A fluid dispensing and recycling system is disclosed. The system comprises a container with an opening and a cap connected with the opening. The system further includes a connector head and a catheter extending from the connector head. The catheter may be inserted into the opening through the cover and has a flow passage that is terminated at a position close to the end of the catheter. The pump draws fluid from the container through the catheter and the flow passage. A fluid return passage is formed on the catheter for returning the recirculation fluid to the fluid in the container. When the fluid returns along the fluid return channel, the air in the fluid is released above the fluid of the container to prevent air from being injected into the fluid of the container.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于存储并分配流体的系统。特别地，本专利技术涉及一种包括安装于容器开口中的导管(probe)的连接件，其中所述容器允许从其中抽出流体并且同时再循环进容器。
技术介绍
某些制造工艺要求使用诸如酸、溶剂、碱及光致抗蚀剂等液态化学品。通常，这些工艺中的每种工艺都需要专用液态化学品。并且，每个工艺的不同阶段都需要专用液态化学品。存储及分配系统允许可替代的容器用于在特定时间将液态化学品运送到制造工艺中。通常利用专用分配泵将这些工艺流体从加压存储和分配器皿中分配出来。分配泵的循环回路下游通常用于将工艺流体保持在所需流速的连续流体运动上。这种再循环回路减少了分配线路中流体的凝固，延长了流体的保存期限，并且提供了一种将空气清除出分配线路的装置。一般地，高纯度流体的再循环需要一种具有至少两个端口或开口与容器的内部相通的专用容器。因为流体的再循环需要具有两个端口的专用容器，所以再循环或者检测都是昂贵的。另外，由于在容器中需要一个第二附加开口或端口，所以削弱了容器的结构一体性。而且，由于再循环一般都需要到容器内部的两个端口，所以在外瓶或第二包装层内使用的弹性袋或膜...
【技术保护点】
一种流体分配和再循环系统，包括：具有开口的容器；用于与所述开口相连接的盖；用于与所述盖相连接的连接器，所述连接器进一步包括：连接器头；和导管，所述导管从所述连接器头延伸，并且可穿过所述盖插入所述开口中 ，所述导管具有在其末端附近结束的流道；泵装置，所述泵装置与所述导管和所述流道相连接，用来通过所述导管和所述流道从所述容器中抽取流体；以及流体返回装置，所述流体返回装置形成在所述导管上，用于使再循环流体返回到所述容器中的流体中 ，使得所述流体中的空气在所述容器中的流体的上...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：凯文T欧道格特，克拉马C黑格曼，
申请(专利权)人：先科材料有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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