光阻喷吐系统技术方案

一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。所述光阻喷吐系统运行平稳，可靠性高。可靠性高。可靠性高。

【技术实现步骤摘要】
光阻喷吐系统


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光阻喷吐系统。

技术介绍

[0002]光阻涂布工艺，主要是通过泵浦将放置于储存槽中的光阻液吸出至输送管内，并通过位于泵浦上下两端的阀门来控制进出泵浦的光阻液容量，最后再通过输送管送至喷嘴，由喷嘴将光阻液喷吐到芯片表面的中心位置。喷上光阻液的芯片放置在旋转涂布机上，该旋转涂布机会带动芯片旋转，以离心力使光阻液能均匀的涂布芯片表面上。
[0003]采用泵浦在泵送光阻液时，系统是否平稳是十分关键的。如果系统出现轻重振动，都可能导致输送过程中，光阻液产生气泡，特别是在光阻泵内部，如果光阻泵的抽取和压送光阻液的过程不平稳，就会产生的气泡，并且气泡会累积，越积越大之后，就影响光阻液流量的准确泵送。
[0004]光阻液是一种昂贵的原料，并且，光阻液喷涂量影响芯片的制作，如果流量控制不好，导致芯片制作不良，进一步造成成本的提高。因此，光阻液的喷吐需要精密的系统来执行，以减少误差，避免成本浪费。

技术实现思路

[0005]本技术解决的问题是提供一种光阻喷吐系统，以更好地实现语音的传送和交互过程。
[0006]为解决上述问题，本技术提供了一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。
[0007]可选的，所述升降螺杆的第一端套接有第一钝管头，所述第一钝管头用于直接推压和松放所述第一内隔膜。
[0008]可选的，所述升降螺杆的第一端套接有第一活塞管头，所述第一活塞管头插入第一活塞管筒，所述第一活塞管筒内部具有第一液体，所述第一活塞管筒的筒口与所述第一侧开口连通；通过所述升降螺杆的升降，使所述第一液体进入或流出所述第一外壳内部。
[0009]可选的，所述第一光阻泵的所述第一输入口连接有第一输入管，所述第一输入管连接有第一气动阀；所述第一光阻泵的所述第一输出口连接有第一输出管，所述第一输出管连接有第二气动阀。
[0010]可选的，所述系统还包括第二光阻泵，所述第二光阻泵具有第二外壳和第二内隔
膜，所述第二外壳具有第二输入口、第二输出口和第二侧开口，所述第二内隔膜内衬在所述第二外壳里面，所述第二输入口和所述第二输出口之间以所述第二内隔膜连通；所述升降螺杆的第二端用于通过所述第二侧开口向所述第二内隔膜进行推压和松放操作。
[0011]可选的，所述升降螺杆的第二端套接有第二钝管头，所述第二钝管头用于直接推压和松放所述第二内隔膜。
[0012]可选的，所述升降螺杆的第二端套接有第二活塞管头，所述第二活塞管头插入第二活塞管筒，所述第二活塞管筒内部具有第二液体，所述第二活塞管筒的筒口与所述第二侧开口连通；通过所述升降螺杆的升降，使所述第二液体进入或流出所述第二外壳内部。
[0013]可选的，所述第二光阻泵的所述第二输入口连接有第二输入管，所述第二输入管连接有第三气动阀；所述第二光阻泵的所述第二输出口连接有第二输出管，所述第二输出管连接有第四气动阀。
[0014]可选的，所述驱动轮在固定位置转动，所述从动轮在固定位置转动，所述驱动轮和所述从动轮固定于同一水平面。
[0015]可选的，所述驱动轮的半径为所述从动轮半径的0.2倍至5倍。
[0016]本技术技术方案的其中一个方面中，相应光阻喷吐系统采用步进电机带动升降螺杆，步进电机转动十分平稳，转动圈数可以精确控制，转动速度可以精确控制，因此，整个系统运行能够达到平稳、精准和高度，进而使升降螺杆升降的高度和速度能够得到精准的控制，最终能够精确控制光阻液喷吐流量。并且，由于系统运行平稳，能够更好地防止在光阻液喷吐过程中引入气泡。
[0017]进一步，在设置了第一光阻泵及相应管路之后，同时设置第二光阻泵及其相应管路，使得对于整个光阻喷吐系统而言，能够利用一个升降螺杆同时为两路光阻喷吐管路提供动力，实现了更加高效的做功利用率。另外，升降螺杆上下同时作用相应的光阻泵能够进一步提高系统的平稳性，使整个系统的稳定性更高，实用性能更好。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例提供的光阻喷吐系统示意图；
[0019]图2为图1所示结构沿AA点划线剖切得到的剖面示意图
[0020]图3是本技术另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图；
[0021]图4是本技术另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图；
[0022]图5是本技术另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图。
具体实施方式
[0023]本技术提供一种运行平稳，且控制精度高的光阻喷吐系统。
[0024]为更加清楚的表示，下面结合附图对本技术做详细的说明。
[0025]本技术实施例提供一种光阻喷吐系统，请结合参考图1和图2，图1为光阻喷吐系统整体示意图，图2为图1所示结构沿AA点划线剖切得到的剖面示意图。
[0026]如图1和图2所示，光阻喷吐系统包括：
[0027]步进电机100，步进电机100具有电机转轴101；
[0028]编码器110，编码器110设置在电机转轴101周边；
[0029]驱动轮160(如图2)，驱动轮160套设在电机转轴101上；
[0030]第一光阻泵(未标注)，第一光阻泵具有第一外壳121和第一内隔膜122，第一外壳121具有第一输入口(未示出)、第一输出口(未示出)和第一侧开口(未示出)，第一内隔膜122内衬在第一外壳121里面，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通；
[0031]升降螺杆140，升降螺杆140的第一端用于通过上述第一侧开口向第一内隔膜122进行推压和松放操作(本实施例是采用间接方式)；
[0032]从动轮170(如图2)，从动轮170套设在升降螺杆140上；
[0033]传动带150，驱动轮160通过传动带150带动从动轮170。
[0034]需要说明的是，第一外壳121的第一输入口、第一输出口和第一侧开口虽然未示出，但是，从图1的结构可以直接地、毫无疑义地得出，本实施例图1中，第一外壳121的左侧具有第一输入口，并且第一输入口用于与第一输入管131连接，并且，可以通过第一球阀133实现第一输入口与第一输入管131的连接；第一外壳121的右侧具有第一输出口，并且第一输出口用于与第一输出管132连接，并且，可以通过第二球阀134实现第一输出口与第一输出管132的连接。而第一侧开口，则用于接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阻喷吐系统，其特征在于，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。2.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第一端套接有第一钝管头，所述第一钝管头用于直接推压和松放所述第一内隔膜。3.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第一端套接有第一活塞管头，所述第一活塞管头插入第一活塞管筒，所述第一活塞管筒内部具有第一液体，所述第一活塞管筒的筒口与所述第一侧开口连通；通过所述升降螺杆的升降，使所述第一液体进入或流出所述第一外壳内部。4.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述第一光阻泵的所述第一输入口连接有第一输入管，所述第一输入管连接有第一气动阀；所述第一光阻泵的所述第一输出口连接有第一输出管，所述第一输出管连接有第二气动阀。5.如权利要求1所述的光阻喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹安和，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：