基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法技术方案

本发明专利技术提供基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法，提供光刻机台的生产源数据，将生产源数据通过数据处理模块处理后得到初始版本数据；基于初始版本数据得到多个关键指标；基于多个关键指标进行系统开发，包括：进行界面设计及其逻辑实现；进行接口项目的设计；创建服务程序并进行实现；创建宿主以及创建代理；光刻机台间效能利用排序。本发明专利技术设计关键指标的算法用来以更好的评估光刻机台利用效率，并将算法设计系统化，基于历史及当前数据对机台来货情况或机台状态进行预测，并实时监测机台当前跑货状况，有利于求得效能最优机台且得出各机台间效能利用排序，使光刻机台的效能评价达到精确化。

【技术实现步骤摘要】
基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法。
技术介绍
首先，针对光刻机利用率的评价，通常做法是技术人员根据既定已发生的历史数据，在静态报表上查看各个机台的空载状况，这种手段只能停留在粗略的评价上。实际上，LOT进出机台的实际时间，每卡LOT载片数量，光刻板的切换次数，宕机时间等都是影响对机台运行效率的评价因素；同时已有方法缺乏此类数据的实时监控。对于技术密集型的半导体制造行业来说，光刻机台的效能评价应当更加精确化，更加多元化，更加实例化。其次，目前还没有相关研究对光刻机台间效能利用进行比较分析，其相对于机台自身评价将更加科学，更加准确。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法，用于解决现有技术中光刻机利用率的评价方法缺乏此类数据的实时监控，并且光刻机台的效能评价无法达到精确化的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种，基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，至少包括：光刻机台的生产源数据；用于处理所述生产源数据的数据处理模块；通过所述数据处理模块将所述生产源数据处理后形成的初始版本数据；基于所述初始版本数据得到的多个关键指标；基于所述多个关键指标的系统。优选地，所述生产源数据至少包括：Lot数量、产品名、产品类型、站点信息、作业步骤序列号、产品等级、进机台时间、出机台时间、开始作业时间、结束作业时间、历史作业时间及当前作业时间。优选地，所述多个关键指标至少包括：机台运作时间、机台空置时间、机台使用效率、实际Lot数量、Lot移动量、连续小枚Lot作业数量、光刻板切换次数、异常Lot、光刻板平均移动量、非连续作业Lot。优选地，所述机台运作时间为工厂日期内，光刻机台历史日期内及截至当前时间下光刻机台跑货的时间。优选地，所述机台空置时间为工厂日期内，光刻机台历史日期及截至当前时间下光刻机台的空置时间。优选地，所述机台使用效率为产品类型为产品片在且工厂日期内或截至当前日期，机台跑货状态下的所占时间比例。优选地，所述实际Lot数量为工厂日期内或截至当前日期，不同机台下产品类型为产品片和工程片的Lot数量。优选地，所述Lot移动量为各机台下所产生的实际晶圆移动量与实际Lot数量的比值，晶圆移动一步为一个移动量，所述实际晶圆移动量为所述每个移动量之和。优选地，基于所述多个关键指标的系统至少包括：界面、接口项目、服务程序、宿主和代理。优选地，所述界面包括历史日期选项、当前日期选项、依据所述多个关键指标的结果展示项、依据所述结果展示项的钻取提示信息。优选地，所述接口项目为程序库，所述程序库包含有所述多个关键指标、所述多个关键指标对应的钻取信息以及对系统的服务方法进行的申明。优选地，所述服务程序为所述接口程序的实现库，用于引用所述接口程序并传入所述多个关键指标，对所述接口程序具体实现。优选地，所述宿主为基于Windows平台创建的控制台应用程序，用于引用所述接口项目及所述服务程序，实现服务器及端口配置并在服务器上启动。优选地，所述代理用于添加配置实现托管并公开所述生产源数据，并启动所述系统。本专利技术还提供基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，该方法至少包括以下步骤：步骤一、提供光刻机台的生产源数据，将所述生产源数据通过数据处理模块处理后得到初始版本数据；步骤二、基于所述初始版本数据得到多个关键指标；步骤三、基于所述多个关键指标进行系统开发，包括：(1)进行界面设计及其逻辑实现；(2)进行接口项目的设计；(3)创建服务程序并进行实现；(4)创建宿主；(5)创建代理。步骤四、所述光刻机台间效能利用排序。优选地，步骤一中的数据处理模块对所述生产源数据进行处理的方法为：将所述生产源数据从源端经过抽取、转换、加载到目的端的过程。优选地，步骤二中所述多个关键指标包括：机台运作时间、机台空置时间、机台使用效率、实际Lot数量、Lot移动量、连续小枚Lot作业数量、光刻板切换次数、异常Lot、光刻板平均移动量、非连续作业Lot。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述机台运作时间为工厂日期内，光刻机台历史日期内及截至当前时间下光刻机台跑货的时间所述机台运作时间，并且所述机台运作时间uptime的算法为：i为状态参数；σ为状态集合，至少包括：备份状态、跑货状态、回收状态、闲置状态、暂停状态、mid为机台标识；t、T为时间周期。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述机台空置时间为工厂日期内，光刻机台历史日期及截至当前时间下光刻机台的空置时间，并且所述机台空置时间idletime的算法为：i为状态参数；mid为机台标识；t、T为时间周期。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述机台使用效率为产品类型为产品片在且工厂日期内或截至当前日期，机台跑货状态下的所占时间比例，并且所述机台使用效率UTI的算法为：其中ξ为有效评价集合，其中的有效值至少包括：备份状态、跑货状态、回收状态。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述实际Lot数量为工厂日期内或截至当前日期，不同机台下产品类型为产品片和工程片的Lot数量，并且所述实际Lot数量lot_cnt的算法为：lot的产品类型属性为工程片和产品片。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述Lot移动量为各机台下所产生的实际晶圆移动量与实际Lot数量的比值，晶圆移动一步为一个移动量，所述实际晶圆移动量为所述每个移动量之和，并且所述Lot移动量lotsize的算法为：其中一片晶圆移动一步称为一个step，c为lot数量。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述连续小枚Lot作业数量smallsize_cnt的算法为：其中每卡lot的晶圆片数小于等于10片，且lot与lot之间为连续状态，若有大于或等于3卡lot连续，则计做1次；k为lot标号，cnt表示计数，start按照出站时间排序，为连续lot集合，k++大于等于3，qty为lot枚数且小于10。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述光刻板切换次数MASK_CNT表示为光刻机台作业不同产品时，所需的光刻板不同，连续两块光刻板的类型不同则计做1次，目标函数为周期内总切换次数。优选地，步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述异常LotABNORMAL_RT_CNT表示为：跑货时间runtime的计算规则为：将机台下lot按照进入机台时间升序排列，当lot的进入机台时间大于上个lot出机台的时间，则runtime为上个lot出机台时间减去此lot进机台时间；当lot的进入机台时间小于上一个lot出机台时间，则runtime为此lot的出机台时间减去上一个lot出机台时间。ABNORMAL_RT_CNT时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于，至少包括：/n光刻机台的生产源数据；用于处理所述生产源数据的数据处理模块；通过所述数据处理模块将所述生产源数据处理后形成的初始版本数据；/n基于所述初始版本数据得到的多个关键指标；/n基于所述多个关键指标的系统。/n

