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公开了一种控制热卡盘系统的温度的装置和方法。所述系统包括控制热卡盘中的温度转换的温度控制器。所述温度控制器包括分别从空气源和水源接收空气和流体的输入，以及用于将空气和流体按比例交替传递至热卡盘的输出。时间比例控制器通过计算多个控制区的每一个...
该专利属于天普桑尼克公司所有，仅供学习研究参考，未经过天普桑尼克公司授权不得商用。

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