本实用新型专利技术公开了一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，所述排气机构安装于所述工艺区段的底部。本实用新型专利技术在湿法处理设备的安装口处设置有L形阻挡片，与风机过滤单元底部的卡合槽相匹配，保证了风机过滤单元安装的气密性。性。性。
【技术实现步骤摘要】
一种湿法处理设备气密性安装结构
[0001]本技术属于湿法处理工艺
，具体涉及一种湿法处理设备气密性安装结构。
技术介绍
[0002]在半导体湿法工艺的配置上，对于各个工艺区段的洁净度及气密性要求较高，风机过滤单元是维持湿法工艺设备运作的一个重要环节。在晶圆承载区域、湿法工艺区域、晶圆干燥区域及晶圆卸载区域均需要配置风机过滤单元，通过风机过滤单元与排气机构配合，使整体的每个工艺区段处于良好的气体环境。晶圆清洗的过程中，需要借助机械手臂带动晶圆盒在各个工艺区段内移动，这就需要保证各个工艺区段在局部是需要连通的，而各个工艺区段内又需要保持一个相对隔离的环境，避免气体的交叉污染，因此，湿法处理设备内各区段的气密性控制是湿法处理工艺中的一个重要环节。
技术实现思路
[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种湿法处理设备气密性安装结构，本技术能够实现风机过滤单元的嵌合式安装，气体在工艺区段具有单一的运动路径，在保证机械手臂能够在各个工艺区段移动的前提下，避免了各个工艺区段内气体的交叉污染。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术提供一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，将各个工艺区段分割形成机械手臂安装腔及湿法工艺腔，所述机械手臂安装腔的顶部与所述湿法工艺腔的顶部连通，各个所述工艺区段的机械手臂安装腔连通，相邻的所述湿法工艺腔通过设备区段隔离门连通或隔离，所述排气机构安装于所述湿法工艺腔的底部。
[0006]作为优选的技术方案，所述排气机构包括排气风机用于持续抽气。
[0007]作为优选的技术方案，所述设备区段隔离门包括安装底座、固定在安装底座上的侧向安装板、推动机构、挡门、以及挡门支撑臂，所述推动机构包括滑轨和推动气缸，所述滑轨固定在侧向安装板上，推动气缸通过锁紧组件活动设置在滑轨上，所述挡门支撑臂的一端通过夹持组件与推动气缸上的锁紧组件相连、另一端固定在挡门上。
[0008]作为优选的技术方案，所述安装底座的边沿内侧设有第一沟槽，所述侧向安装板嵌装在第一沟槽内并通过辅助支撑座与安装底座锁紧固定，所述第一沟槽沿安装底座的长度方向设置。
[0009]作为优选的技术方案，所述辅助支撑座为L型结构，辅助支撑座的水平段和竖直段上均开设有安装孔，辅助支撑座的水平段通过紧固件固定在安装底座上、竖直段通过紧固件固定在侧向安装板上，辅助支撑座的水平段和竖直段的连接处固定有加强板。
[0010]作为优选的技术方案，所述锁紧组件包括滑块、固定块、连接板和第一安装板，所述滑块卡在滑轨上，固定块安装在推动气缸上，连接板的下部通过紧固件与固定块相连，连接板的上部通过紧固件与滑块相连，第一安装板焊接固定在连接板的侧面，所述夹持组件通过紧固件固定在第一安装板的上端面上。
[0011]作为优选的技术方案，所述机械手臂安装腔内设置有安装立板及机械手臂，所述安装立板沿所述湿法处理设备的长度方向设置并固定于所述湿法处理设备的设备框架上，所述机械手臂通过安装座滑动安装于所述安装立板上。
[0012]作为优选的技术方案，所述安装立板沿长度方向设置有滑动轨道及齿条，所述安装座的一侧设置有滑动块及滑移电机，所述滑动块与所述滑动轨道配合安装，所述滑移电机的输出端安装有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。
[0013]作为优选的技术方案，所述机械手臂包括纵向升降机构、开合机构、第一夹持臂、第二夹持臂、第一夹持架及第二夹持架，所述升降机构的固定端安装于所述安装座的另一侧，所述开合机构安装于所述升降机构的输出端，所述开合机构连接所述第一夹持臂、所述第二夹持臂并带动所述第一夹持臂、所述第二夹持臂靠近或远离，所述第一夹持架安装于所述第一夹持臂上，所述第二夹持架安装于所述第二夹持臂上，所述第一夹持架、所述第二夹持架用于夹持晶圆盒，所述机械手臂隔离板由顶端向下开设有第一纵向槽与第二纵向槽，所述第一夹持臂设置于第一纵向槽内，所述第二夹持臂设置于第二纵向槽内。
[0014]作为优选的技术方案，所述纵向升降机构为升降气缸，所述升降气缸的底座安装于所述安装座上，所述升降气缸的输出轴端部安装有集成外壳，所述开合机构安装于所述集成外壳内。
