图像的方法，所述方法由至少一个可编程处理器实施，并且所述方法包括：/n获得所述印制图案的第一平均图像，所述第一平均图像是通过对所述印制图案的多个第一原始图像进行平均化而生成的；/n识别所述第一平均图像的一个或更多个特征；以及/n通过所述至少一个可编程处理器执行图像品质分级模型并且至少基于所述一个或更多个特征，评估所述第一平均图像，所述评估包括：/n由所述图像品质分级模型来确定所述第一平均图像是否满足指标。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180815 US 62/764,6641.一种用于评估印制图案的图像的方法，所述方法由至少一个可编程处理器实施，并且所述方法包括：
获得所述印制图案的第一平均图像，所述第一平均图像是通过对所述印制图案的多个第一原始图像进行平均化而生成的；
识别所述第一平均图像的一个或更多个特征；以及
通过所述至少一个可编程处理器执行图像品质分级模型并且至少基于所述一个或更多个特征，评估所述第一平均图像，所述评估包括：
由所述图像品质分级模型来确定所述第一平均图像是否满足指标。


2.根据权利要求1所述的方法，其中通过至少对准所述多个原始图像并且从对准的多个原始图像生成所述第一平均图像来生成所述第一平均图像。


3.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
针对所述多个原始图像中的至少一个原始图像生成标记，所述标记指示所述第一平均图像是否满足所述指标；以及
在计算机存储器中将所述标记与所述多个原始图像中的至少一个原始图像相关联。


4.根据权利要求3所述的方法，所述方法还包括：
生成第二平均图像，所述生成包括：
对所述印制图案的被标记为满足所述指标的多个第二原始图像进行平均化，其中所述第二平均图像满足所述指标。


5.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：利用对不满足所述指标的所述第一平均图像的至少一个示例进行识别的数据集，训练所述图像品质分级模型。


6.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
通过从所述第一平均图像中至少减去所述多个第一原始图像中的一个第一原始图像，生成与所述多个第一原始图像中的一个第一原始图像相对应的残差图像，以及
其中，所述确定还基于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琛，张强，王祯祥，梁蛟，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL