感光性树脂组合物制造技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物，其固然兼顾曝光时的敏感度和碱性显影性，还能够提供维持良好的耐热性、尺寸稳定性优良、不显示脆性的固化物。该感光性树脂组合物的特征在于包含聚合物（Ａ），该聚合物具有Ｎ－取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键，并且每１００质量份的聚合物的乙烯性不饱和双键的摩尔数小于０．０５摩尔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种图像形成用中有用的感光性树脂组合物。
技术介绍
图像形成用感光性树脂组合物因为通过应用照相法(光刻法)的原理可以细微加工，在此基础上可以形成提供物性优良的固化物的图像，多用于电子元件相关的各种抗蚀材料和印刷版等用途中。该图像形成用感光性树脂组合物有溶剂显影型和碱性显影型，但是近年来从环境对策考虑，可以用稀薄的弱碱性水溶液显影的碱性显影型成为主流，例如在印制电路衬底制造、液晶显示板制造或者印刷制板等也正在使用碱性显影型的感光性树脂组合物。在照相法(光刻法)的工序中使用图像形成用感光性树脂组合物，例如，液态显影型阻焊剂用树脂组合物，在这种情况下，目前采用这一系列的工序，首先在衬底上涂布树脂组合物，接着进行加热干燥，形成涂膜后，在涂膜上安装图案形成用薄膜，曝光，显影。这样的步骤中，会有在加热干燥后的涂膜上残留粘着性的话，在剥离后的图案形成用薄膜上粘附一部分的抗蚀体，不能再现正确的图案，或者难以剥离图案形成用薄膜的问题。因此，涂膜形成后的粘性消除是液态显影型抗蚀体的重要的需求特性。并且，曝光时的光敏感度和曝光后的显影性也是重要的需求特性。即，为了高可靠度地、再现性好地形成细微图案，在显影时，通过曝光固化的部分必须浸蚀在显影液中，反之未曝光部分必须在显影时迅速除去。进而，固化部分中，要求在之后的受控高温条件下的处理工序(阻焊剂时带焊接步骤等)中，需要具有关于耐热性、耐水性、耐湿性等长期可靠性的特性。作为在某种程度满足上述各特性的产品，公知的有在环氧树脂和(甲基)丙烯酸反应得到的(甲基)丙烯酸环氧酯中使酸酐反应，引入羧基的、含有羧基的(甲基)丙烯酸环氧酯。该含有羧基的(甲基)丙烯酸环氧酯除了要求满足良好地平衡所谓的粘性消除性、光敏感度、显影性的相互排斥的特性，而且固化物要求的耐热性和耐水性等重要特性也比较良好。但是，伴随技术的进步，进一步要求高水平的特性，例如，要求可适合微细图案形成的高度尺寸稳定性和经受更高温度条件下的处理的特性。如果是上述(甲基)丙烯酸环氧酯，使用多官能的环氧树脂和(甲基)丙烯酸酯，在树脂骨架中引入多个双键，通过提高交联密度，认为可以提高耐热性。但是，双键引入量多的话，因为固化时自由体积减少引起的固化收缩会使尺寸稳定性差，并且交联密度变高的情况下固化涂膜变脆，(甲基)丙烯酸环氧酯系感光性树脂有难以维持高的耐热性，并且难以实现尺寸稳定性的提高和脆性降低的问题。然而，作为适应高耐热性要求得到的感光性树脂，正在研究出具有N-取代马来酰亚胺基和乙烯性不饱和双键的聚合物(例如专利文献1和2)。但是，对于该体系，如果着重于耐热性，则固化物容易显示脆性，进而，制造时间长。本申请专利技术人等经过反复刻苦钻研，发现以具有N-取代马来酰亚胺成分的聚合物为主要成分，发现了能提供耐热性优良并且不显示脆性的固化物的图像形成用感光性树脂，已经提出申请(专利文献3)。特开平10-139843号公报特开2002-62651号公报特开2005-141011号公报
技术实现思路
但是，对特性的要求水平没有限制，不断地要求进一步提高。因而，本专利技术的课题在于提供一种图像形成用感光性树脂组合物，其固然兼顾曝光时的敏感度和碱性显影性、还能够提供维持良好的耐热性、并且尺寸稳定性优良、不显示脆性的固化物。为了解决上述课题，本专利技术是一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含聚合物(A)，该聚合物具有N-取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键，并且每100质量份的聚合物的乙烯性不饱和双键的摩尔数小于0.05摩尔。具有N-取代马来酰亚胺基的结构单元优选在聚合物(A)100摩尔％中占15～60摩尔％。本专利技术的感光性树脂组合物除了上述聚合物(A)以外，优选含有乙烯性不饱和化合物(B)，特别优选该乙烯性不饱和化合物(B)的至少一部分为(甲基)丙烯酸环氧酯。并且，上述聚合物(A)具有的羧基的至少一部分优选经由一个以上的酯键与聚合物(A)的主链结合。本专利技术的感光性树脂组合物还可以含有在一分子内具有2个以上的可与羧基反应的官能团的化合物(C)。