一种外点火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉设备技术领域，且公开了一种外点火炉，解决了目前扩散炉外点火炉一体式结构不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动的问题，其包括外点火炉本体，所述外点火炉本体的底部设有连接架，外点火炉本体底部的两侧均通过固定桩与连接架的顶部固定相连接，连接架的底部设有固定座，连接架安装在固定座的顶部，连接架中部的两侧均安装有控制机构，连接架下部的两侧均安装有连接机构，固定座顶部的中部开设有连接槽；本外点火炉能够便捷有效的进行安装、拆卸和移动，同时安装操作过程简单，且能够保持有效的牢固性，而拆卸与移动操作过程也较为方便，没有复杂的操作流程，从而在使用的过程中能够满足人们的使用。在使用的过程中能够满足人们的使用。在使用的过程中能够满足人们的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种外点火炉


[0001]本技术属于扩散炉设备
，具体为一种外点火炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在半导体晶圆制造过程中起到了重要的作用；而扩散炉外点火炉随着技术的发展，也成为了扩散炉的主要配套设备。
[0003]目前的扩散炉外点火炉多为一体式结构，一体式结构在使用的过程中存在极大的不便，其不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动，从而不能满足人们的使用需求；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种外点火炉，有效的解决了目前扩散炉外点火炉一体式结构不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种外点火炉，包括外点火炉本体，所述外点火炉本体的底部设有连接架，外点火炉本体底部的两侧均通过固定桩与连接架的顶部固定相连接，连接架的底部设有固定座，连接架安装在固定座的顶部，连接架中部的两侧均安装有控制机构，连接架下部的两侧均安装有连接机构，固定座顶部的中部开设有连接槽，两个连接机构的一端均活动卡接在连接槽的内部，固定座顶部的两个均开设有控制槽，两个控制槽的内部均安装有顶动机构。
[0006]优选的，所述顶板、底板、连接销和安装槽，连接销固定连接在顶板和底板相对侧的四角处，安装槽开设在底板两侧的中部，固定桩的底部与顶板的顶部固定相连接。
[0007]优选的，两个所述控制机构均包括一对固定柱、固定轴、U形杆和实心辊，固定轴固定安装在一对固定柱之间，U形杆活动安装在固定轴的表面，实心辊活动安装在U形杆的两端之间。
[0008]优选的，所述U形杆的中部固定安装有抵触板，抵触板的一侧开设有弧形槽。
[0009]优选的，所述连接机构包括曲板、转动轴、第一弹簧和卡块，转动轴固定安装在曲板的中部，第一弹簧固定安装在曲板顶部的中部，卡块固定安装在曲板一端部的两侧，连接槽两侧的两端均开设有梯形卡槽，卡块活动卡接在梯形卡槽的内部。
[0010]优选的，所述顶动机构包括第二弹簧和顶动板，第二弹簧固定安装在控制槽的底部，顶动板固定安装在第二弹簧的顶部。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012](1)、在工作中，通过设置有顶板、底板、连接销、安装槽、固定桩、固定座、固定柱、固定轴、U形杆、实心辊、抵触板、曲板、转动轴、第一弹簧、卡块、连接槽、梯形卡槽、控制槽、第二弹簧和顶动板，使本外点火炉能够便捷有效的进行安装、拆卸和移动，同时安装操作过
程简单，且能够保持有效的牢固性，而拆卸与移动操作过程也较为方便，没有复杂的操作流程，从而在使用的过程中能够满足人们的使用；
[0013](2)、在工作时：当需要拆卸外点火炉本体时，首先工人向上提拉U形杆，使其带动实心辊进行转动，实心辊的转动会对曲板的一端进行挤压，从而使曲板围绕着转动轴进行转动，从而使卡块从梯形卡槽的内部撤出，然后将外点火炉本体连同连接架一起从固定座的顶部拆卸搬运；当需要安装外点火炉本体时，通过U形杆将外点火炉本体连同连接架一起放置在固定座的顶部，然后放开U形杆，通过第一弹簧和第二弹簧的弹性恢复的作用，会使曲板围绕着转动轴进行转动，从而使卡块卡入到梯形卡槽的内部。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0015]在附图中：
