光学系统及其制造方法技术方案

本发明专利技术提供一种光学系统及其制造方法，该光学系统包括输入部，用以接收光学信号，预先设定的输出面；以及绕射光栅，包括绕射表面，用以将该输入部接收的该光学信号分离成多个光谱分量，并且各个光谱分量都会聚焦在该预先设定的输出面，其中该绕射表面由光微影工艺形成。根据本发明专利技术的制造光学系统的方法，包括：提供基板；设置盖体于该基板上；提供输入部，用以接收光学信号；定义预先设定的输出面；以及配置绕射光栅元件于该光学系统，该绕射光栅包括绕射表面，用以将该输入部接收的该光学信号分离成多个光谱分量，并且各个光谱分量都会聚焦在该预先设定的输出面，其中该绕射表面由光微影工艺形成。本发明专利技术的光学系统可大量制造，并适合长期使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学系统, 光学系统制造工艺。
技术介绍
特别是涉及一种运用光微影技术的辐射源的光度测定(photometry )通常利用光i普4义(spectrometer ) 来进4亍测量，光i普4义中的光栅(grating)是用来分散多频辐射源 (multi-frequency radiation )的元4牛。这类4义器,皮广；乏的应用在解;夹 复杂的难题并且获取准确的结果。目前这类〗义器在4吏用上有以下问 题(l)体积非常庞大，因此价格昂贵且只能在固定位置使用；(2) 在进行宽带的光谱测量时，需要耗费大量时间；(3)必须谨慎的操 作仪器，因此，通常需要技巧熟练的操作人员。美国专利第5,550,375号4是供了一种用来测量气体的红外线光 谱感测仪100，如图l所示，包括具有反射式光栅110的微型结构， 多频红外线辐射源120,以及用以接收固定波长红外线的接收器 130。然而，该红外线光谱感测仪只能测量较狭窄的光谱波长范围， 如果要进行多成分分析，则光谱信号会在多个不同波长^皮吸收，而 不是仅限于红外光区域，则此种光谱感测仪的应用即受限制。同步光i普4义(simultaneo本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学系统，包括：　输入部，用以接收光学信号；　预先设定的输出面；以及　绕射光栅，包括绕射表面，用以将所述输入部接收的所述光学信号分离成多个光谱分量，并且各个光谱分量都会聚焦在所述预先设定的输出面，其中，所述绕射表面由光微影工艺形成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柯正浩，
申请(专利权)人：柯正浩，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]