本实用新型专利技术公开了一种磁性材料真空镀膜装置，包括真空筒、箱门和真空控制器，所述真空筒中部设置有所述箱门，所述箱门上方设置有拉手，所述拉手上方一侧设置有所述真空控制器，所述真空控制器上方一侧设置有真空泵，所述真空泵上方插接有抽送管，所述抽送管下方设置有冷却管，所述箱门与所述真空筒通过合页连接。有益效果在于：本实用新型专利技术通过设置真空控制器和冷却管，不仅能够对真空度进行控制，避免真空度控制不均匀造成镀膜质量差，而且还能够对装置内的真空温度进行循环降温，避免装置内真空温度过高造成镀膜效率低，提高了磁性材料真空镀膜装置工作的效率。空镀膜装置工作的效率。空镀膜装置工作的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种磁性材料真空镀膜装置
[0001]本技术涉及真空镀膜装置
，具体涉及一种磁性材料真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等。
[0003]目前，现有的磁性材料真空镀膜装置大都在对磁性材料镀膜时，由于缺少控制部件，容易使真空度控制不均匀造成镀膜质量差，同时由于在对真空抽取，容易使装置内真空温度过高造成镀膜效率低，降低了磁性材料真空镀膜装置工作的效率，其次，现有的磁性材料真空镀膜装置多数在抽取真空时直接排放，由于缺少过滤部件，容易使磁性材料在镀膜时产生的油烟污染物对环境造成影响，不能满足磁性材料真空镀膜装置环保使用的需求。
技术实现思路
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术不足，现提出一种磁性材料真空镀膜装置，解决了现有的磁性材料真空镀膜装置，由于缺少控制部件，容易使真空度控制不均匀造成镀膜质量差，同时由于在对真空抽取，容易使装置内真空温度过高造成镀膜效率低，降低了磁性材料真空镀膜装置工作效率的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种磁性材料真空镀膜装置，包括真空筒、箱门和真空控制器，所述真空筒中部设置有所述箱门，所述箱门上方设置有拉手，所述拉手上方一侧设置有所述真空控制器，所述真空控制器上方一侧设置有真空泵，所述真空泵上方插接有抽送管，所述抽送管下方设置有冷却管，所述箱门与所述真空筒通过合页连接，所述拉手与所述箱门通过螺钉连接，所述真空控制器与所述真空筒插接，所述真空泵所述真空筒通过螺钉连接，所述抽送管与所述真空筒插接，所述冷却管与所述真空筒通过螺钉连接。
[0008]进一步的，所述冷却管一侧设置有密封板，所述密封板一侧设置有横管。
[0009]通过采用上述技术方案，通过所述密封板，能够对所述真空筒内进行密封。
[0010]进一步的，所述横管下方设置有底座，所述底座上方设置有坩埚，所述坩埚下方有电热丝，所述电热丝一侧设置有抽门，所述抽门上方设置有扣手，所述底座上方一侧通过螺钉连接有油气分离过滤器，所述底座一侧壁上通过螺钉连接有操作面板。
[0011]通过采用上述技术方案，通过所述坩埚能够方便对镀膜材料进行盛放。
[0012]进一步的，所述密封板与所述真空筒粘接，所述横管与所述密封板插接。
[0013]通过采用上述技术方案，通过所述横管方便对磁性材料进行悬挂。
[0014]进一步的，所述底座与所述真空筒插接，所述坩埚与所述底座滑动连接。
[0015]通过采用上述技术方案，通过所述底座能够对所述真空筒进行密封保护。
[0016]进一步的，所述电热丝与所述底座通过螺钉连接，所述抽门与所述底座通过合页连接。
[0017]通过采用上述技术方案，通过所述电热丝方便对所述坩埚内对的镀膜材料进行加热蒸发，对磁性材料进行镀膜。
[0018]进一步的，所述扣手与所述抽门通过卡槽连接，所述油气分离过滤器与所述真空泵插接。
[0019]通过采用上述技术方案，通过所述油气分离过滤器能够对抽取的真空进行过滤后排放，避免磁性材料在镀膜时产生的油烟污染物对环境造成污染，满足磁性材料真空镀膜装置环保使用的需求。
[0020](三)有益效果
[0021]本技术相对于现有技术，具有以下有益效果：
[0022]1、为解决现有的磁性材料真空镀膜装置大都在对磁性材料镀膜时，由于缺少控制部件，容易使真空度控制不均匀造成镀膜质量差，同时由于在对真空抽取，容易使装置内真空温度过高造成镀膜效率低，降低了磁性材料真空镀膜装置工作效率的问题，本技术通过设置真空控制器和冷却管，不仅能够对真空度进行控制，避免真空度控制不均匀造成镀膜质量差，而且还能够对装置内的真空温度进行循环降温，避免装置内真空温度过高造成镀膜效率低，提高了磁性材料真空镀膜装置工作的效率；
