炉管清洗方法技术

本发明专利技术涉及一种炉管清洗方法。该方法包括：向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁；所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫；所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。通过向炉管内通入一氧化氮气体有效去除了炉管内残留的氟离子，使得炉管干式保养清洗后的第一炉产品表面薄膜厚度均在控制线内，且与目标值的偏差较小，去除了炉管干式清洁保养后的测机步骤，提高了炉管的利用率。

【技术实现步骤摘要】
炉管清洗方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种炉管清洗方法。
技术介绍
干式清洗技术已经广泛应用炉管清洗中，但是专利技术人发现使用氟气和氮气的混合气体清洗炉管之后，炉管作业的第一炉产品会出现膜厚偏薄的现象，因此，传统工艺中进行炉管干式保养清洗后都需要进行测机，这影响了炉管的利用率。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种新的炉管清洗方法。一种炉管清洗方法,包括：向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁；所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫；所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。在其中一个实施例中，向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫的步骤中，一氧化氮气体从所述炉管底部的进气口通入所述炉管内部。在其中一个实施例中，向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁的步骤中，氟气和氮气的混合气体中氟气和氮气的比值大于等于0.1且小于等于0.5，优选为0.35。在其中一个实施例中，所述炉管清洗方法应用于氮化硅沉积后的炉管清洗。在其中一个实施例中，所述向炉本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉管清洗方法,包括：/n向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁；/n所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫；/n所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。/n

【技术特征摘要】
1.一种炉管清洗方法,包括：
向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁；
所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫；
所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫的步骤中，一氧化氮气体从所述炉管底部的进气口通入所述炉管内部。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁的步骤中，氟气和氮气的混合气体中氟气和氮气的比值大于等于0.1且小于等于0.5。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法应用于氮化硅沉积后的炉管清洗。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向炉管内通入氮气进行清扫前还包括步骤：将所述炉管升温到第一温度，所述第一温度大于等于450摄氏度且小于等于1000摄氏度...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄启铭，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34