一种干蚀刻机终点检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、固定环以及石英视窗，固定环连接有安装组件，安装组件包括有安装块，安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，安装块开设有方形孔，方形孔的面积至少为光谱仪镜头面积的2倍，安装块连接有连接板，连接板开设有通孔，光谱仪的镜头位于通孔内，连接板开设有滑槽，滑槽与通孔相连通，滑槽内滑动连接有挡块。通过移动挡块，调节本装置的开口度大小来匹配不同程度雾化的视窗，进而实现增大雾化的石英视窗的可用区间，来延长石英视窗的使用寿命，减少蚀刻机终点检测异常对策和视窗雾化更换频率，提高机台稼动率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蚀刻机监测装置，尤其涉及一种干蚀刻机终点检测装置。

技术介绍

1、干蚀刻机主要用于液晶面板中金属层或绝缘层的蚀刻。为了检测金属层或绝缘层是否被蚀刻至必要的厚度，通常采用终点检测仪(epd，endpoint detector)进行检测。终点检测仪利用波长侦测蚀刻终点。通俗而言，就是通过监测蚀刻腔(chamber)里光线的变化来进行检测。如图1和图2所示，终点检测装置主要包括用于监测蚀刻腔内光线变化的光谱仪10以及石英视窗50。石英视窗的面积至少为光谱仪镜头(光谱仪接收光线的部位)面积的10倍。在干蚀刻机腔室内，光源向液晶面板照射光线，反射的光线透过石英视窗，被光谱仪接收，光谱仪将光信号转换成数字信号，并传送给后续的处理模块，在从而判断蚀刻是否到达终点。

2、如图2所示，在干蚀刻机腔室的侧壁通常会开设一个开口，石英视窗通过固定环30安装在干蚀刻机的开口处，光谱仪通过安装块20与固定环连接，固定环开设通孔，安装块20开设有透孔21(透孔的长宽尺寸为21mm*21mm)，使得光谱仪可以通过石英视窗监测蚀刻腔内光线。但是，现有的透孔的开口度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、设置在干蚀刻机终点处的固定环以及与固定环相连接的石英视窗，所述石英视窗位于干蚀刻机的内部，所述固定环的一侧位于干蚀刻机的外部，其特征在于：所述固定环连接有用于安装光谱仪的安装组件，所述安装组件包括有安装块，所述安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，所述安装块开设有方形孔，所述安装块远离固定环的一侧连接有连接板，所述连接板开设有与光谱仪的镜头相匹配的通孔，所述方形孔的长度尺寸和宽度尺寸均大于通孔的直径，所述光谱仪的镜头位于通孔内，所述连接板靠近安装板的一侧开设有滑槽，所述滑槽与通孔相连通，且所述滑槽的宽度与通孔直径相匹配，所述滑槽的长度大于通...

【技术特征摘要】

1.一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、设置在干蚀刻机终点处的固定环以及与固定环相连接的石英视窗，所述石英视窗位于干蚀刻机的内部，所述固定环的一侧位于干蚀刻机的外部，其特征在于：所述固定环连接有用于安装光谱仪的安装组件，所述安装组件包括有安装块，所述安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，所述安装块开设有方形孔，所述安装块远离固定环的一侧连接有连接板，所述连接板开设有与光谱仪的镜头相匹配的通孔，所述方形孔的长度尺寸和宽度尺寸均大于通孔的直径，所述光谱仪的镜头位于通孔内，所述连接板靠近安装板的一侧开设有滑槽，所述滑槽与通孔相连通，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫俊鹏，吾继明，杨志帅，陈聪，李世雄，林志敏，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：