[0015]作为优选的技术方案，所述开合机构包括第一安装块、第二安装块及间距调节块，所述第一夹持臂固定安装于所述第一安装块上，所述第二夹持臂固定安装于所述第二安装块上，所述集成外壳的底部设置有横向滑槽，所述第一安装块、所述第二安装块上分别设置有横向滑块，所述横向滑块配合安装于所述横向滑槽内，所述间距调节块设置于所述第一安装块与所述第二安装块之间，所述间距调节块的下方设置有纵向滑块，所述纵向滑块安装于滑块座上，所述间距调节块的下部设置有纵向滑槽，所述纵向滑槽与所述纵向滑块配合连接，所述间距调节块的宽度沿纵向呈一定斜率变化，所述间距调节块在调节气缸的驱动下沿所述纵向滑块的长度方向移动，所述第一安装块、所述第二安装块的上端面靠近所述间距调节块的一侧设置有滚动轮，所述第一安装块两侧的所述第一夹持臂上、所述第二安装块两侧的所述第二夹持臂上设置有导向块，所述导向块与所述滑块座之间设置有伸缩弹簧。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0017](1)本技术在湿法处理设备的安装口处设置有L形阻挡片，与风机过滤单元底部的卡合槽相匹配，保证了风机过滤单元安装的气密性，避免了气体不必要的外泄，构成完整性的风机过滤单元与湿法处理设备集成方式。
[0018](2)本技术通过设置设备区段隔离门将各个工艺区段的湿法工艺腔进行隔离
或连通，各个湿法工艺腔在常规状态下处于相互状态，当需要将晶圆盒在各个湿法工艺腔内进行转移时，湿法工艺腔处于连通状态，既保证了机械手臂能够正常的移动，又避免了各个湿法工艺腔内气体的交叉污染。
[0019](3)本技术的排气机构处于持续抽气状态，在湿法工艺腔的底部形成负压，加上风机过滤单元输送气体的推动作用，使得工艺残留气体能够迅速的由排气机构排出，保证了内部气体环境的洁净度。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术湿法处理设备气密性安装结构的结构示意图。
[0022]图2为本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，将各个工艺区段分割形成机械手臂安装腔及湿法工艺腔，所述机械手臂安装腔的顶部与所述湿法工艺腔的顶部连通，各个所述工艺区段的所述机械手臂安装腔连通，相邻的所述湿法工艺腔通过设备区段隔离门连通或隔离，所述排气机构安装于所述湿法工艺腔的底部。2.如权利要求1所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述排气机构包括排气风机用于持续抽气。3.如权利要求1所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述设备区段隔离门包括安装底座、固定在安装底座上的侧向安装板、推动机构、挡门、以及挡门支撑臂，所述推动机构包括滑轨和推动气缸，所述滑轨固定在侧向安装板上，推动气缸通过锁紧组件活动设置在滑轨上，所述挡门支撑臂的一端通过夹持组件与推动气缸上的锁紧组件相连,另一端固定在挡门上。4.如权利要求3所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述安装底座的边沿内侧设有第一沟槽，所述侧向安装板嵌装在第一沟槽内并通过辅助支撑座与安装底座锁紧固定，所述第一沟槽沿安装底座的长度方向设置。5.如权利要求4所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述辅助支撑座为L型结构，辅助支撑座的水平段和竖直段上均开设有安装孔，辅助支撑座的水平段通过紧固件固定在安装底座上、竖直段通过紧固件固定在侧向安装板上，辅助支撑座的水平段和竖直段的连接处固定有加强板。6.如权利要求3所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述锁紧组件包括滑块、固定块、连接板和第一安装板，所述滑块卡在滑轨上，固定块安装在推动气缸上，连接板的下部通过紧固件与固定块相连，连接板的上部通过紧固件与滑块相连，第一安装板焊接固定在连接板的侧面，所述夹持组件通过紧固件固定在第一安装板的上端面上。7.如权利要求1所述的一种湿法处理设备气密性安装结构，其特征在于，所述机械手臂安装腔内设置有安装立板及机械手臂，所述安装立...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，许峯嘉，庄海云，陈佳炜，徐铭，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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