制造液晶显示器的设备和方法,使用该设备的方法,用该方法生产的器件技术

一种用来制造一液晶显示器的设备包括：一个整体真空处理室，具有一衬底入口；一装载部分，用于通过衬底入口装载第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料；上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底；一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,使用该设备的方法,用该方法生产的器件的制作方法
本专利技术要求享有2002年2月6日于韩国提出的韩国专利申请第P2002-6640号的利益，该申请在此引入以作参考。因此，在改善LCD装置画质上的努力与分辨率高、重量轻、外型薄和功耗低的好处形成对比。为了将LCD装置实现为一普通的图像显示器，例如必须达到例如画质优良、亮度好、面积大等图像品质。在第一玻璃衬底(TFT阵列衬底)上，沿一个方向以固定间隔形成多条控制线，而沿与这多条控制线的方向相垂直的第二方向形成多条数据线，由此限定多个象素区。然后，在这些象素区上以一矩阵结构形成多个象素电极，并且在这些象素区上形成多个薄膜晶体管(TFT)。因此，通过沿控制线传输给每个象素电极的信号和沿数据线传输给每个象素电极的转接信号开关这多个薄膜晶体管。为了防止漏光，在除了第二玻璃衬底(滤色器衬底)上对应于第一玻璃衬底的象素区的区域以外的第二玻璃衬底上，形成黑色矩阵膜。以下参照根据已有技术的制造设备描述采用一TFT衬底和一滤色器衬底制造一LCD装置的过程。根据已有技术制造一LCD装置的过程包括以下步骤在第一和第二衬底中的一个上形成一密封图案，以形成一注入口；在一真空处理室内将第一和第二衬底相互粘接在一起；在另一个真空室内通过该注入口注入液晶。在根据已有技术制造一LCD装置的另一个过程中，披露于日本专利申请第11-089612和11-172903号中的液晶滴落法包括以下步骤将液晶材料滴落到第一衬底上；将第二衬底设置在第一衬底之上；移动第一和第二衬底，由此将第一和第二衬底相互粘接在一起。与液晶注入法相比，液晶滴落法的优点在于，由于液晶预先设置在第一衬底上，所以无需一些步骤，如形成液晶材料注入口、注入液晶材料和密封注入口。附图说明图1和2示出一种采用根据已有技术的液晶滴落法的衬底粘接装置剖视图。图1中，衬底粘接装置包括框架10、上工作台21、下工作台22、密封剂分配器(图中未示)、液晶材料分配器30、包括上室单元31和下室单元32的处理室、室移动系统40和工作台移动系统50。室移动系统40包括一驱动电机，该电机受驱动以有选择地将下室单元32移动到执行粘接过程的位置，或者移动到密封剂流出或液晶材料滴落的位置。工作台移动系统50包括另一驱动电机，该电机受到驱动以有选择地沿与上工作台21和下工作台22垂直的一个垂直方向移动上工作台21。用根据已有技术衬底粘接设备制造一LCD装置的过程如下。图1中，首先，将第二衬底52置于上工作台21上，将第一衬底51置于下工作台22上。然后，通过室移动系统40将具有下工作台22的下室单元32移动到用来分配密封剂和分配液晶材料的处理位置(S1)。在图2中，接着，通过室移动系统40将下室单元32移动到用来粘接衬底的处理位置(S2)。之后，通过室移动系统40将上室单元31和下室单元32组装在一起以形成一真空紧密封，通过真空产生系统(图中未示)降低室中的压力。一旦得到足够的压力，通过工作台移动系统50将上工作台21向下移动，以将第二衬底52紧固到第一衬底51上，对室连续增压，完成LCD装置的制造过程。令人遗憾的是，根据已有技术的衬底粘接设备存在缺点。首先，根据已有技术的衬底粘接设备无法将密封剂和液晶材料分配到形成有薄膜晶体管和滤色器的衬底上。第二，这种粘接设备的整体尺寸无法允许进行其他处理，由此很难设计液晶显示器制造过程的一个方案。第三，由于用一下室单元执行多项处理过程，所以处理时间大大延长，由此降低了整体生产率。根据已有技术，将密封剂分配到第一衬底上的时间量、将液晶材料分配到第二衬底上的时间量和粘接第一与第二衬底的时间量导致后来执行和完成所有的制造过程时间量显著增大。第四，如果没有达到上室单元与下室单元之间的真空紧密连接，那么将在上室单元与下室单元之间产生气流，由此导致第一与第二衬底之间的粘接很少。因此，需要用来确保上室单元与下室单元之间真空紧密封的其他部件。最后，由于下室单元的水平移动，所以难以在粘接期间对准第一和第二衬底，由此延长了整个处理时间。