感光性糊剂组合物和图案形成方法技术

本发明专利技术提供一种能廉价形成高清晰图案的、且成膜后对陶瓷、硅和玻璃基板具有高粘接强度的感光性糊剂组合物。所述感光性糊剂组合物的特征是包含５０重量％粒径（Ｄ５０）为２．０－２０．０微米的铝粉末（Ａ）、碱可溶性树脂（Ｃ）、多官能（甲基）丙烯酸酯（Ｄ）和光聚合引发剂（Ｅ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性糊齐l跑，和图案形成方法。更具体地说，本专利技术涉及 在平面显示器等的显示屏、电子构件的高自装材料和太阳能电池材料等中使 用的具有电极的电M板制造中，在形成高感度和髙清晰度的图案时，可适用的感光性糊剂组^和使用该组^形成图案的方法。 背景駄蹄来，对于电^s棘显示屏中的图案加工，高密度化和高清晰化的要求^^越高。在这种要求极高的显示屏中，等离子体显示屏(下文简称'pdp"。) 或者场致发射显示屏(下文简itfed"。)等平面显示屏(下文简称'fdp"。)特 别引人注目。附图说明图1是交mpdp的截面^1^意图。在图1中，101和102是相对设置 的玻璃基板、103和111是隔壁，MM基板101、玻璃基板102、背面隔壁 103和前面隔壁111区分成单元。104是固定在鹏繊101上的透明电极，105 是为斷氐透明电极104的电阻而在该透明电极104上形成的汇流电极，106是固 定在玻璃繊102上的舰电极。107劍呆持在单元内的萤光物质，108是驢 透明电极104和汇流电极105而在玻璃基板101表面上形成的电介质层，109 是鶴地址电极106而在鹏繊102表面上形成的电介质层，110^W层， 例如由氧化鄉成。另外，；&^色fpd中，为了得到对比度高的图像，在玻璃繊与电介质层 之间，设置滤色片(红色*绿色*蓝色)或者黑色基质等。,来，fpd的大型化和髙清晰化不断深入，同时图案加工脉的提高受 人期待。但是，随着屏幕的，化和高清晰化，对图案精度的要求也极其严格, 当前存在的问题是以现有的加工方法即丝网印刷法已极不相适应。因此，使用 光刻法形成图案。
技术实现思路
利用，光刻法制造电极时，^!^ffi感光银糊法，制作以丝网印刷法不可肯獬决的问题即大型化和高清晰化的图案，己成为可能。但是，由于银是贵金属且价高，感光性银糊i^就成为高价的导电性糊。而 且，作为感光性银糊的缺陷是具有在高温多湿环境下易产生移动，在银表面发生硫化的'M。而且，由于,来考虑成本的要求，要求顿歸的含无机粒子的感光性 树脂材料和能加工高清晰图案的材料。本专利技术離决现有技术中雜的问题，其目的jm供廉价且可形成高清晰 度图案的，和对陶瓷、硅和玻璃基板以薄膜状呈现髙粘接强度的感光性糊剂组 她本专利技术的另一目的^i供OT，感光性糊剂组，形成图案的方法。 本专利技术人为了解决J^问题进行深入研究的结果完成了本专利技术。即本专利技术涉及以下1一4。1. —种感光性糊剂组合物，其特征是包含50 Sft^粒径(D50)为2.0— 20.0 的铝粉末(A)、碱可溶性树月旨(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D) 和光聚合引发剂(E)。2. 按前述1记载的感光性糊剂组合物，其特征是还包含50重量％粒径 (D50)为0.2-4.0 的玻璃粉末(B)。3. 按前述2记载的感光性糊剂组合物，其特征是所述的玻璃粉末(B)是 软化点为350—700'C的玻璃粉末，以感光性糊齐跑，的总SS计，玻璃粉末 (B)的含量为0.5—15錢％。4. 一种形成图案的方法，其特征魏括由权利要求1-3中任一项记载的 感光性糊剂组合物，在基板上形成感光性糊剂层的工序、对该糊剂层进行曝光 处理形成图案離的工序、对该糊齐U层进行显像鹏形成图案的工序、和对该图^a行'皿处理的工序。专利技术，本专利技术的感光性糊剂组合物，可以劇介形成高清晰度的图案，最适宜用来 构成FPD ,的构件、电子部件的高鹏装材料的构件和太阳能电池的构件。以下，对本专利技术的感光性糊剂组合物和图案的形成方法进行详细说明。而 且，在下文中，将使用，感光性糊剂组合物形成的未曝光涂层称为"感光性 糊剂层"。本专利技术中使用的碱可溶性树脂(C),只要是碱可溶性的就可以，没有特别 限制。此外，在本专利技术中，所说的"碱可溶性"是指树脂會辦超lj所要显像处 理的f號，在碱'M像液中溶解的性质。作为碱可溶性树脂(C)，雌以下含有碱可溶性官能团的单体(Cl 〉和(甲 基)丙烯酸衍生物(C2)的共聚物。