卡盘系统中用于控制温度的装置和方法制造方法及图纸

公开了一种控制热卡盘系统的温度的装置和方法。所述系统包括控制热卡盘中的温度转换的温度控制器。所述温度控制器包括分别从空气源和水源接收空气和流体的输入，以及用于将空气和流体按比例交替传递至热卡盘的输出。时间比例控制器通过计算多个控制区的每一个控制区中的比例带产生比例。温度控制器使用所述比例带以管理流至卡盘的空气和流体的流量，从而实现温度转换的下冲最小。

Apparatus and method for controlling temperature in a chuck system

Discloses a device and a method for controlling the temperature of the hot chuck system. The system includes a temperature controller temperature control after the caloric conversion. The temperature controller includes an input for receiving air and fluid from the air source and a water source, and an output for alternately transferring air and fluid to the heat chuck in a proportional manner. The time scale controller generates a scale by calculating a proportional band in each control area of the plurality of control regions. The temperature controller uses the proportional band to manage the flow of air and fluid to the chuck flow, so as to achieve the minimum undershoot of the temperature transition.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于卡盘的温度控制系统，该温度控制系统包括：第一输入，用于从空气源接收空气；第二输入，用于从流体源接收流体；以及至少一个输出，用于将空气和流体按比例交替传递至卡盘以控制所述卡盘的表面温度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：NW埃尔斯德费尔，OV米库利那，A穆尔奇德，
申请(专利权)人：天普桑尼克公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]