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术固定座的侧剖结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中连接架的结构示意图；
[0019]图4为本技术图2中固定座的结构示意图；
[0020]图中：1、外点火炉本体；2、连接架；201、顶板；202、底板；203、连接销；204、安装槽；3、固定桩；4、固定座；5、控制机构；501、固定柱；502、固定轴；503、U形杆；504、实心辊；505、抵触板；6、连接机构；601、曲板；602、转动轴；603、第一弹簧；604、卡块；7、连接槽；701、梯形卡槽；8、控制槽；9、顶动机构；901、第二弹簧；902、顶动板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1、图2和图4给出，本技术包括外点火炉本体1，外点火炉本体1的底部设有连接架2，外点火炉本体1底部的两侧均通过固定桩3与连接架2的顶部固定相连接，通过固定桩3的设置，使外点火炉本体1能够稳定且有效的安装在连接架2的顶部，连接架2的底部设有固定座4，连接架2安装在固定座4的顶部，连接架2中部的两侧均安装有控制机构5，连接架2下部的两侧均安装有连接机构6，固定座4顶部的中部开设有连接槽7，两个连接机构6的一端均活动卡接在连接槽7的内部，通过连接槽7的设置，使其能够有效的对连接机构6进行连接固定，固定座4顶部的两个均开设有控制槽8，两个控制槽8的内部均安装有顶动机构9。
[0023]实施例二，在实施例一的基础上，由图3给出，连接架2包括顶板201、底板202、连接销203和安装槽204，连接销203固定连接在顶板201和底板202相对侧的四角处，安装槽204开设在底板202两侧的中部，固定桩3的底部与顶板201的顶部固定相连接，从而起到有效的连接作用。
[0024]实施例三，在实施例一的基础上，由图3给出，两个控制机构5均包括一对固定柱501、固定轴502、U形杆503和实心辊504，两对固定柱501固定安装在顶板201和底板202之间的两侧，固定轴502固定安装在一对固定柱501之间，U形杆503活动安装在固定轴502的表面，实心辊504活动安装在U形杆503的两端之间，从而能够有效的进行转动控制。
[0025]实施例四，在实施例三的基础上，由图3给出，U形杆503的中部固定安装有抵触板505，抵触板505的一侧开设有弧形槽，从而使U形杆503在转动之后能够稳定的与顶板201相接触。
[0026]实施例五，在实施例一的基础上，由图3给出，连接机构6包括曲板601、转动轴602、第一弹簧603和卡块604，转动轴602固定安装在曲板601的中部，且转动轴602的两端与安装槽204的两端活动相连接，第一弹簧603固定安装在曲板601顶部的中部，且第一弹簧603的一端与顶板201的底部固定相连接，卡块604固定安装在曲板601一端部的两侧，连接槽7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外点火炉，包括外点火炉本体(1)，其特征在于：所述外点火炉本体(1)的底部设有连接架(2)，外点火炉本体(1)底部的两侧均通过固定桩(3)与连接架(2)的顶部固定相连接，连接架(2)的底部设有固定座(4)，连接架(2)安装在固定座(4)的顶部，连接架(2)中部的两侧均安装有控制机构(5)，连接架(2)下部的两侧均安装有连接机构(6)，固定座(4)顶部的中部开设有连接槽(7)，两个连接机构(6)的一端均活动卡接在连接槽(7)的内部，固定座(4)顶部的两个均开设有控制槽(8)，两个控制槽(8)的内部均安装有顶动机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种外点火炉，其特征在于：所述连接架(2)包括顶板(201)、底板(202)、连接销(203)和安装槽(204)，连接销(203)固定连接在顶板(201)和底板(202)相对侧的四角处，安装槽(204)开设在底板(202)两侧的中部，固定桩(3)的底部与顶板(201)的顶部固定相连接。3.根据权利要求1所述的一种外点火炉，其特征在于：两个所述控制机构(5)均包括一对固定柱(501)、固定轴(502...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，林凡辉，胡思健，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：