数据处理方法技术

本发明专利技术实施例提供了一种数据处理方法，利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的含量。

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法
本专利技术涉及测量
，尤其涉及一种数据处理方法。
技术介绍
每种分子都有由其组成和结构决定的独有的红外吸收光谱，据此利用红外吸收光谱可以对物质分子进行分析和鉴定，如得到物质中分子的成键信息。具体地，将一束不同波长的红外光线照射到物质的分子上，某些特定波长的红外光线被吸收，形成该分子的红外吸收光谱。实际应用中，可以利用红外透射采样的方式以及红外多次衰减全反射采样的方式测量待采样薄膜的红外吸收光谱。相关技术中，红外透射采样的方式较成熟，利用该采样方式得到待采样薄膜的红外吸收光谱后，可以根据第一计量公式得到待采样薄膜中第一化学键的含量。然而，红外多次衰减全反射采样作为一种较新的采样方式，暂没有对应的计量公式可以计算待采样薄膜中第一化学键的含量。
技术实现思路
为解决相关技术问题，本专利技术实施例提供一种数据处理方法，能够在采用多次衰减全反射采样方式得到待采样薄膜的红外吸收光谱时，计算待采样薄膜中第一化学键的含量。本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：本专利技术实施例提供了一种数据处理方法，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据处理方法，其特征在于，包括：/n利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；/n利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；/n确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；/n基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的...

【技术特征摘要】
1.一种数据处理方法，其特征在于，包括：
利用采用红外透射方式进行采样的第一测试方法测量多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述薄膜样本中第一化学键对应的第一数据集；其中，基于所述第一数据集中的数据，利用第一计量公式，能够得到薄膜样本中所述第一化学键的含量；
利用采用红外多次衰减全反射方式进行采样的第二测试方法测量所述多个薄膜样本的红外吸收光谱，得到所述第一化学键对应的第二数据集；
确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联度；
基于所述关联度和所述第一计量公式，得到第二计量公式；其中，基于所述第二数据集中的数据，并结合所述第二计量公式，能够得到所述薄膜样本中所述第一化学键的含量。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据的关联关系，包括：
对所述第一数据集中的数据和所述第二数据集中的数据进行线性拟合，得到拟合系数；
所述基于所述关联关系和所述第一计量公式，得到第二计量公式，包括：
基于所述拟合系数和所述第一计量公式，得到所述第二计量公式。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述拟合系数和所述第一计量公式，得到所述第二计量公式，包括：
将所述拟合系数与所述第一计量公式作积，得到所述第二计量公式。


4.根据权利要求1所述的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：江佩，佘菀馨，锁志勇，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42