本专利技术的感光性树脂组合物可以兼顾曝光时的敏感度和碱性显影性，进而能提供不仅能维持高的耐热性，而且其尺寸稳定性优良，并且不显示脆性的固化物的聚合物，因为包含这种聚合物作为树脂成分，可以制得固化物的物性优良的产品。因而，本专利技术的感光性树脂组合物适合用作可碱性显影的图像形成用感光性树脂组合物，例如印制电路衬底用阻焊剂、抗蚀剂、无电镀保护层、组合法印制电路板的绝缘层、液晶显示板制造用、印刷制版等各种用途。具体实施例方式下面详细描述本专利技术。构成本专利技术感光性树脂组合物的聚合物(A)是具有N-取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键的聚合物，每100质量份聚合物中，乙烯性不饱和双键的摩尔数小于0.05摩尔。作为制得聚合物(A)的方法，能列举(a)在以N-取代马来酰亚胺化合物和含有环氧基的乙烯性不饱和化合物作为单体成分来制得的共聚物上，加成(甲基)丙烯酸等不饱和一价酸或其卤化物后，使环氧基开环，生成的羟基与多价酸酐反应的方法，(b)在以N-取代马来酰亚胺化合物和(甲基)丙烯酸等不饱和一价酸或其卤化物作为单体成分制得的共聚物中，使含有环氧基的乙烯性不饱和化合物反应的方法，(c)以N-取代马来酰亚胺化合物和(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基的乙烯性不饱和化合物作为单体成分得到的含有羟基的共聚物中的羟基与多元酸酐反应，引入羧基，进而该羧基与含有环氧基的乙烯性不饱和化合物反应的方法，(d)以N-取代马来酰亚胺化合物和(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基的乙烯性不饱和化合物作为单体成分得到的含有羟基的共聚物中的羟基与(甲基)丙烯酸等不饱和一价酸或其卤化物、以及多元酸酐反应的方法，(e)以N-取代马来酰亚胺化合物和(甲基)丙烯酸等不饱和一价酸或其卤化物作为单体成分得到的共聚物中使(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基的不饱和化合物的方法等。并且，也可以使用具有与噁唑啉基和氧杂环丁基等可与羧基反应的官能团的乙烯性不饱和化合物来替换含有环氧基的乙烯性不饱和化合物。作为可以在本专利技术中使用的N-取代马来酰亚胺化合物能列举有N-苯基马来酰亚胺、N-(2-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(4-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(2，6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-(2-氯代苯基)马来酰亚胺、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-异丙基马来酰亚胺、N-月桂基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基甲基马来酰亚胺、N-(2，4，6-三溴苯基)马来酰亚胺、N-马来酰亚胺、N-十八烯基马来酰亚胺、N-十二烯基马来酰亚胺、N-(2-甲氧基苯基)马来酰亚胺、N-(2，4，6-三氯苯基)马来酰亚胺、N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺等，可以组合使用它们的1种或2种以上。其中，从大幅提高耐热性、共聚合性良好并且容易获得考虑，优选N-苯基马来酰亚胺、N-(2-甲基苯基)马来酰亚胺、N-(2，6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-月桂基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等，更优选N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺，最优选N-苯基马来酰亚胺。作为采用上述合成方法(a)、(b)和(c)的任何一种时可以使用的含有环氧基的乙烯性不饱和化合物，能列举有(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含聚合物（Ａ），该聚合物（Ａ）具有Ｎ－取代马来酰亚胺基、羧基和乙烯性不饱和双键，并且每１００质量份的聚合物的乙烯性不饱和双键的摩尔数小于０．０５摩尔。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大槻信章，
申请(专利权)人：株式会社日本触媒，
类型：发明
国别省市：JP[]