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本发明提供一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、固定环以及石英视窗，固定环连接有安装组件，安装组件包括有安装块，安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，安装块开设有方形孔，方形孔的面积至少为光谱仪镜头面积的2倍，安装块连接有连接板，连接...
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