一种点源坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种点源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构；所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上；所述坩埚盖片上还设置有第一通孔，所述坩埚垫片设置有第二通孔，且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上，所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。发明专利技术人通过增设紧固结构的方式阻止坩埚盖片与坩埚垫片发生相对的运动，同时使坩埚盖片与坩埚垫片二者处在相对固定的位置上。解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位，以及坩埚垫片堵孔的问题。以及坩埚垫片堵孔的问题。以及坩埚垫片堵孔的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种点源坩埚


[0001]本技术涉及OLED蒸镀器件领域，尤其涉及一种点源坩埚。

技术介绍

[0002]通过真空热蒸镀的工艺可以制备OLED器件，而对于蒸镀工艺，蒸发源是其核心，其中点蒸发源是蒸发源的一种，也是真空热蒸镀的一种方式。请参阅图1，点蒸发源中最常用的坩埚是带有开孔的圆柱形坩埚，具有结构简单，稳定性，均匀性好的特点，点蒸发源由加热源、坩埚、坩埚盖片和坩埚垫片等组成，现有技术中常见的点蒸发源结构。
[0003]可是因为坩埚口与坩埚四周的加热丝有一定距离，造成坩埚口的温度相比于OLED材料蒸发的蒸发温度会偏低，导致在温度较低的出口处会使蒸发的 OLED材料重新凝结，如果逐渐聚集会出现堵孔的现象，而坩埚垫片起到了保温作用，使得坩埚口保持一定温度避免发生堵空的现象，而且还有起到防止材料镀到坩埚口附近污染坩埚口或是由于在降温过程中坩埚口附近的温度降太快造成坩埚口粘合。
[0004]前参阅图2、图3，目前坩埚垫片是普通平滑的垫片，而坩埚盖片会设计成凹陷的结构，使得坩埚垫片在放置时处于凹陷处，正好围住坩埚喷嘴。然而在设备开腔作业(比如坩埚加料、更换坩埚或是其它坩埚)可能会由于震动使得坩埚垫片受到影响导致垫片错位，而未被察觉到，在蒸镀时堵住坩埚口；或是由于材料蒸汽喷出导致坩埚垫片偏移出现堵孔等问题。
[0005]如果坩埚垫片发生错位会堵住坩埚喷嘴口造成镀率偏低，影响成膜状况，而且如果材料不断在坩埚口聚集会出现塞孔情况，导致点源坩埚无法继续使用，需要重新更换，增大了生产作业成本；若发生错位情况，点源坩埚则要降温后处理坩埚状况，判断事情严重性，影响后续的进程。

