下载炉管清洗方法的技术资料

文档序号:27857998

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种炉管清洗方法。该方法包括:向炉管内通入氟气和氮气的混合气体进行清洁;所述清洁后向炉管内通入氮气进行清扫;所述清扫后向炉管内通入一氧化氮气体进行清扫。通过向炉管内通入一氧化氮气体有效去除了炉管内残留的氟离子,使得炉管干式保养清洗...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。