本专利技术的一个目的在于提供一种制造大型液晶显示器的设备和方法，其每一个工作台都具有一移动范围和的移动方向，用以对准衬底。本专利技术的另一个目的在于提供一种用这种制造大型液晶显示器的设备和方法制造的液晶显示器。本专利技术的其他特征和优点将在以下的说明书中描述，并且根据说明书的描述，它们一部分变得很明显，或者可以通过对本专利技术的实践学会。通过说明书及其权利要求书以及附图所特别指出的结构，本专利技术的这些目的和其他优点得以实现和得到。为了实现根据本专利技术目的的这些和其他优点，如这里所具体和概括性描述的那样，一种用于制造一液晶显示器的设备包括一个整体真空处理室，具有一衬底入口；装载部分，用于承载和固定通过衬底入口的第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料；上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底；一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。在另一个方面，一种制造液晶显示器的方法包括以下步骤通过一整体真空处理室的衬底入口装载第一和第二衬底，第一和第二衬底中的一个上设有一密封材料；在上工作台与下工作台之间提供相对运动；抽空真空处理室的内部；以及将其间设有液晶材料的第一衬底和第二衬底粘接在一起。在另一个方面，用包括如下步骤的一种方法制造的液晶显示器通过一整体真空处理室的衬底入口装载第一和第二衬底，第一和第二衬底中的一个上设有一密封材料；在上工作台与下工作台之间提供相对运动；抽空真空处理室的内部；以及将其间设有液晶材料的第一衬底和第二衬底粘接在一起。应理解的是，前面总的描述和下面详细的描述都是示例性和解释性的，意欲用它们提供对所要求保护的本专利技术的进一步解释。附图简要说明所包括用来提供对本专利技术进一步理解且包括在本说明书内构成本说明书一部分的附图，示出了本专利技术的各实施例，并且连同说明书一起用来解释本专利技术的原理。这些附图中图1示出根据已有技术在密封上室单元和下室单元之前的衬底粘接装置的剖视图；图2示出根据已有技术在衬底粘接过程中的衬底粘接装置的剖视图；图3示出根据本专利技术在装载过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；图4示出根据本专利技术在真空过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；图5示出根据本专利技术在衬底之间进行位置对准过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；图6示出根据本专利技术在衬底粘接过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；图7示出根据本专利技术在进一步粘接过程中用于制造一液晶显示器的典型设备；图8示出根据本专利技术在卸载过程中用于制造一液晶显示器的典型设备。图3示出根据本专利技术在制造过程中用于制造一液晶显示器的典型设备。图3中，该设备可以包括真空处理室110、上工作台121、下工作台122、上工作台移动轴131、下工作台移动轴132、上工作台驱动电机133、下工作台驱动电机134、真空产生系统200和装载部分300。真空处理室110可以通过空气出口112经空气出口阀112a接至真空产生系统200，空气出口阀112a用于降低真空处理室110内部的压力。真空处理室可以包括用于经通气管阀113a通过引入空气或气体以增大真空处理室110内部压力的通气管113。因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造一液晶显示器的设备，包括： 一个整体真空处理室，具有一衬底入口； 一装载部分，用于通过衬底入口装载第一和第二衬底，在第一和第二衬底中的一个上设置有一液晶材料； 上工作台和下工作台，设置在真空处理室内，用于固定第一和第二衬底； 一工作台移动系统，用于提供上工作台与下工作台之间的相对移动；和 一真空产生系统，用于抽空真空处理室内部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴相昊，李相硕，
申请(专利权)人：LG菲利浦LCD株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]