技术实现思路

[0006]为此，需要提供一种点源坩埚，解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位，以及坩埚垫片堵孔的问题。
[0007]为实现上述目的，专利技术人提供了一种点源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构；所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上；所述坩埚盖片上还设置有第一通孔，所述坩埚垫片设置有第二通孔，且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上，所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。
[0008]进一步地，所述紧固结构包括：公扣和母扣；所述公扣和母扣相互卡合；用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动；
[0009]所述公扣置于坩埚盖片上，且所述母扣置于坩埚垫片上；或者所述公扣设置于坩埚垫片上，且所述母扣置于坩埚盖片上。
[0010]进一步地，所述公扣为“L”形公扣，所述母扣为“L”形母扣，“L”形公扣与“L”形母扣
相互卡合；
[0011]所述“L”形公扣置于坩埚盖片上，且所述“L”形母扣置于坩埚垫片上；或者所述“L”形公扣设置于坩埚垫片上，且所述“L”形母扣置于坩埚盖片上。
[0012]进一步地，所述紧固结构包括：凹槽、凸块；所述凹槽置于坩埚盖片上，且所述凸块置于坩埚垫片上；
[0013]或者所述凹槽置于坩埚垫片上，且所述凸块置于坩埚盖片上；所述凹槽套设于凸块上。
[0014]进一步地，所述凹槽为环形槽，所述凸块为环形凸块；所述环形槽、环形凸块分别环绕设置于第一通孔或第二通孔上。
[0015]进一步地，所述紧固结构内设置有磁性件，且所述坩埚盖片为铁坩埚盖片；所述坩埚垫片通过磁性件吸附于所述坩埚盖片上。
[0016]进一步地，所述紧固结构为覆盖与坩埚垫片上的磁性材料膜层，且坩埚盖片为铁坩埚盖片。
[0017]进一步地，所述坩埚垫片为金属坩埚垫片、石墨坩埚垫片或者石墨烯坩埚垫片。
[0018]区别于现有技术，上述技术方案通过紧固结构将坩埚盖片与坩埚垫片固定，防止所述坩埚盖片与坩埚垫片在工作时发生相对位移，影响蒸镀质量；在实际作业时，因抖动等因素所述坩埚垫片会于坩埚盖片发生相对的水平位移，使坩埚垫片移位或者堵住蒸镀孔，导致蒸镀效果欠佳。为此，专利技术人通过增设紧固结构的方式阻止坩埚盖片与坩埚垫片发生相对的运动，同时使坩埚盖片与坩埚垫片二者处在相对固定的位置上。解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位，以及坩埚垫片堵孔的问题。
附图说明
[0019]图1为
技术介绍
点蒸发源结构图；
[0020]图2为
技术介绍
点蒸发源坩埚垫片偏移位置示意图；
[0021]图3为
技术介绍
点蒸发源坩埚盖片、坩埚垫片结构图；
[0022]图4为具体实施例一所述紧固结构结构图；
[0023]图5为具体实施例二所述紧固结构结构图；
[0024]图6为具体实施例三所述紧固结构结构图
[0025]图7为所述凹槽、凸块结构图。
[0026]附图标记说明：
[0027]1、坩埚本体；2、坩埚盖片；3、坩埚垫片；
[0028]201、第一通孔；301、第二通孔；401、“L”形公扣；402、“L”形母扣；403、环形槽；404、环形凸块；405、磁性材料膜层。
具体实施方式
[0029]为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
[0030]请参阅图4至图6，本实施例提供了一种点源坩埚，包括：坩埚本体1、坩埚盖片2、坩埚垫片3、紧固结构；所述坩埚盖片2盖设于所述坩埚本体1 的开口处上；所述坩埚盖片2上
还设置有第一通孔201，所述坩埚垫片3为中部设置有第二通孔301，且所述坩埚垫片3通过紧固结构盖设于通孔上，同时第一通孔201、第二通孔301在盖紧时重合，所述坩埚垫片3起到保温的作用，用于防止蒸镀材料至蒸镀口时温度过低，导致蒸镀材料至蒸镀口时重新凝结影响蒸镀质量，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片3与坩埚盖片2相对移动。上述技术方案通过紧固结构将坩埚盖片2与坩埚垫片3固定，防止所述坩埚盖片2与坩埚垫片3在工作时发生相对位移，影响蒸镀质量；在实际作业时，因抖动等因素所述坩埚垫片3会于坩埚盖片2发生相对的水平位移，使坩埚垫片3移位或者堵住蒸镀孔，导致蒸镀效果欠佳。为此，专利技术人通过增设紧固结构的方式阻止坩埚盖片2与坩埚垫片3发生相对的运动，同时使坩埚盖片2与坩埚垫片3二者处在相对固定的位置上。解决坩埚震动导致的坩埚垫片3错位，以及坩埚垫片3堵孔的问题。
[0031]在某些实施例中，所述紧固机构为公扣、母扣。公扣和母扣通过卡合的结构将坩埚垫片、坩埚盖片连接，防止二者相互移动。请参阅图4，在实施例一中所述紧固结构包括：“L”形公扣401、“L”形母扣402；所述“L”形公扣401置于坩埚盖片2上，且所述“L”形母扣402置于坩埚垫片3上；或者所述“L”形公扣401置于坩埚垫片3上，且所述“L”形母扣402置于坩埚盖片2上；所述“L”形公扣401、“L”形母扣402相互卡合，用于防止所述坩埚垫片3与坩埚盖片2相对移动；需要说明的是，在本实施例中“L”形公扣401和“L”形母扣402的横截面呈中心对称设置，便于二者卡合后坩埚盖片2、坩埚垫片3不发生相对移动。同时在坩埚垫片3以及坩埚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种点源坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构；所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上；所述坩埚盖片上还设置有第一通孔，所述坩埚垫片设置有第二通孔，且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上，所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。2.根据权利要求1所述一种点源坩埚，其特征在于，所述紧固结构包括：公扣和母扣；所述公扣和母扣相互卡合；用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动；所述公扣置于坩埚盖片上，且所述母扣置于坩埚垫片上；或者所述公扣设置于坩埚垫片上，且所述母扣置于坩埚盖片上。3.根据权利要求2所述一种点源坩埚，其特征在于，所述公扣为“L”形公扣，所述母扣为“L”形母扣，“L”形公扣与“L”形母扣相互卡合；所述“L”形公扣置于坩埚盖片上，且所述“L”形母扣置于坩埚垫片上；或者所述“L”形公扣设...

【专利技术属性】
技术研发人员：权利要求书一页说明书四页附图三页，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：