近红外线活性正片型树脂组合物制造技术

技术编号:2745415 阅读:214 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种近红外线活性型正片型树脂组合物,以及使用该组合物的图案形成方法。所述近红外线感光的正片型树脂组合物,其中含有:(A)乙烯基系聚合物,其具有如下的单体单元,即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团;(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质;和(C)因热产生酸的热酸发生剂,采用这种近红外线活性型正片型树脂组合物,可以在白色灯光等下完全明亮的室内进行曝光处理,得到所需的感光度和分辩率,可以缓和烘焙处理条件或者省略烘焙处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可以利用近红外线形成图案的正片型树脂组合物。
技术介绍
图像信息的数码化,也使图像
产生了很大的变革,以赋予印刷版的图像信息作为数码信息,由电脑直接向印刷版输出而进行制版的CTP(Computer to Plate),对于印刷的高品质化和成本的降低是极为有效的,正在受到极大的关注。例如,使基板上的正片型光刻胶层,根据从电脑以数码信息形式输入到曝光装置的图案信息(图像信息)曝光,经过预定的显影处理,形成直接由光刻胶构成的图案,这样能够形成版的全体或者其一部分。关于CTP的适用范围,广泛研究了平版、凹版、凸版或凹版用版等各种版直接制造中的应用。另一方面,作为各种光刻胶材料的曝光用光线,可以利用紫外线、远紫外线、电子射线、X射线、激光光线、γ射线等。各种光线虽然各有其特征,但是从装置容易小型化的观点研究了使用半导体激光器。其中近红外半导体激光器(λ=830nm),具有能够实现高输出和装置的小型化,可以实现在自然光线和室内照明下的亮室曝光操作的优点,因此作为在先列举的CTP等中光刻胶的曝光用光线是有用的。关于对近红外线波长区域的激光光线感应的正型感光性组合物,被记载在特开平10-90881、特开平10-161304、特开平11-231515及特开2001-166460等号公报上。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种可以在白色灯光等完全明亮的室内进行曝光处理,可以得到所需的感光度和分辩率,还可以缓和烘焙处理条件或者省略烘焙处理的近红外线活性正片型光刻胶组合物,以及使用该组合物的图案形成方法。本专利技术的近红外线感光型的正片型光刻胶组合物,其特征在于其中至少含有(A)乙烯基系聚合物,其具有如下的单体单元,即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团;(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质;和(C)因热产生酸的热酸发生剂。本专利技术的图案形成方法,其特征在于其中包括在基板上形成上述近红外线活性型正片型光刻胶组合物层的工序;对该层的预定部位照射近红外线的工序;以及利用碱显影将照射部从所述基板上除去,在该基板上形成所述近红外线活性型正片型光刻胶组合物图案的工序。按照本专利技术,可以提供一种可以在白色灯光等完全明亮的室内进行曝光处理,得到所需的感光度和分辩率,还可以缓和烘焙处理条件或者省略烘焙处理的近红外线感光型的正片型光刻胶组合物,以及使用该组合物的图案形成方法。具体实施例方式本专利技术的近红外线活性型正片型光刻胶组合物,是含有以下(A)~(C)成分的组合物。(A)乙烯基系聚合物,其具有如下的单体单元,即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团;(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质;和(C)因热产生酸的热酸发生剂。上述的(A)成分,是至少将具有聚合性不饱和键的化合物用作单体而得到的乙烯基系聚合物。对于这种乙烯基系聚合物来说,由具有乙烯性不饱和键的单体得到的单元包含如下基团,即利用在氧原子的附近具有链烯基、用酸可脱离的醚(以下叫做封端用链烯基醚),将碱溶性基团封端的基团。作为具有乙烯性不饱和键和碱溶性基团的化合物,只要是能够形成如下的结构单元,就无特别限制,即,能够用封端用链烯基醚将该碱溶性基团封端,进而在酸的作用下使此封端解离,其一部分成为碱溶性。作为这种碱溶性基团,可以举出酚羟基、羧基、磺基、亚胺基、磺酰胺基、N-磺酰胺基、N-磺酰脲烷基(sulfon urethane)、及活性亚甲基等pKa处于11以下的碱溶性基团。