[0023]2、为解决现有的磁性材料真空镀膜装置多数在抽取真空时直接排放，由于缺少过滤部件，容易使磁性材料在镀膜时产生的油烟污染物对环境造成影响，不能满足磁性材料真空镀膜装置环保使用需求的问题，本技术通过设置油气分离过滤器，能够对磁性材料镀膜时产生的油烟污染物进行分离过滤，避免磁性材料在镀膜时产生的油烟污染物对环境造成影响，满足磁性材料真空镀膜装置环保使用的需求。
附图说明
[0024]图1是本技术所述一种磁性材料真空镀膜装置的结构示意图；
[0025]图2是本技术所述一种磁性材料真空镀膜装置的主剖视图；
[0026]图3是本技术所述一种磁性材料真空镀膜装置的俯视图
[0027]图4是本技术所述一种磁性材料真空镀膜装置的电路框图。
[0028]附图标记说明如下：
[0029]1、真空筒；2、箱门；3、拉手；4、真空控制器；5、真空泵；6、抽送管； 7、冷却管；8、密封板；9、横管；10、底座；11、坩埚；12、电热丝；13、抽门；14、扣手；15、油气分离过滤器；16、操作面板。
具体实施方式
[0030]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0031]如图1-图4所示，本实施例中的一种磁性材料真空镀膜装置，包括真空筒 1、箱门2和真空控制器4，真空筒1中部设置有箱门2，箱门2上方设置有拉手3，拉手3上方一侧设置有
真空控制器4，真空控制器4使压力设定值可以在任意时候改变。不管是运转过程中，运转停止状态下，还是浓缩状态下都可以任意改变设定压力值，真空控制器4上方一侧设置有真空泵5，真空泵5上方插接有抽送管6，抽送管6下方设置有冷却管7，箱门2与真空筒1通过合页连接，拉手3与箱门2通过螺钉连接，真空控制器4与真空筒1插接，冷却管7 一侧设置有密封板8，密封板8一侧设置有横管9，通过密封板8，能够对真空筒1内进行密封，横管9下方设置有底座10，底座10上方设置有坩埚11，坩埚11下方有电热丝12，电热丝12对铁铬铝、镍铬电热合金其抗氧化性能一般都较强，但由于炉内含各种气体，像空气、碳气氛、硫气氛以及氢、氮气氛等等，电热丝12一侧设置有抽门13，抽门13上方设置有扣手14，底座10上方一侧通过螺钉连接有油气分离过滤器15，油气分离过滤器15采用特殊的多层结构，把油分离出来而获得所需的洁净空气，底座10一侧壁上通过螺钉连接有操作面板16，通过坩埚11能够方便对镀膜材料进行盛放，密封板8与真空筒1粘接，横管9与密封板8插接，通过横管9方便对磁性材料进行悬挂，底座10与真空筒1插接，坩埚11与底座10滑动连接，通过底座10能够对真空筒1进行密封保护，电热丝12与底座10通过螺钉连接，抽门1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁性材料真空镀膜装置，其特征在于：包括真空筒(1)、箱门(2)和真空控制器(4)，所述真空筒(1)中部设置有所述箱门(2)，所述箱门(2)上方设置有拉手(3)，所述拉手(3)上方一侧设置有所述真空控制器(4)，所述真空控制器(4)上方一侧设置有真空泵(5)，所述真空泵(5)上方插接有抽送管(6)，所述抽送管(6)下方设置有冷却管(7)，所述箱门(2)与所述真空筒(1)通过合页连接，所述拉手(3)与所述箱门(2)通过螺钉连接，所述真空控制器(4)与所述真空筒(1)插接，所述真空泵(5)所述真空筒(1)通过螺钉连接，所述抽送管(6)与所述真空筒(1)插接，所述冷却管(7)与所述真空筒(1)通过螺钉连接。2.根据权利要求1所述的一种磁性材料真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却管(7)一侧设置有密封板(8)，所述密封板(8)一侧设置有横管(9)。3.根据权利要求2所述的一种磁性材料真空镀膜装置，其特征在于：所述横管(9)下方设置有底座(10)，所述底座(10)上方设...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘正平，
申请(专利权)人：武穴市张榜德诚电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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