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本发明公开了一种直写式光刻机及漏水检测方法。直写式光刻机包括水冷式温度调节模块、漏水检测模块、信号处理模块和用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块。漏水检测模块包括漏水检测带，漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，当漏水检测带浸水时，漏水...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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