4.26微米窄带滤光片制造技术

本实用新型专利技术提供了一种４．２６微米红外窄带滤光片，它是以白宝石为基板，硒化锌，碲化铅为膜层材料，采用真空蒸镀制备的干涉滤光片。膜系设计采用波形系数良好，高级次半波层的三半波膜系，滤光片成品为外径φ１２毫米，厚０．８毫米的圆片，除主峰外全部波段范围截止深度优于０．５％。本实用新型专利技术适于批量生产，成品率高，产品光学性能及膜层牢固度满足使用要求，适合于环境监测，医用、化肥、钢铁碳含量等的分析仪的使用。（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学
，涉及一种除透镜以外的光学元部件，是一种选择所需红外光谱的滤光片。红外分析仪是利用气体红外特性吸收峰测定气体含量的仪器，选择特定波长的红外气体分析滤光片无疑是红外气体分析仪的关键部件。现红外分析仪以其快速、精度高的特点已广泛应用于化工、环保、钢铁、医学、军工等部门。由于CO2气体在4.26微米波长处具有一较强特征吸收光谱，通过探测气体对选择4.26微米波长滤光片红外光谱的衰减可推算其CO2含量。本技术的目的是提供一种中心波长为4.26微米的红外窄带滤光片。本技术通过以下技术方案实现1、以表面抛光、外径12，厚度0.8mm的白宝石作基片；2、膜层介质材料选用硒化锌和碲化铅，在基板上真空蒸镀多层干涉薄膜。3、第一面膜系采用ns/LH4LHLHLH4LHLHLH4LH2L/no；第二面膜系采用ns/s/no式中各符号的含义分别为ns表示白宝石基板；L表示硒化锌的λo/4层，H表示碲化铅的λo/4层；中心波长λo/4为4.26微米；no表示空气。本技术的附图说明如下图1为本技术第一面和第二面膜排列示意图。图中示出了基板1和硒化锌涂层3及碲化铅涂层2。图2为本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤光片，在一基板两个面上分别蒸镀多层介质膜组成，其特征为：ａ．基板（１）为表面抛光直径ψ１２毫米，厚０．８微米的白宝石材料；ｂ．镀层介质膜材料选用硒化锌（３）及碲化铅（２），在真空镀膜机中交替蒸镀多层干涉膜；ｃ．第一面的膜系 采用：ｎ↓［８］ＬＨ４ＬＨＬＨＬＨ４ＬＨＬＨＬＨ４ＬＨ２Ｌ／Ｎ↓［ｏ］；第二面的膜系采用：ｎ↓［８］／［ＬＨＬ］↑［６］／ｎ↓［ｏ］排列式中各符号的含义分别为：ｎ↓［８］代表白宝石基板，Ｌ代表硒化锌的λ↓［ｏ］／４层，Ｈ代表碲化铅的 的＊↓［ｏ］／４层，中心波长λ↓［ｏ］为４．２６微米，ｎ↓［ｏ］表示空气。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严义埙，朱玲心，张麟，黄泳宝，张素英，张文德，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]