【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及交联性预聚物、该交联性预聚物的制造方法、含有该交联性预 聚物的负型感光性组合物及该交联性预聚物的用途。
技术介绍
关于主链具有聚芳基醚结构的聚合物，例如在下述专利文献1中提出了使 具有酚性羟基或氟取代芳环和交联性官能团的化合物、氟取代芳香族化合物及 具有3个以上的酚性羟基的化合物縮合，制造主链具有聚芳基醚结构且导入了 交联性官能团的交联性预聚物的方法。具有防水性，防油性的材料被广泛地用于纳米压印、障壁材料、气体阻挡膜、光刻胶等用途(例如，参照下述专利文献2)。 一般作为其图案形成方法(图案(凹凸形状)形成方法)，可例示干式刻蚀法、湿式刻蚀法、丝网印刷、喷墨印刷或利用了材料本身的感光性的光刻法。本身具有感光性的材料不需要将非感光性材料图案化时所必须的光刻胶，因此可期待制造工序数的减少及原料利用率的提高等生产性的提高。此外，由 于转变为溶剂的用量可减少等对环境影响小的工序，因此备受注目。专利文献1:日本专利特开2005-105115号公报 专利文献2:日本专利特开2005-60515号公报专利技术的揭示专利文献1的交联性预聚物所形成的固化物虽然耐热性良...
【技术保护点】
交联性预聚物，它是主链具有聚芳基醚结构的聚合物，其特征在于，具有交联性官能团，且具有下述通式（Ⅰ） Ｒ↑［ｆ］－ＣＨ↓［２］－Ｏ－ ...（Ⅰ） 表示的侧链，式（Ⅰ）中，Ｒ↑［ｆ］表示碳数３～５０的可含有醚结合性氧原子的含氟烷 基。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤昌宏，横塚俊亮，江里口武，鹤冈薰，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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