直写式光刻机及漏水检测方法技术

本发明专利技术公开了一种直写式光刻机及漏水检测方法。直写式光刻机包括水冷式温度调节模块、漏水检测模块、信号处理模块和用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块。漏水检测模块包括漏水检测带，漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，当漏水检测带浸水时，漏水检测带的阻值变化，信号处理模块与漏水检测模块通讯、反馈信号输出模块均连接，信号处理模块检测漏水检测带的阻值变化。根据本发明专利技术的直写式光刻机，通过设置漏水检测带、且使漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，可以对直写式光刻机的漏水、冷凝水的情况作出快速反馈，进而可以实时跟进直写式光刻机的工作状况，从而可以提升整机系统的安全性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
直写式光刻机及漏水检测方法
本专利技术涉及激光直接成像
，尤其是涉及一种直写式光刻机及漏水检测方法。
技术介绍
光刻机的核心部件之一就是曝光光源，温度变化对曝光光源的可靠性、稳定性影响尤为显著，所以散热对曝光光源非常关键，对于大功率曝光光源，目前常用的温控方式是采用水冷机循环水进行温度控制。主要是将管道接入曝光光源散热器，利用循环水把热量带走。整机环境温度控制对光刻机系统也尤为重要，目前采用的方案是水冷机结合冷凝器与FFU构成环境温度控制系统，其中水冷机与冷凝器之间通过热循环水管连接。水通过管道流到主散热器(或冷凝器)上进行散热，但由于管道连接处可能产生的漏水或在循环水管上可能产生冷凝水，由此导致整机故障。相关技术中的检测方案为：在散热器与冷凝器底部安装溢流槽，在溢流槽内会放置一个水浸传感器，当出现漏水时水会流入溢流槽，从而触发水浸传感器报警。但此方案存以下弊端，只有溢流槽内有一定积水时传感器才会报警，此时漏水已发生一段时间，对系统的影响不可预估；另外，当冷凝水的量较少时，无法检测到漏水情况，从而对系统产生潜在威胁。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出了一种直写式光刻机，所述直写式光刻机具有结构简单、漏水检测效果好的优点。本专利技术提出了一种直写式光刻机的漏水检测方法，所述直写式光刻机的漏水检测方法具有漏水检测效果好的优点。根据本专利技术实施例的直写式光刻机，包括：水冷式温度调节模块；漏水检测模块，所述漏水检测模块包括漏水检测带，所述漏水检测带与所述水冷式温度调节模块接触，以检测所述水冷式温度调节模块是否漏水，当所述漏水检测带浸水时，所述漏水检测带的阻值变化；信号处理模块，所述信号处理模块与所述漏水检测模块通讯连接，所述信号处理模块检测所述漏水检测带的阻值变化，并将阻值变化信息转换为数字信号；用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块，所述反馈信号输出模块与所述信号处理模块通讯连接。根据本专利技术实施例的直写式光刻机，通过设置漏水检测带、且使漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，当水冷式温度调节模块出现漏水、或者水冷式温度调节模块上凝结有冷凝水时，漏水检测带遇水后阻值发生变化，信号处理模块接收到漏水检测模块的阻值变化信息后，采集并转换漏水信号，反馈信号输出模块接收到漏水信息后，发出相应的控制信号，由此可以对直写式光刻机的漏水、冷凝水的情况作出快速反馈，进而可以实时跟进直写式光刻机的工作状况，从而可以提升整机系统的安全性和稳定性。在一些实施例中，直写式光刻机还包括匹配电阻，所述漏水检测带连接在所述匹配电阻和所述信号处理模块之间。在一些实施例中，直写式光刻机还包括报警模块，所述报警模块与所述反馈信号输出模块通讯连接，当所述信号处理模块检测到所述漏水检测带的阻值变化时，所述报警模块报警。在一些实施例中，直写式光刻机还包括保护开关，当所述信号处理模块检测到所述漏水检测带的阻值变化时，所述保护开关断开，所述直写式光刻机断电。在一些实施例中，所述水冷式温度调节模块包括光源散热模块和环境温度调节模块，所述漏水检测带包括光源温控漏水检测带和环境温控漏水检测带，所述光源温控漏水检测带与所述光源散热模块接触，以用于检测所述光源散热模块是否漏水，所述环境温控漏水检测带与所述环境温度调节模块接触，以用于检测所述环境温度调节模块是否漏水。在一些实施例中，所述光源散热模块包括光源冷水机和多个串联的散热循环水管，所述光源冷水机与所述散热循环水管连通且连接，所述光源冷水机与所述散热循环水管连接的位置处、相邻的两个所述散热循环水管的连接位置处均设有所述光源温控漏水检测带，多个所述散热循环水管上均设有散热片。在一些实施例中，所述环境温度调节模块包括环境温控冷水机和冷凝器，所述环境温控冷水机与所述冷凝器连通且连接，所述环境温控冷水机与所述冷凝器连接的位置处设有所述环境温控漏水检测带。在一些实施例中，所述冷凝器周围设有环境温控循环水管，所述环境温控循环水管上设有所述环境温控漏水检测带。根据本专利技术实施例的直写式光刻机的漏水检测方法，所述直写式光刻机包括信号处理模块、水冷式温度调节模块、漏水检测模块和用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块，所述漏水检测模块与所述水冷式温度调节模块接触，所述漏水检测模块与所述信号处理模块通讯连接，所述检测方法包括：当所述水冷式温度调节模块漏水时，所述漏水检测模块发出漏水信号，并传递至所述信号处理模块，所述信号处理模块将所述漏水信号传递给所述反馈信号输出模块。根据本专利技术实施例的直写式光刻机的漏水检测方法，通过设置漏水检测模块、且使漏水检测模块与水冷式温度调节模块接触，当水冷式温度调节模块出现漏水、或者水冷式温度调节模块上凝结有冷凝水时，漏水检测模块采集并转换漏水信号，反馈信号输出模块接收到漏水信息后，发出相应的控制信号，由此可以对直写式光刻机的漏水、冷凝水的情况作出快速反馈，进而可以实时跟进直写式光刻机的工作状况，从而可以提升整机系统的安全性和稳定性。在一些实施例中，所述信号处理模块包括信号采集单元和处理单元，当所述水冷式温度调节模块漏水时，所述信号采集单元采集所述漏水信号，并将所述漏水信号传递至信号处理模块，所述处理单元与所述反馈信号输出模块，所述反馈信号输出模块触发报警系统，或者所述处理单元切断电源。在一些实施例中，所述漏水检测模块包括光源温控漏水检测模块和环境温控漏水检测模块，所述光源温控漏水检测模块和所述环境温控漏水检测模块与所述信号处理模块通讯连接，所述水冷式温度调节模块包括光源散热模块和环境温度调节模块，所述光源温控漏水检测模块用于检测所述光源散热模块是否漏水，所述环境温控漏水检测模块用于检测所述环境温度调节模块是否漏水。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术实施例的直写式光刻机的功能框图；图2是根据本专利技术实施例的直写式光刻机的结构示意图；图3根据本专利技术具体实施例直写式光刻机的漏水检测原理图；图4根据本专利技术具体实施例直写式光刻机的漏水检测原理图。附图标记：直写式光刻机100，水冷式温度调节模块110，光源散热模块120，光源冷水机121，散热循环水管122，散热片123，曝光光源124，环境温度调节模块130，环境温控冷水机131，冷凝器132，环境温控循环水管133，漏水检测带140，光源温控漏水检测带141，环境温控漏水检测带142，信号处理模块160，反馈信号输出模块170，匹配电阻180。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本专利技术的实施例。下面参考图1-图4描述根据本专利技术实施例的直写式光刻机100及漏水检测方法。根据本专利技术实施例的直写式光刻机100，包括：水冷式温度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直写式光刻机，其特征在于，包括：/n水冷式温度调节模块；/n漏水检测模块，所述漏水检测模块包括漏水检测带，所述漏水检测带与所述水冷式温度调节模块接触，以检测所述水冷式温度调节模块是否漏水，当所述漏水检测带浸水时，所述漏水检测带的阻值变化；/n信号处理模块，所述信号处理模块与所述漏水检测模块通讯连接，所述信号处理模块检测所述漏水检测带的阻值变化，并将阻值变化信息转换为数字信号；/n用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块，所述反馈信号输出模块与所述信号处理模块通讯连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种直写式光刻机，其特征在于，包括：
水冷式温度调节模块；
漏水检测模块，所述漏水检测模块包括漏水检测带，所述漏水检测带与所述水冷式温度调节模块接触，以检测所述水冷式温度调节模块是否漏水，当所述漏水检测带浸水时，所述漏水检测带的阻值变化；
信号处理模块，所述信号处理模块与所述漏水检测模块通讯连接，所述信号处理模块检测所述漏水检测带的阻值变化，并将阻值变化信息转换为数字信号；
用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块，所述反馈信号输出模块与所述信号处理模块通讯连接。