【技术特征摘要】
1.基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于，至少包括：
光刻机台的生产源数据；用于处理所述生产源数据的数据处理模块；通过所述数据处理模块将所述生产源数据处理后形成的初始版本数据；
基于所述初始版本数据得到的多个关键指标；
基于所述多个关键指标的系统。


2.根据权利要求1所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述生产源数据至少包括：Lot数量、产品名、产品类型、站点信息、作业步骤序列号、产品等级、进机台时间、出机台时间、开始作业时间、结束作业时间、历史作业时间及当前作业时间。


3.根据权利要求2所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述多个关键指标至少包括：机台运作时间、机台空置时间、机台使用效率、实际Lot数量、Lot移动量、连续小枚Lot作业数量、光刻板切换次数、异常Lot、光刻板平均移动量、非连续作业Lot。


4.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述机台运作时间为工厂日期内，光刻机台历史日期内及截至当前时间下光刻机台跑货的时间。


5.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述机台空置时间为工厂日期内，光刻机台历史日期及截至当前时间下光刻机台的空置时间。


6.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述机台使用效率为产品类型为产品片在且工厂日期内或截至当前日期，机台跑货状态下的所占时间比例。


7.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述实际Lot数量为工厂日期内或截至当前日期，不同机台下产品类型为产品片和工程片的Lot数量。


8.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述Lot移动量为各机台下所产生的实际晶圆移动量与实际Lot数量的比值，晶圆移动一步为一个移动量，所述实际晶圆移动量为所述每个移动量之和。


9.根据权利要求3所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：基于所述多个关键指标的系统至少包括：界面、接口项目、服务程序、宿主和代理。


10.根据权利要求9所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述界面包括历史日期选项、当前日期选项、依据所述多个关键指标的结果展示项、依据所述结果展示项的钻取提示信息。


11.根据权利要求10所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述接口项目为程序库，所述程序库包含有所述多个关键指标、所述多个关键指标对应的钻取信息以及对系统的服务方法进行的申明。


12.根据权利要求11所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述服务程序为所述接口程序的实现库，用于引用所述接口程序并传入所述多个关键指标，对所述接口程序具体实现。


13.根据权利要求12所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述宿主为基于Windows平台创建的控制台应用程序，用于引用所述接口项目及所述服务程序，实现服务器及端口配置并在服务器上启动。


14.根据权利要求13所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统，其特征在于：所述代理用于添加配置实现托管并公开所述生产源数据，并启动所述系统。


15.根据权利要求1至14任意一项所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：
步骤一、提供光刻机台的生产源数据，将所述生产源数据通过数据处理模块处理后得到初始版本数据；
步骤二、基于所述初始版本数据得到多个关键指标；
步骤三、基于所述多个关键指标进行系统开发，包括：(1)进行界面设计及其逻辑实现；(2)进行接口项目的设计；(3)创建服务程序并进行实现；(4)创建宿主；(5)创建代理。
步骤四、所述光刻机台间效能利用排序。


16.根据权利要求15所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，其特征在于：步骤一中的数据处理模块对所述生产源数据进行处理的方法为：将所述生产源数据从源端经过抽取、转换、加载到目的端的过程。


17.根据权利要求15所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，其特征在于：步骤二中所述多个关键指标包括：机台运作时间、机台空置时间、机台使用效率、实际Lot数量、Lot移动量、连续小枚Lot作业数量、光刻板切换次数、异常Lot、光刻板平均移动量、非连续作业Lot。


18.根据权利要求15所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，其特征在于：步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述机台运作时间为工厂日期内，光刻机台历史日期内及截至当前时间下光刻机台跑货的时间所述机台运作时间，并且所述机台运作时间uptime的算法为：i为状态参数；σ为状态集合，至少包括：备份状态、跑货状态、回收状态、闲置状态、暂停状态、mid为机台标识；t、T为时间周期。


19.根据权利要求15所述的基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统的应用方法，其特征在于：步骤二中基于所述初始版本数据得到的所述机台空置时间为工厂日期内，光刻机台历史日期及截至当前时间下光刻机台的空置时间，并且所述机台空置时间idletime的算法为：i为状态参...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹锋，钱春霞，徐秋晨，周菁，刘帆，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31