作为封端用链烯基醚,优选的可以举出(I)在醚氧原子附近具有链烯基的醚(但是烷基乙烯基醚除外,以下叫做封端用醚(I))、和(II)烷基乙烯基醚(以下叫做封端用醚(II))。因此,作为(A)成分的乙烯基系聚合物具有羧基作为碱溶性基团情况下的被封端的单体单元,可以举出(A-1)具有被封端用醚(I)封端的羧基的单体单元,和(A-2)具有被封端用醚(II)封端的羧基的单体单元。优选的可以举出以下式(1a)表示的结构单元作为(A-1)单体单元,并以下式(1b)表示的结构单元作为(A-2)单体单元的。 (式中,R1b表示氢原子或低级烷基,R2b表示取代或未取代的烷基。)作为上述通式(1a)中R1a的低级烷基,例如可以举出直链或支链的1~8个碳原子烷基,具体讲可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基等。作为R2a~R4a的烷基,例如可以举出直链或支链的1~18个碳原子烷基,具体讲可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十八烷基等,其中优选碳原子数1~6的烷基,更优选碳原子数1~3的烷基。作为R2a与R3a与相邻的碳原子一起形成的环烷基,例如可以举出3~8个碳原子的环烷基,具体讲可以举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基等。作为R2a~R4a的芳基,例如可以举出6~12个碳原子的芳基,具体讲可以举出苯基和萘基等。作为R2a~R4a的芳烷基,例如可以举出7~15个碳原子的芳烷基,具体讲可以举出苄基、苯乙基、萘甲基和萘乙基等。作为R2a~R4a的取代烷基中的取代基,例如可以举出低级烷氧基、低级链烷酰基、氰基、硝基、卤原子及低级烷氧基羰基等。作为R2a~R4a取代芳基中和取代芳烷基的取代基,例如可以举出低级烷基、低级烷氧基、低级链烷酰基、氰基、硝基、卤原子及低级烷氧羰基等。其中,在通式(1a)中,优选R2a和R3a中一方是氢原子,另一方是烷基,或者二者均是烷基,而且R4a也是烷基的结构单元。作为上述通式(1b)中R1b的低级烷基,例如可以举出直链或支链状1~8个碳原子的烷基,具体讲可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基等。作为R2b的烷基,例如可以举出直链或支链状的1~18个碳原子的烷基,具体讲可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十八烷基等,其中优选1~6个碳原子的烷基,更优选1~3个碳原子的烷基。作为R2b取代烷基中的取代基,例如可以举出低级烷氧基、低级链烷酰基、氰基、硝基、卤原子及低级烷氧羰基等。上述取代基的定义中,作为低级烷基、低级烷氧基、低级链烷酰基及低级烷氧羰基的低级烷基部分,可以举出在R1a~R1b低级烷基部分所列举的那些。因此,作为低级链烷酰基,例如可以举出直链或支链状的2~9个碳原子的基团,作为其具体实例可以举出乙酰基、丙酰基、丁酰基、异丁酰基、戊酰基、异戊酰基、新戊酰基、己酰基、庚酰基等。作为卤原子,例如可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。形成上述通式(1a)表示的结构单元的单体,可以通过下式(2a)表示的甲基丙烯酸或其衍生物,与对应的封端用的醚(I)反应,将通式(2a)化合物的羧基封端的方式,可以得到下式(3a)结构的单体。 (式中,R1a与上述通式(1a)定义相同。) (式中,R1a、R2a、R3a、R4a分别与上述通式(1a)中的定义相同。)作为上述单体形成反应中使用的封端用的醚(I),能够将具有构成单体单元的乙烯不饱和键和羧基等碱溶性基团的化合物的羧基封端的即可,例如具有以下通式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种近红外线活性型正片型光刻胶组合物,是近红外线活性型正片型光刻胶组合物,其特征在于其中含有:(A)乙烯基系聚合物,其具有如下的单体单元,即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团;(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质;和(C)因热产生酸的热酸发生剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:今井玄儿村山俊一伊东克浩萩野治文
申请(专利权)人:关西油漆株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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