2.根据权利要求1所述的直写式光刻机，其特征在于，还包括匹配电阻，所述漏水检测带连接在所述匹配电阻和所述信号处理模块之间。


3.根据权利要求1所述的直写式光刻机，其特征在于，还包括报警模块，所述报警模块与所述反馈信号输出模块通讯连接，当所述信号处理模块检测到所述漏水检测带的阻值变化时，所述报警模块报警。


4.根据权利要求1所述的直写式光刻机，其特征在于，还包括保护开关，当所述信号处理模块检测到所述漏水检测带的阻值变化时，所述保护开关断开，所述直写式光刻机断电。


5.根据权利要求1所述的直写式光刻机，其特征在于，所述水冷式温度调节模块包括光源散热模块和环境温度调节模块，
所述漏水检测带包括光源温控漏水检测带和环境温控漏水检测带，所述光源温控漏水检测带与所述光源散热模块接触，以用于检测所述光源散热模块是否漏水，所述环境温控漏水检测带与所述环境温度调节模块接触，以用于检测所述环境温度调节模块是否漏水。


6.根据权利要求5所述的直写式光刻机，其特征在于，所述光源散热模块包括光源冷水机和多个串联的散热循环水管，所述光源冷水机与所述散热循环水管连通且连接，所述光源冷水机与所述散热循环水管连接的位置处、相邻的两个所述散热循环水管的连接位置处均设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱会敏，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34