作为含有碱可溶性官能团的单体(C1)，列举有(甲基)丙烯酸、马来酸、 富马酸、巴豆酸、衣康酸、柠繊、中繊、腿酸、琥珀l (2— (甲基) 丙烯酰氧乙基)酯、2—甲基丙烯酰氧乙基苯二酸酯、2—丙烯酰氧乙SE化邻 苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙S^化邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基7^M化邻苯二 酸酯、2—丙烯麟丙基四氣化邻苯二酸酯、co—羧基—聚己酸内酯一(甲基) 丙烯酸酯等的含羧基的单体类；具有(甲基)丙烯酸2-羟乙基、(甲基)丙烯酸2—羟丙基(甲基)丙烯酸3—羟丙基、((x—羟乙基)丙烯酸酯等的含羟基的单体类；邻羟基苯乙烯、间羟基苯乙烯、对,苯乙,的含(苯)酚性羟基的单 体类等具有减可溶性官能团和不饱和键的单体类。在这些单体中，雌(甲基)丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧乙基苯二酸、2-丙烯酰氧乙SiL邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基氨邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基SSiL邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基四氢邻苯二酸酯、(甲基)丙烯酸2—羟乙酯。通过与含有碱可溶性官能团的单体(Cl)进行共聚，可使树脂具有碱可溶 性。来自这种含有碱可溶性官能团的单体(Cl)的构成单位的含量，在碱可溶 性树脂(C)的全部构成单位中，通常为5—90重量％,雌为10—80重量％,特别优选为15—70重量％。作为(甲基)丙烯酸衍生物(C2),只要是能与含有碱可溶性官能团的单 体(Cl)进行共聚的(甲基)丙烯酸衍生物就可以，没有特别限制，例如，列 举有(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲 基)丙烯酸十二 (垸)酉旨、(甲基)丙烯酸节酯、(甲基)丙烯酸2—甲氧乙酯、 (甲基)丙烯酸2—乙氧乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯 氧乙酯、(甲基)丙烯酸三苯甲酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯,佛 尔酮酯、(甲基)丙烯酸縮7jC甘油酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯等战单体(Cl) 以外的(甲基)丙烯酸酯类。另外，在本专利技术中，还可^柳能取代(甲基)丙烯酸衍生物的，赫除了 <顿(甲基)丙烯酸衍生物(C2)夕卜，例如还可j顿由苯乙烯、(甲基)丙烯酸 甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸节酯等得到的聚合物的一方链的末 端上具有(甲基)丙烯麟、烯丙基、乙烯基等聚合性不饱和基的大单体等。在战共聚时，也可以j顿链转移剂。作为链转紛U,例如可列举a-亚 甲基苯乙烯二聚物、叔十二 (烷)硫醇、季戊四醇四(3—巯基丙酸)、季戊四 醇四(3—巯基丁酸酯)、1， 4一二 G—巯基丁^IS) 丁烷等。，的链转移剂的使用量，以J^共聚使用的单体的总重100 M份计， 其用量约为0.1—10 Sfi份。碱可溶性树脂(C)的重均分子量(下文简称为。)是3131 渗^ 谱法(GPC)测定的^乙烯换算值，，为5000-100000,更,为10000 -80000。 Mw可a3i3I当选择Jd^单体的共聚比率、链转移抓聚合鹏等进 行控制。如果Mw低于战范围，显像后的膜易发锁粗糙，另外，如果超出 上述范围，相对于未曝光部分的显像液溶解性斷氏，，像度附氏。碱可溶性树脂(C)的玻璃转化温度(Tg)，优选为0—120'C,更优选为 IO—IO(TC。如果鹏转化,低于Jd^范围，涂膜易发 粘，难以鹏。另 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性糊剂组合物，其特征是包含５０重量％粒径（Ｄ５０）为２．０－２０．０微米的铝粉末（Ａ）、碱可溶性树脂（Ｃ）、多官能（甲基）丙烯酸酯（Ｄ）和光聚合引发剂（Ｅ）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：工藤和生，板野考史，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]