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本发明提供基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法，提供光刻机台的生产源数据，将生产源数据通过数据处理模块处理后得到初始版本数据；基于初始版本数据得到多个关键指标；基于多个关键指标进行系统开发，包括：进行界面设计及其逻辑实现；进行...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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