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文档序号:27857998
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本发明涉及一种炉管清洗方法。该方法包括:向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁;所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫;所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。通过向炉管内通入一氧化氮气体有效去除了炉管内残留的氟离子,使得炉管干式保养清洗...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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