三维堆叠结构和其制造方法技术

一种堆叠结构，堆叠结构包括第一管芯、堆叠在第一管芯上的第二管芯以及填充材料。第一管芯具有第一接合结构，且第一接合结构包括第一接合衬垫和第一散热元件。第二管芯具有第二接合结构，且第二接合结构包括第二接合衬垫和第二散热元件。第一接合衬垫与第二接合衬垫接合。第一散热元件连接到第一接合衬垫中的一个第一接合衬垫，且第二散热元件连接到第二接合衬垫中的一个第二接合衬垫。填充材料配置在第一管芯上方且横向围绕第二管芯配置。第一管芯与第二管芯通过第一接合结构和第二接合结构接合。接合。接合。

【技术实现步骤摘要】
三维堆叠结构和其制造方法

技术介绍

[0001]不同器件和组件在晶片级的三维堆叠(也称为三维集成)用于高密度集成。三维堆叠有助于制造高密度且长度减小的内连线，以便实现体积减小。

技术实现思路

[0002]在本公开的一些实施例中，提供一种堆叠结构。堆叠结构包括第一管芯和第二管芯。第一管芯具有第一接合结构，且第一接合结构包括第一接合衬垫和第一散热元件。第二管芯具有第二接合结构，且第二接合结构包括第二接合衬垫和第二散热元件。第二管芯堆叠在第一管芯上，且第一接合衬垫与第二接合衬垫接合。第一管芯与第二管芯通过第一接合结构和第二接合结构接合。第一散热元件连接到第一接合衬垫中的一个第一接合衬垫，且第二散热元件连接到第二接合衬垫中的一个第二接合衬垫。一个第一接合衬垫和第一散热元件电性浮置，且一个第二接合衬垫和第二耗散元件电性浮置。
[0003]在本公开的一些实施例中，提供一种堆叠结构，堆叠结构包括第一管芯、堆叠在第一管芯中的第二管芯以及填充材料。第一管芯具有第一接合结构，且第一接合结构包括第一接合衬垫和第一散热元件。第二管芯具有第二接合结构，且第二接合结构包括第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种堆叠结构，包括：第一管芯，具有第一接合结构，其中所述第一接合结构包括第一接合衬垫和第一散热元件；以及第二管芯，具有第二接合结构，其中所述第二管芯堆叠在所述第一管芯上，且所述第二接合结构包括第二接合衬垫和第二散热元件，其中所述第一接合衬垫与所述第二接合衬垫接合，所述第一管芯与所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宪伟，陈洁，陈明发，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：